სტრუქტურა |
მაგალითად, |
კონტრტოპის გამოვლენა |
ექსპოზიციის ზონა: countertop, სუბსტრატის განთავსების ადგილი |
ოპტიკური სისტემა |
ლაზერული გამოსხივების ჩამოსხმის არეალი |
გარემოსდაცვითი კონტროლის სისტემა |
აკონტროლეთ მოწყობილობის შიდა ტემპერატურა და დადებითი წნევა |
პლატფორმის სისტემა |
აკონტროლებს ექსპოზიციის ცხრილის მოძრაობას ექსპოზიციის ბილიკის მუშაობის დასასრულებლად |
საკონტროლო სისტემა |
მთელი აღჭურვილობის კონტროლის სისტემა |
პოსტები |
გარემოს |
მოითხოვს |
1 |
სინათლის წყაროს გარემო |
ყვითელი შუქი |
2 |
ტემპერატურა |
22 ℃ ± 2 ℃ |
3 |
სინესტე |
50% 10% |
4 |
სისუფთავე |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, მშრალი, სუფთა ჰაერი |
6 |
ენერგიის წყარო |
220~240V,50/60Hz,2.5KW;მიწის მავთული უნდა იყოს დასაბუთებული. |
7 |
გაგრილების წყლის |
ტემპერატურა: 10℃ ~ 20℃ წნევა: 0.3MPa ~ 0.5MPa ნაკადი: 20ლ/წთ წნევის სხვაობა: 0.3 MPa 以上 აიღეთ კალიბრი: Rc3/8 |
8 |
ადგილი |
დონე: ± 3 მმ / 3000 მმ შერყევა: VC-B საკისარი: 750 კგ / ㎡ |
10 |
ინტერნეტი |
ერთი ქსელის პორტი |
11 |
ზომის მანქანა |
1300 * 1100 * 2100mm |
12 |
მოწყობილობის წონა |
1500kg |
პოსტები |
პროექტი |
სპეც. |
შენიშვნა |
1 |
რეზოლუცია |
0.6მ/ან სხვა მოთხოვნა |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1მ |
|
3 |
სუბსტრატის სისქე |
0.2მმ-4მმ |
|
4 |
თარიღის ბადის სიზუსტე |
60nm |
|
5 |
Overlay |
500 მილიონი ფუნტი სტერლინგი |
130mmx130mm |
6 |
კერვის სიზუსტე |
200 მილიონი ფუნტი სტერლინგი |
AZ703 |
7 |
ექსპოზიციის MAX ზომა |
190X190mm |
|
8 |
გამტარუნარიანობა |
≥300 მმ2/წთ |
≤50მჯ/სმ2; |
9 |
სინათლის წყარო |
LD 375 ნმ |
|
10 |
მსუბუქი ძალა |
6W |
|
11 |
ენერგიის ერთგვაროვნება |
≥ 95% |
|
12 |
მსუბუქი სიცოცხლე |
10000hr |
საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია