მოწერის მაशინა/მოწერის მაशინა ფოტოლითოგრაფია , China მოწერის მაशინა/მოწერის მაशინა ფოტოლითოგრაფია Manufacturers, Suppliers, Factory

პროდუქტების აღწერა

მასკის ალიგნერი ლითოგრაფიის მაशინა

მასკის ალიგნერი ძირითადად გამოიყენება პატარა და საშუალო ზომის ინტეგრირებული წრეების, სემიკონდუქტორული კომპონენტების, ფოტოელექტრონული მოწყობილობების, ზედა ხმის მოწყობილობების, მარცხვის ფილმების წრეებისა და ძალის ელექტრონული მოწყობილობების განვითარებაში და წარმოებაში
მასკის გადასართობელი, ცნობილია როგორც: მასკის გადასართობელი მაशინა, გადასართობელი სისტემა, ლითოგრაფიული სისტემა და ა.შ., არის ძირითადი მართვა ჩიპების წარმოებისთვის. იგი იყენებს ტექნოლოგიას, რომელიც მსგავსია ფოტო ბეჭდვას, რომ სინათლეს გამოყენებით მასკზე მდებარე მიკრო მონაკვეთები გადაიბეჭდოს სილიკონის გარში.
ძირითადად შედგება: მაღალი ზუსტობის გადასართობლების სამუშაო საფუძველი, სხვადასხვა ვიზუალური ვერტიკალური მიკროსკოპი, სხვადასხვა ვიზუალური ჰორიზონტური მიკროსკოპი, ციფრული კამერა, კომპიუტერული სურათის მეხსიერების სისტემა, მრავალწერტილიანი სინათლის წყარო (fly eye) გადასართობლელი სისტემა, PLC სამართავი სისტემა, პნევმატიკური სისტემა, ვაკუუმური სისტემა, პირდაპირ დაერთებული ვაკუუმური გამოსაღები, მეორე ანტივიბრაციული სამუშაო საფუძველი და აქსესუარების ყურე.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

მახასიათებლები

1. მაღალი ერთობლივობის fly-eye გადასართობლელი სისტემა / ჰელიუმის გადასართობლელი მექანიზმი / მაღალი ვაკუუმური დაჭერის გადასართობლელი. მაღალი გარეგნების ზუსტობა.
2. მასკის გადასართობლელი მეთოდი მუდმივად დამაგრებული და სუბსტრატის მოწოდებით, რაც უზრუნველყოფს მიმართვის ძალის და ძალის ერთობლივობას.
3. გამოყენებულია შუალედური მიმართვის სისტემა, მაღალი ზუსტობით, სწრაფი სიჩქარით.
4. ყველა მოდელი შესაბამისია მუშაობას ყველა სტანდარტულ ფოტორეზისთან. მაგალითად AZ, Shipley, SU 8.
5. ყველა მოდელი სისტემა გადაცემული მასკის ხარისხი უნდა იყოს იგივე, რაც პირველ მასკის გამოყენების შემდეგ.
6. გამოსახატვის დრო ჩაწერილია 1 წამიდან 1 საათამდე. გადასაწყვეტადი ზუსტება 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

სპეციფიკაცია

მოდელი	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
გამოსახატვის ტიპი	ერთ მხარე			ორი მხარის გადასაწყვეტადი და ორი მხარის გამოსახატვი
გამოსახულების რეჟიმი	კონტაქტული მძლავრი, მỀრი და არაკონტაქტული ახლოდახლოვანი
გამოხმენის თავის რაოდენობა	1 გამოხმენის თავი			2 გამოხმენის თავი
სინათლის ტიპი	GCQ350 სფეროიდული ქვაბის ლამპა						LED UV გამოხმენის თავი
გაგრილების მეთოდი	ჰაერის გაგრილება
გამოხმენის ზონა	Φ100მმ	110×110mm	Φ100მმ		150mm×150mm
გამოსახულების რეჟიმი	საშუალებაა კონტაქტის გარდა ცხად, მỀრ
გამოსვლის ნებისმიერობა	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
გამოსვლის გარკვეულება	2μm	1 μm
სხეულის ინტენსივობა (365 ნმ)	≥6mw/ cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
სხეულის ნებისმიერობა	≤±4%	≤±3%
UV სინათლის მაქსიმალური გადახრის კუთხე	4°	3°
სინათლის დიაპაზონი	≤Φ117მმ	Φ117მმ	≤Φ117მმ		წინა და უკან ≥ Φ115მმ
ტყის შეცდომის კომპენსაციის რეჟიმი	სფეროიდული ავტომატური კომპენსაცია			ავტომატური გამოსახატვა		3 წერტილიანი ავტომატური კომპენსაცია
X და Y ღერძების გადალახუნა	±4მმ	±5მმ	±4მმ		±5 მმ
θ-ს გადალახუნა	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
XYZ საფუძველი გადაადგილების რეზოლუცია	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
მიკროსკოპის სისტემა	Два однобаррელური მიკროსკოპი / Дვი ცცდ კამერა
ეკრანის ზომა	15 ინჩი
იმაჯინგის სისტემის გარჩევა	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
მასკისა და სუბსტრატის შორის მასშტაბი	0.5 µm	0.3 µm
CCD ტარგეტის დიაგონალური ზომა	1/3, (6mm)						40mm～110mm
კონფიგურაციის სახელწერის ზომა	≤ კვადრატული 5*5 ინჩი (პერსონალიზებული სპეციფიკაციები)
ქსელთა ზომა	Φ 100mm ან 100*100mm კვადრატული	60*49.5mm კვადრატული	2”-4”		1"x1"-5"x5"
ქსელის thicკნები	1-3mm	≤5 მილიმეტრი	1-3mm		≤5 მილიმეტრი
ვაკუუმური პუმპა	ოილ ფრი მუტი (-0.07～－0.08MPα)
თეხვის გაზაფშვებული ჰავა	≥0.4MPα
ელექტროენერგიის მიწოდება	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
ცუდი წერტილის დონე	კლასი 100
სამუშაო ტემპერატურა	25℃±2℃
სამუშაო ტემპერატურის საპირის humidity	≤60%
სამუშაო ტემპერატურის ვიბრაციის ამპლიტუდა	≤4μm
აპარატურის ზომები	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
აპარატის წონა	200კგ				280 კგ

მაღაზის გამოყენებისთვის მაღაზის სისტემის შექმნას სჭირდება ძალიან მარტივი მექანიკური პროცესი. მეორე ტექნიკური პრობლემა არის მაღაზის მიკროსკოპი. მიკროსკოპის ხედის გაფართოებისთვის, ბევრი სავაჭრო ლითოგრაფიული მაशინები იყენებენ LED სანათლებლად. არსებობს ორი მაღაზის სისტემა ფოკუსირების ფუნქციით. ის ძირითადად შედგება ორი თვალიდან და ორი ხედიდან, რომლებიც მიმართულია მიკროსკოპის ძირითად სხეულზე, ერთი წყვილი თვალი და ერთი წყვილი მიზანი (ლითოგრაფიული მაशინი ჩვეულებრივ მოწოდებს განსხვავებული გაზუმავის თვალსა და მიზანს მომხმარებლებს). CCD მაღაზის სისტემის ფუნქცია არის მაღაზის ნიშნების გაზუმვა და მასი ეკრანზე გამოსახვა.

სამუშაო ნაწილის ეტაპი არის გარკვეული ნაწილი ლითოგრაფიის მაशინისა, რომელიც შედგება მასკის/ნაიკ-sample-ის საერთო მოძრაობის ეტაპის (XY), მასკის/ნაიკ-sample-ის საპარალელო მოძრაობის ეტაპის (XY), როტაციული ეტაპის, ნაიკ-sample-ის გასართოლად მექანიზმის, ნაიკ-sample-ის გასა:focus-ებლად მექანიზმის, ვაფერის ეტაპის, მასკის კლამპისა და მასკის გამოღების ეტაპისგან. ნაიკ-sample-ის გასართოლად მექანიზმი შედგება ბურთის სიტყვისა და ნახalf-სფერისგან. რთოლის პროცესში, ჯერ ჩამოვა წნევის ჰაერი ბურთის სიტყვადან და ნახalf-სფერად, შემდეგ ბურთის სიტყვა, ნახalf-სფერი და ნაიკ-sample-ი მოძრაობს ზევით ფოკუსის ხელსაწყოთან, რათა ნაიკ-sample-ი გართოლდეს მასკის წინააღმდეგ, შემდეგ ჩართული გადარჩევის სამგზავრო ელექტროვალვე გადარჩევს ბურთის სიტყვასა და ნახalf-სფერს ვაკუუმში, რათა დაინადგუროს და მაინტენიროს რთოლის მდგომარეობა.

Minder-Hightech გეხმარება განვითარებულ ტექნოლოგიას ფოტოლითოგრაფიისთვის Aligner/Alignment Machine-ის საშუალებით.

გამოწვეული ხართ საკუთარ ელექტრონულ პროდუქტებზე ცირკუიტების ბეჭდვისას საკმარისი ზუსტების გარეშე? Minder-Hightech-ის Aligner/Alignment Machine-ით, შეგიძლია დამატებითი ზუსტების დასასრულებლად მოიგო ცირკუიტების წარმოებაში.

ამ ინნოვაციურ პროდუქტის გამოყენებით, შეგიძლია უფასოდ გადაიტანო მაღალი გარეგნობის სურათი პროდუქტზე ფოტოლითოგრაფიის მეთოდით. ეს მაशინა ზუსტებას გარანტირებს მასალის და სურათის მიერთების სისტემით.

სურათების ბეჭდვისა და ატვირთვის შემდეგ, მაშინა გამოთვლის საჭირო გამოსახულების რაოდენობას და როგორ არის მასალა მიერთებული სურათებთან. ეს გამოთვლა ხდება უახლესი კომპიუტერული პროგრამული უზრუნველყოფით, რომელიც შეიძლება განახლდეს პროდუქციის ინდუსტრიაში ტექნოლოგიური განვითარების შესაბამისად.

ის გაძლევთ გამოცემას ფართო დიაპაზონში, 娷ობს მიკროცირკუიტებს, რადიოსხვავის (RF) ცირკუიტებს და ჩანაწერილ ცირკუიტებს. აპარატი შეიძლება გამოაქვს უკეთეს ეტჩინგის ღრის სიღრმეს, გზის სიგანეს და სივრცულ მისადარებას საშუალების გამოყენებით რაოდენობის დამატებით დამატებით პროცედურების, როგორიცაა ქიმიური ეტჩინგი და ელექტროპლატირება.

ჩვენი პროდუქტის მერიტი მის შესაძლებლობაში განსაზღვრულია მაღალი მისადარების გამოწვევაში, რაც უზრუნველყოფს მონაცემების დადებით და სიზუსტით მასალაზე. შეგიძლიათ გამოიტანოთ ბევრი რთული დიზაინი გარკვეული გარდაქმნის გარეშე.

ის არის მომხმარებლისთვის მეტყველი, მოკლე და ეფექტური, რაც განსაზღვრულია განსხვავებული წარმოების ფართოებისთვის ან კომპანიის ზომისთვის. განათავსეთ, ჩვენი მოწყობილობა შეიცავს ხელით მართვასა და მდებარეობის ტრენინგს ჩვენი ტექნიკური მხარდაჭერის გუნდით.

Minder-Hightech-ის ალიგნერი/ალიგნმენტის მაशინა იყენებს ფოტოლითოგრაფიულ ტექნოლოგიას, რათა დაგეხმაროთ საუკეთესო შედეგების მიღებაში წირების ბეჭდვისას. გაცნობით ახალ ტექნოლოგიის დონეს, რომელიც გეთავაზობთ მაღალ ზუსტობას და ზუსტობას, რომელსაც ჩართული ბეჭდვის მეთოდები არ შეძლებენ განასაზღვრა. Minder-Hightech-ის ალიგნერი/ალიგნმენტის მაშინა არის იმ, რაც თქვენს წარმოების კომპანიას სჭირდება კონკურენტებზე ერთ ნაბიჯით წინააღმდეგ. დაგვიკავშირდით დღეს, რათა მოიგოთ საუკეთესო ალიგნერი/ალიგნმენტის მაშინის ტექნოლოგიის იმპერივები, რომლებიც არის ბაზარზე.

მთავარი გვერდი

ჩვენ შესახებ

MH Equipment

გადაწყვეტილება

საგარეო მომხმარებლები

ვიდეო

დაგვიკავშირეთ

მოწერის მაशინა/მოწერის მაशინა ფოტოლითოგრაფია

pushViewController: More Products

MD-FS სერია კაპაციტორის ხურდის მაशინა

MD-FDS სერია ავტომატური კაპაციტორის ხურდის მაშინა

MD-EFS სერია კაპაციტორის ხურდის მაშინა

MD-EDFS სერია ფილმის კაპაციტორის ხურდის მაშინა

ინკვირი

Articles

Products

Get In Touch