MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma , China MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma Manufacturers, Suppliers, Factory

პროდუქტის აღწერა

MDICP-5000F სრულად ავტომატური ICP ოქროვის მანქანა

რეზიუმე

მოწყობილობა არის ორკამერიანი ვაკუუმური სისტემა. ერთი კამერა არის საინექციო ნიმუშის კამერა, ხოლო მეორე არის ოქროვის კამერა. ვაკუუმური საკეტი დამონტაჟებულია საინექციო სინჯის აღების კამერასა და ამოღების კამერას შორის, ხოლო საინექციო ნიმუშის ტრანსპორტირება ხდება მანიპულატორით.
აღჭურვილობა ძირითადად შედგება ვაკუუმური სისტემისგან, გაზის წრიული სისტემისგან, ელექტრული სისტემისგან, კონტროლის სისტემისგან, გაგრილების სისტემისგან, ფირის მიწოდებისა და აღების მექანიზმისგან, განგაშის სისტემისგან და ა.შ.

ვაკუუმური სისტემა

სისტემა შედგება მოლეკულური ტუმბოსგან 600 ლ/წმ ტუმბოს სიჩქარით + იმპორტირებული ვაკუუმური მშრალი ტუმბო ლ/წმ ტუმბოს სიჩქარით, რათა ამოტუმბოს გრავიურა მაღალ ვაკუუმამდე. ელექტრო დინამიური წნევის მარეგულირებელი სარქველი დამონტაჟებულია მოლეკულურ ტუმბოსა და ოქროვის კამერას შორის. იმპორტირებული მშრალი ტუმბო არის გრავირებული კამერის წინასწარ სატუმბი ტუმბო და მოლეკულური ტუმბოს წინა საფეხურის ტუმბო. გამოიყენეთ სხვა მექანიკური ტუმბო ლ/წმ სიჩქარით ტუმბოს ნიმუშის კამერის ვაკუუმისთვის. მექანიკური ტუმბოსა და ვაკუუმ კამერასა და მოლეკულურ ტუმბოს შორის დასაკავშირებლად გამოიყენება უჟანგავი ფოლადის ბუხრები და დამონტაჟებულია ელექტრომაგნიტური პნევმატური ბლოკირების სარქველი.

მუდმივი წნევის კონტროლის სისტემა

მოწყობილობა აღჭურვილია ქვედა დინების მუდმივი წნევის კონტროლის სისტემით, ხოლო ჰაერის ამოღების მილსადენში დამონტაჟებულია ელექტრო რეგულირებადი სარქველი. ფირის ლიანდაგის (იმპორტირებული ნაწილების) გაზომვით, რეგულირებადი სარქველი კონტროლდება, რათა ვაკუუმის კამერამ მიაღწიოს მუდმივ წნევას, რათა გაუმჯობესდეს პროცესის სტაბილურობა.

მუდმივი წნევის კონტროლის სისტემა

გაზის წრიული სისტემა

RF ელექტრომომარაგების ორი კომპლექტი ავტომატური შესატყვისით.

Განგაშის სისტემა

უსაფრთხოების მოთხოვნები აღჭურვილობისთვის.

სპეციფიკაცია

სახელი	სპკ	ბრენდი	No/Set	შენიშვნა
ოხრახუშის კამერა, ჰაერის ამოღების მილსადენი, დაკვირვების ფანჯარა, დაცული ინტერფეისი და ა.შ	სტანდარტული	JSWN	1	ანტიკოროზიული
ჩარჩო, ელექტრო კარადა, ლუქები, სტანდარტული ნაწილები და ა.შ	სტანდარტული	JSWN	1
ჭურვის კამერის საფარის ამწევი სისტემა	სტანდარტული	JSWN	1	ანტიკოროზიული
გრავირების ელექტროდი და გაგრილების სისტემა	სტანდარტული	JSWN	1	ანტიკოროზიული
მოლეკულური ტუმბო (ტუმბოს სიჩქარე 600 ლ/წმ)	FF620/150	კიკი	1	ანტიკოროზიული
შესასვლელი მშრალი ტუმბო (ტუმბოს სიჩქარე 9 ლ/წმ)	XDS-35I	ედვარდსი	1	ანტიკოროზიული
მექანიკური ტუმბო (ტუმბოს სიჩქარე 9 ლ/წმ)	TRP-36	BWVAC	1
ელექტრო მარეგულირებელი კარიბჭე სარქველი	DCQ-150	JSWN	1	ანტიკოროზიული
პნევმატური ბუხრის გაჩერების სარქველი	KF40	JSWN	3	ანტიკოროზიული
ფირის ლიანდაგი	KF16	INFICON	1	ანტიკოროზიული
მასობრივი ნაკადის კონტროლერი	D07	შვიდსტარი	4	ანტიკოროზიული
პნევმატური დიაფრაგმის სარქველი	1/4" VCR	-	4	ანტიკოროზიული
უჟანგავი ფოლადის მილი, მილის შეერთება და ა.შ	1/4" VCR	-	4	ანტიკოროზიული
RF ელექტრომომარაგება / ავტომატური შესატყვისი	-	ჩინეთი (სურვილისამებრCROWN1310)	1
RF ელექტრომომარაგება / ავტომატური შესატყვისი	-	ჩინეთი (სურვილისამებრCROWN1310)	1
კომპოზიციური ვაკუუმმეტრი	ZDF	RB	1
IPC	2U	China	1
LCD სენსორული ეკრანი	17inch	China	1
PLC კონტროლის სისტემა	S7-200	Siemens	1
ელექტროძრავის მართვის სისტემა	სტანდარტული	JSWN	1
გაგრილების წყლის გამოვლენის და მილსადენის სისტემა	სტანდარტული	JSWN	1
შეკუმშული ჰაერის ამოცნობისა და მილსადენის სისტემა	სტანდარტული	JSWN	1
გამაგრილებელი მოცირკულირე წყლის მანქანა	HX	China	1
ოხრახუშის საინექციო კამერა	სტანდარტული	JSWN	1
ვაკუუმური საკეტი	SMC	SMC	1
მანიპულატორის მართვის სისტემა	SMC	SMC	1

ფოსტის ტექნიკური პარამეტრი

1. ლიმიტი ვაკუუმი: ჭურვის კამერა 9.0×10-5Pa (შიდა ტენიანობა≤55%)
საინექციო ნიმუშის კამერა 6.0×10-1Pa
2. აკრავის მასალა: Ⅲ, Ⅴ მასალა, Si, SiO2 და ა.შ.
3. ჭურვის სიჩქარე: ~ 1μ/წთ
4. ჭრის ერთგვაროვნება: ≤±5％(φ125მმ დიაპაზონი)
6. ელექტროდის ზომა: φ200მმ

შეფუთვა და მიწოდება

თქვენი საქონლის უსაფრთხოების უკეთესობისთვის, უზრუნველყოფილი იქნება პროფესიონალური, ეკოლოგიურად მოსახერხებელი, მოსახერხებელი და ეფექტური შეფუთვის მომსახურება.

კომპანიის პროფილი

ჩვენ გვაქვს 16 წლიანი გამოცდილება აღჭურვილობის გაყიდვაში. ჩვენ შეგვიძლია მოგაწოდოთ ერთი გაჩერების ნახევარგამტარული წინა და უკანა ხაზის პაკეტის მოწყობილობების პროფესიონალური გადაწყვეტა ჩინეთიდან.