Inductive Coupling Plasma Etching System (ICP) Semiconductor equipment , China Inductive Coupling Plasma Etching System (ICP) ნახევარგამტარული აღჭურვილობა მწარმოებლები, მომწოდებლები, ქარხანა

პროდუქტის აღწერა

ინდუქციური დაწყვილების პლაზმური ჭურვის (icp) სისტემა

ინდუქციური დაწყვილება პლაზმური ოქროვის სისტემა (ICP) ნახევარგამტარული მოწყობილობის დეტალები

ინდუქციური დაწყვილების პლაზმური ოქროვის სისტემა (ICP) ნახევარგამტარული აღჭურვილობის მომწოდებელი

ინდუქციური დაწყვილება პლაზმური ჭურვის სისტემის (ICP) ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ქარხანა

პროცესის შედეგი

კვარცის / სილიკონის / ჭურჭლის გრაფირება

BR ნიღბის გამოყენებით კვარცის ან სილიკონის მასალების ამოსაჭრელად, საცურაო მასივის შაბლონს აქვს ყველაზე წვრილი ხაზი 300 ნმ-მდე და ნიმუშის გვერდითი კედელი ახლოს არის > 89°-მდე, რომელიც შეიძლება გამოყენებულ იქნას 3D ეკრანზე, მიკრო ოპტიკურ მოწყობილობებზე, ოპტოელექტრონულ კომუნიკაციებზე. და ა.შ

რთული/ნახევარგამტარული ოხრახუში

ნიმუშის ზედაპირის ტემპერატურის ზუსტ კონტროლს შეუძლია კარგად გააკონტროლოს GaN-ზე დაფუძნებული, GaAs, InP და ლითონის მასალების გრავირების მორფოლოგია. იგი განკუთვნილია ლურჯი lED მოწყობილობებისთვის, ლაზერებისთვის, ოპტიკური კომუნიკაციისთვის და სხვა აპლიკაციებისთვის.

ინდუქციური დაწყვილება პლაზმური ჭურვის სისტემა (ICP) ნახევარგამტარული მოწყობილობების წარმოება

სილიკონზე დაფუძნებული მასალის გრავირება

ის შესაფერისია სილიკონზე დაფუძნებული მასალების ამოსაღებად, როგორიცაა Si, SiO2 და SiNx. მას შეუძლია გააცნობიეროს სილიკონის ხაზის გრავირირება 50 ნმ-ზე ზემოთ და სილიკონის ღრმა ხვრელის ამოჭრა 100 მმ-ზე ქვემოთ

სპეციფიკაცია

პროექტის კონფიგურაცია და მანქანის სტრუქტურის დიაგრამა

Item	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
პროდუქტის ზომა	≤6 ინჩი	≤8 ინჩი	≤6 ინჩი	≤8 ინჩი	მორგებული≥12 ინჩი
SRF დენის წყარო	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
BRF დენის წყარო	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
მოლეკულური ტუმბო	არაკოროზიული: 600/1300 (ლ/წმ)/მორგებული			ანტიკოროზიული:600 /1300 (L./s)/Custom		600/1300(ლ/წმ) /მორგ
წინა ხაზის ტუმბო	მექანიკური ტუმბო / მშრალი ტუმბო			ანტიკოროზიული მშრალი ტუმბო		მექანიკური ტუმბო / მშრალი ტუმბო
წინასწარი სატუმბი ტუმბო	მექანიკური ტუმბო / მშრალი ტუმბო			მექანიკური ტუმბო / მშრალი ტუმბო
პროცესის წნევა	უკონტროლო წნევა/0-0.1/1/10 Torr კონტროლირებადი წნევა
გაზის ტიპი	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (12-მდე არხი, კოროზიული და ტოქსიკური აირის გარეშე)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ მორგებული (12-მდე არხი)
გაზის დიაპაზონი	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	კი არა			დიახ
ნიმუში tem კონტროლი	10°C~ოთახიანი/ -30°C~150°C /მორგებული			-30°C~200°C/მორგებული
უკანა ჰელიუმის გაგრილება	კი არა			დიახ
პროცესი ღრუს უგულებელყოფა	კი არა			დიახ
ღრუს კედლის ტემპერატურის კონტროლი	ნომერი/ოთახის ტემპერატურა-60/120°C			ოთახის ტემპერატურა~60/120°C
საკონტროლო სისტემა	ავტომატური/მორგებული
ჭურვის მასალა	სილიკონის ბაზა: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... ორგანული მასალები: PR/ორგანული ფილმი......			სილიკონის ბაზა: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... მაგნიტური მასალა / შენადნობის მასალა მეტალის მასალები: Ni/Cr/Al/Cu/Au... ორგანული მასალები: PR/ორგანული ფილმი...... სილიკონის ღრმა გრავირება

შეფუთვა და მიწოდება

კომპანიის პროფილი

ჩვენ გვაქვს 16 წლიანი გამოცდილება აღჭურვილობის გაყიდვაში. ჩვენ შეგვიძლია მოგაწოდოთ ერთი გაჩერების ნახევარგამტარული წინა და უკანა ხაზის პაკეტის მოწყობილობების პროფესიონალური გადაწყვეტა ჩინეთიდან.