ICP მშრალი პლაზმის მოცილება ფოტორეზისტი / პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილება (PR) მანქანა ნახევარგამტარული ვაფლისთვის, ჩინეთი ICP მშრალი პლაზმის მოცილება ფოტორეზისტი / პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილება (PR) მანქანა ნახევარგამტარული ვაფლისთვის მწარმოებლები, მომწოდებლები, ქარხანა

პროდუქტის აღწერა

ICP PLASMA ამოღების ფოტორეზისტი მანქანა

ნაცარი
პოლიმერის მოცილება
მყარი ნიღბის ფენის მშრალი მოცილება
ფოტორეზისტენტობის მოცილება იონის იმპლანტაციის შემდეგ
ფოტორეზისტენტობის მოხსნა BAW/SAW პროცესში
ამრეკლავი გრაფიკული ფირის საწინააღმდეგო ფენის მშრალი წმენდა
ზედაპირის ნარჩენების მოცილება
ზედაპირის გაწმენდა მოჭრის შემდეგ
DESCUM

ICP მშრალი პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილების მანქანა შესაფერისია DESCUM-ისთვის (წინასწარი დამუშავება, ფოტორეზისტის ნარჩენების მოცილება) პოლიმერის მოცილება (PI, BCB, PBO) იონის იმპლანტაციის შემდეგ, ფოტორეზისტის მოცილება და ა.შ., ღრუ შესაფერისია 8 დიუმიანი ნიმუშებისთვის (4 -6 დიუმიანი თავსებადი)

ICP მშრალი პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილება / პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილება (PR) მანქანა ნახევარგამტარული ვაფლის დეტალებისთვის

ICP მშრალი პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილება / პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილება (PR) მანქანა ნახევარგამტარული ვაფლის მომწოდებლისთვის

ICP მშრალი პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილება / პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილება (PR) მანქანა ნახევარგამტარული ვაფლის წარმოებისთვის

ICP მშრალი პლაზმის მოცილება ფოტორეზისტი / პლაზმური ფოტორეზისტის მოცილება (PR) მანქანა ნახევარგამტარული ვაფლის ქარხნისთვის

სპეციფიკაცია

პლაზმა			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		BIAS	600w (ვარიანტი)	600w (ვარიანტი)
შესაბამისი ფარგლები			4-8 ინჩი	4-8 ინჩი
ერთი დამუშავების ნაჭრების რაოდენობა			1	2
გარეგნობის ზომები			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
სისტემის კონტროლი			სამრეწველო კონტროლის სისტემა	სამრეწველო კონტროლის სისტემა
ავტომატიზაციის დონე			ავტომატური	ავტომატური