Გასაფართოებელი ქვეყნის |
Ზომა |
Ინჩები |
4, 5, 6, 8 |
Ვაფერის კასეტა |
Ნომერი |
- |
2 |
Გასაფართოების მეთოდი |
- |
Ვერტიკალური ჩამორთვის მეთოდი |
|
Ჩამორთვის წერტილის ღერ Gaussian |
Ტიპები |
- |
Ჰავა ბერინგები |
Რაოდენობა |
- |
2 |
|
Სიჩქარე |
წთ/წთ |
0~5000 |
|
Გამომავალი სიმძლავრე |
Კვ |
5.5/7.5 |
|
Სტროკი |
მმ |
150 |
|
Შემოსავალი სიჩქარე |
μm/s |
0.01~100 |
|
Სწრაფი წინააღმდეგი სიჩქარე |
მმ/წმ |
300 |
|
Გადაწყვეტა |
ჰმ |
0.1 |
|
Სამუშაო ღერძი |
Ტიპი |
- |
Ბურთის ბერინგები |
Რაოდენობა |
- |
3 |
|
Შესახვეული ტიპი |
- |
Მიკროპორული სერამიკა |
|
Ვეფის შეწევის მეთოდი |
- |
Ვაკუუმური აბსორცია |
|
Სიჩქარე |
წთ/წთ |
0~300 |
|
Ვეფის გადატანა |
- |
Რობოტის მკლავი |
|
- |
Გარდარბილი დისკი |
||
Სხვა ფუნქციები |
Ვეფის ცენტრირება |
- |
Მოძრაობის პინის გასწორება |
Ვეფის გასაფარი |
- |
Წყალის და ჰაერის გასაფრინვე, როტაციული გამოგზავნა |
|
Შეწევის ჭიხის გასაფარი |
- |
Ქვეყნური წილის გამოსახულება |
|
Რკალი |
მმ |
φ200 |
|
ONLINE გაზომვა |
Გაზომვის დიაპაზონი |
ჰმ |
0~1800 |
Გადაწყვეტა |
ჰმ |
0.1 |
|
Განმეორების სიზუსტე |
ჰმ |
±0,5 |
|
Მექანიკური დამუშავება სიზუსტე |
Ინტრა-ვეფიანი ზუსტება (TTV) |
ჰმ |
≤2 |
Მახვილ-მახვილობრივი ზუსტება (WTW) |
ჰმ |
±3 |
|
Ზედაპირის ცხარეობა (Ry) |
ჰმ |
0.13(2000#finish) |
|
Გარეგნობა |
Გარეგნის ფერი |
ჰმ |
Ყვავილი შабლონი |
Ზომები(Ш×Г×В) |
მმ |
1200×2750×1950 |
|
Წონა |
კგ |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved