Automatic Single Platen Wafer Chemical Mechanical Polisher CMP , ჩინეთი Automatic Single Platen Wafer Chemical Mechanical Polisher CMP მწარმოებლები, მომწოდებლები, ქარხანა

პროდუქტის აღწერა

ATOM Single Platen CMP

მანქანის მახასიათებლები

მოწყობილობა არის მოქნილი და შეუძლია მრავალი თავის მხარდაჭერა.
აღჭურვილობის დამუშავების შესაძლებლობები ახლოსაა იმავე ზომის პროდუქტების ძირითადი მოდელის დონესთან.
მოწყობილობათაშორისი პროცესის კარგი თანმიმდევრულობა.

განაცხადის სფეროები

4-8 ინჩიანი STI, ILD/IMD, TSV, TGV პოლირება და ნაერთების ზედაპირის გაპრიალება, როგორიცაა SiC, LT, LN, GaAs და ა.შ.

ტექნიკური პარამეტრების

4-დიუმიანი, 6-დიუმიანი, 8-დიუმიანი თავები, მრავალზონიანი კონტროლი
ტიპი Φ20 დიუმიანი 508 მმ ფირფიტა
თავის წნევის კონტროლის სიზუსტე<0.05PSI
თავისა და ფირფიტის ბრუნვის სიჩქარის კონტროლის სიზუსტე<2RPM

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-53

1. LoadPort Unit

პორტის გადაბრუნება შესაძლებელია კასეტის Qtank-ში ჩაძირვის მიზნით, რათა თავიდან აიცილოთ Slurry კრისტალების წარმოქმნა.
ვაფლის გაპრიალებული ზედაპირი. აღჭურვილია Cassette Mapping ფუნქციით.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-54

2. რობოტი მასალების მოპოვების განყოფილება

აღჭურვილია 4 ღერძიანი რობოტით, მას შეუძლია ავტომატურად გადაიტანოს ვაფლები კასეტიდან გასაპრიალებელ განყოფილებაში.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-55

3. საპრიალებელი განყოფილება

ეს დანადგარი აღჭურვილია Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 და EPD საბოლოო წერტილი
გამოვლენა. მას შეუძლია მიაღწიოს ვაფლის ავტომატურ ჩატვირთვასა და გადმოტვირთვას, მრავალ ზონის თავის კონტროლს, შლამს
სადესანტო წერტილი იცვლება რეცეპტის პარამეტრებით, საბოლოო წერტილის ამოცნობით და სხვა ფუნქციებით.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-56

CMP საპრიალებელი ხელმძღვანელი

ამ მოწყობილობაზე კონფიგურირებული საპრიალებელი თავები დამოუკიდებლად არის შემუშავებული, შექმნილი და წარმოებული ჩვენი კომპანიის მიერ.
მათ შორის, 4-დიუმიანი 3-დიუმიანი თავი არის ჩვენი კომპანიის მიერ შექმნილი უნიკალური პროდუქტი, რომელიც ავსებს ჩინეთში არა მრავალ ღრუს 4 დიუმიან თავსახურს. ჩვენს კომპანიას შეუძლია სწრაფად შეცვალოს ან დააკონფიგურიროს უფროსი მომხმარებლის პროდუქტის მახასიათებლების მიხედვით. TGV თხელი ფირის (200მ) პროდუქტების შემუშავებისას, ხელმძღვანელის შიდა სტრუქტურა შეიცვალა თხელი ფირის გაპრიალების მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად. LN ზედაპირის OX გასაპრიალებელი ტექნოლოგიის განვითარების პროცესში, ჩვენმა კომპანიამ ღრმად განაახლა 6 დიუმიანი თავი და წარმატებით დააკმაყოფილა მომხმარებლის პროდუქტის მოთხოვნები.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-57

პროგრამები

ტრადიციული IC პლანარიზაციის გაპრიალების პროცესი;

TGV/TSV პროცესი;

ჭკვიანი ჭრა და წინასწარ შემაკავშირებელი CMP;

SIC სუბსტრატის გასაპრიალებელი/გალიუმის არსენიდის გასაპრიალებელი.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-58

სპეციფიკაცია

პორტი	რაოდენობა * 1, Q-ტანკით
Robot	რაოდენობა * 1, ვაფლის გადასატანად
HCLU	რაოდენობა * 1, ვაფლის ავტომატური ჩატვირთვა-გადმოტვირთვისთვის
საპრიალებელი თავი	რაოდენობა * 13 ღრუს კონტროლი, კონტროლის სიზუსტე 0.1PSI, შეუძლია 400-1200 UM ვაფლის ოპერაციების მხარდაჭერა.
გაპრიალების თავის სიჩქარე	5-150RPM
გასაპრიალებელი დისკი	რაოდენობა * 1 საპრიალებელი დისკი ზომა 508მმ, საპრიალებელი საფენის სიჩქარე 10-150 rpm.
მკლავის მორთვა	რაოდენობა * 1 გასაპრიალებელი საფენი. გასაპრიალებელი საფენი შეიძლება გაპრიალდეს ონლაინ (ერთდროულად) ან ოფლაინ (გაპრიალების შემდეგ). მორთვა მკლავი აღჭურვილია საჭრელი ლილვით, რომელსაც შეუძლია როტაცია და მოძრაობა მაღლა და ქვევით, ხოლო სიჩქარისა და დაწევის ძალის კონტროლი შესაძლებელია. The სათრიმლავი ხელსაწყო დამონტაჟებულია საჭრელ ლილვზე და შეიძლება სწრაფად ამოღებულია. სხვადასხვა ტიპის გასაპრიალებელი ბალიშების მიხედვით, კონფიგურირებულია სხვადასხვა სახის გასახდელი ხელსაწყოები, მათ შორის გასახდელი ფუნჯები, ბრილიანტის ბეჭდები და ბრილიანტის დისკები.
UPA გასაპრიალებელი ხელმძღვანელი ჰაერის წნევის კონტროლის განყოფილება	რაოდენობა * 13 ზონა რეგულირდება ზედაპირის უკეთესი პლანარიზაციის ეფექტისთვის
გასაპრიალებელი სითხის მიწოდების ტუმბო	რაოდენობა * 2. პერისტალტიკური ტუმბოები გამოიყენება სითხის მიწოდებისთვის, 2 პერისტალტიკური ტუმბოებით, რომლებიც კონფიგურირებულია სხვადასხვა გასაპრიალებლად სითხეები გასაპრიალებელ დისკზე. თითოეული ტუმბო შეიძლება გამოყენებულ იქნას პროცესის ნებისმიერ ეტაპზე.
Slurry Arm	რაოდენობა * 1-ს შეუძლია აკონტროლოს ნალექის სადესანტო წერტილი და გაასუფთავოს გასაპრიალებელი საფენი.
ოპერაციის კონტროლის სისტემას შეუძლია მიაღწიოს მომხმარებლის დონის კონტროლს, როგორიცაა ოპერატორის რეჟიმი, ტექნიკური რეჟიმი და ტექნიკური რეჟიმი და var ious რეჟიმები კონტროლდება პაროლებით. სისტემურ პროგრამას შეუძლია შეცვალოს პროცესის პარამეტრების თითოეული ეტაპი და გააბრტყელოს და გაპრიალეთ თხელი ფილმი ჩიპის ზედაპირზე პროგრამის მიხედვით. მას შეუძლია აკონტროლოს აღჭურვილობის მუშაობის სტატუსი, მონიტორი ამუშავებს პარამეტრებს რეალურ დროში და პროგრამას შეუძლია ავტომატურად შეინახოს სხვადასხვა პროცესის მონაცემები. აღჭურვილია გადაუდებელი გაჩერებით ღილაკი, რომელიც გამოიყენება აღჭურვილობის მუშაობის დაუყონებლივ შესაჩერებლად და კონტროლის დენის გათიშვისთვის.

შეფუთვა და მიწოდება

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-59

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-60

კომპანიის პროფილი

კითხვა-პასუხი

1. ფასის შესახებ:
ყველა ჩვენი ფასი კონკურენტუნარიანია და შეთანხმებით. ფასი მერყეობს თქვენი მოწყობილობის კონფიგურაციისა და პერსონალიზაციის სირთულის მიხედვით.

2. ნიმუშის შესახებ:
ჩვენ შეგვიძლია მოგაწოდოთ სანიმუშო წარმოების სერვისები თქვენთვის, მაგრამ თქვენ შეიძლება მოგაწოდოთ გარკვეული საფასური.

3. გადახდის შესახებ:
გეგმის დადასტურების შემდეგ, თქვენ ჯერ უნდა გადაიხადოთ ანაბარი და ქარხანა დაიწყებს საქონლის მომზადებას. მას შემდეგ, რაც
აღჭურვილობა მზად არის და თქვენ გადაიხდით ბალანსს, ჩვენ გამოგიგზავნით.

4. მიწოდების შესახებ:
აღჭურვილობის დამზადების დასრულების შემდეგ, ჩვენ გამოგიგზავნით მიღების ვიდეოს, ასევე შეგიძლიათ ადგილზე მისვლა აღჭურვილობის შესამოწმებლად.

5. ინსტალაცია და გამართვა:
მას შემდეგ, რაც აღჭურვილობა თქვენს ქარხანაში მოვა, ჩვენ შეგვიძლია გამოვგზავნოთ ინჟინრები, რათა დააინსტალირონ და გამართონ ისინი. ჩვენ მოგაწვდით ცალკე შეთავაზებას ამ მომსახურების საფასურისთვის.

6. გარანტიის შესახებ:
ჩვენს აღჭურვილობას აქვს 12 თვიანი გარანტია. საგარანტიო პერიოდის შემდეგ, თუ რომელიმე ნაწილი დაზიანებულია და საჭიროებს გამოცვლას, ჩვენ მხოლოდ თვითღირებულების ფასს დავარიცხავთ.