მოდელი |
MDTS-WT2200 |
გამოკლების ღერძების რაოდენობა |
2 |
სამუშაო სკამების რაოდენობა |
3, ინდექსირების მეთოდი |
ჩამორთვის წერტილის ღერ Gaussian |
ჰაერის ღერძები: 2 ღერძის მოტორი: 7.5kW ცვლილი სხვაობის მოტორი სიჩქარე: 0~6000rpm, პირდაპირ რეგულირებადი ჭამბატის სპეციფიკაცია: Φ203mm ჭამბატის ტიპი: დიამანტის ჭამბატი |
ჭამბატის მომზადების სისტემა |
რაოდენობა: 2 სეტი მომავალი სისტემის კონტროლი: LM რეილი და ბურთეული შეწყვეტი კომბინაცია გადაადგილების მოტორი: სერვომოტორი მინიმალური მომავალი სიჩქარე: 0.1μm/წმ მაქსიმალური მომავალი სიჩქარე: 50mm/წმ |
სამუშაო მაგიდა |
რაოდენობა: 3, ინდექსირების რეჟიმი სპინდლის მოტორი: სერვომოტორი სიჩქარე: 0~300 რ/წ, უფასოდ რეგულირებადი აბსორციის მეთოდი: ვაკუუმური აბსორცია |
სამუშაო გარემოს როტაციის საფეხური |
გადაადგილების რეჟიმი: სერვომოტორი როტაციის დიაპაზონი: 0~240° განსაზღვრების ფორმა: სენსორული დახმარებით განსაზღვრება |
ავტომატური სისწორე ზომვის სისტემა |
საზომი მეთოდი: IPG კონტაქტული online რეალ-ტაიმის ზომის გაკეთება ზომის ჰედების რაოდენობა: 2 ზომის სენსორი: 0.1um დონის სენსორი |
ავტომატური ჩატვირთვა/ გატვირთვის სისტემა |
ყუთის ტიპი: 6-8 ინჩის კასეტა, 25 სარეჯი ავტომატური ჩატვირთვის/გატვირთვის მეთოდი: ვაფერის მანიპულატორი იყენება, რათა დარწმუნდეს, რომ მỏციერი ვაფერები იტრანსპორტებიან გარკვეული შავის გარეშე ქვეყნის thicness: 150um-1000um |
სამუშაო გარემოს გასუფთავების ფუნქცია |
გასუფთავების მეთოდი: Oilstone polishing &DI წყალი+ჰავა სამართავი გასუფთავება |
ავტომატური გასუფთავება გამოსვლის სისტემა |
გასუფთავება: DIW ნოზლის გასუფთავება გამოსვლის მეთოდი: ხანდახან და გამოსვლა სიჩქარე: max1000rpm უკვეთს ადაპტირება |
სტატიკის გამოსაღები სისტემა |
იონური ბარი orion fan |
Spindle chiller |
ტემპერატურა: 18-22°C გასვლის სიჩქარე: 4~8ლ/წუთ |
კონტროლის სისტემა |
კონტროლის სისტემა: PC კონტროლის სისტემა, ტახტის ეკრანი, 3 ფერიანი ალარმის ლამპა ჩინური/ინგლისური ადამიან-მაशინის ინტერფეისი |
მაქსიმალური ვაფერის ზომა |
მაქსიმალურად საშუალება 8 ინჩზე |
სიჩქარის დიაპაზონი |
0~6000 რ.∕წ. |
Z ღერძის გადასვლა |
160მმ |
Z ღერძის კვების სიჩქარე |
0.1~100უმ/წმ |
Z-ღერძის სწრაფი დაბრუნების სიჩქარე |
50მმ/წმ |
Z-ღერძის განაწილება |
0.1მკმ |
ონლაინ სიგრძის ზომვის დიაპაზონი |
0~1800um |
ონლაინ სიგრძის ზომვის გარეშე |
0.1მკმ |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved