|
პროექტი
|
სპეციფიკაციები
|
შენიშვნები
|
||
|
1 |
აღჭურვილობის მიმოხილვა |
აღჭურვილობის დასახელება: სრულად ავტომატური ერთიანი წებოს შემმუშავებელი მანქანა
|
||
|
აღჭურვილობის მოდელი: MD-2C2D6
|
||||
|
ვაფლის დამუშავების სპეციფიკაციები: თავსებადია 4/6 დიუმიან სტანდარტულ ვაფლებთან
|
||||
|
ერთიანი წებოს პროცესის ნაკადი: ყვავილების კალათის დაჭრა → ცენტრირება → ერთგვაროვანი წებო (წვეთოვანი → ერთგვაროვანი წებო → კიდეების ამოღება, უკან
რეცხვა) → ცხელი თეფში → ცივი თეფში → კალათის დადება განვითარების პროცესის ნაკადი: ყვავილების კალათის დაჭრა → ცენტრირება → განვითარება (განვითარების ხსნარი → დეიონიზებული წყალი, უკანა რეცხვა → აზოტის გაშრობა) → ცხელი ფირფიტა → ცივი ფირფიტა → კალათის დადება |
||||
|
საერთო ზომა (დაახლოებით): 2100 მმ (W) * 1800 მმ (D) * 2100 მმ (H)
|
||||
|
ქიმიური კაბინეტის ზომა (დაახლოებით): 1700 (W) * 800 (D) * 1600 მმ (H)
|
||||
|
საერთო წონა (დაახლოებით): 1000 კგ
|
||||
|
სამუშაო მაგიდის სიმაღლე: 1020 ± 50 მმ
|
||||
|
2 |
კასეტის ერთეული
|
რაოდენობა: 2
|
||
|
თავსებადი ზომა: 4/6 ინჩი
|
||||
|
კასეტის ამოცნობა: მიკროგადამრთველის ამოცნობა
|
||||
|
ამოღების ამოცნობა: დიახ, ამრეკლი სენსორი
|
||||
|
3 |
რობოტი |
რაოდენობა: 1
|
||
|
ტიპი: ორმაგი მკლავის ვაკუუმის ადსორბციული რობოტი
|
||||
|
თავისუფლების ხარისხი: 4 ღერძი (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
თითის მასალა: კერამიკა
|
||||
|
სუბსტრატის ფიქსაციის მეთოდი: ვაკუუმური ადსორბციის მეთოდი
|
||||
|
რუკების ფუნქცია: დიახ
|
||||
|
პოზიციონირების სიზუსტე: ± 0.1 მმ
|
||||
|
4 |
ცენტრირების ერთეული
|
რაოდენობა: 1 კომპლექტი
|
სურვილისამებრ ოპტიკური გასწორება
|
|
|
გასწორების მეთოდი: მექანიკური გასწორება
|
||||
|
ცენტრირების სიზუსტე: ± 0.2 მმ
|
||||
|
5 |
ერთიანი წებოს ერთეული |
რაოდენობა: 2 კომპლექტი (შემდეგ არის კონფიგურაციები თითოეული ერთეულისთვის)
|
||
|
Spindle როტაციის სიჩქარე: -5000rpm~5000rpm
|
უსაქმურის ტარება
|
|||
|
Spindle როტაციის სიზუსტე: ± 1 rpm (50 rpm ~ 5000 rpm)
|
||||
|
შპინდლის ბრუნვის სიჩქარის მინიმალური რეგულირება: 1 rpm
|
||||
|
სპინდლის ბრუნვის მაქსიმალური აჩქარება: 20000 rpm/s
|
უსაქმურის ტარება
|
|||
|
წვეთოვანი მკლავი: 1 კომპლექტი
|
||||
|
ფოტორეზისტული მილის მარშრუტი: 2 მარშრუტი
|
||||
|
ფოტორეზისტული საქშენის დიამეტრი: 2.5 მმ
|
||||
|
ფოტორეზისტული იზოლაცია: 23 ± 0.5 ℃
|
არასავალდებულო
|
|||
|
დამატენიანებელი საქშენი: დიახ
|
||||
|
RRC: დიახ
|
||||
|
ბუფერი: დიახ, 200 მლ
|
||||
|
წებოს ჩამოშვების მეთოდი: ცენტრში ჩამოშვება და სკანირების ჩამოშვება არჩევითია
|
||||
|
კიდის ამოღების მკლავი: 1 კომპლექტი
|
||||
|
კიდის ამოღების საქშენის დიამეტრი: 0.2 მმ
|
||||
|
კიდეების ამოღების სითხის ნაკადის მონიტორინგი: float flowmeter
|
||||
|
ნაპირების ამოღების სითხის ნაკადის დიაპაზონი: 5-50 მლ/წთ
|
||||
|
Backwash მილსადენი: 2 გზა (თითოეული 4/6 ინჩი 1 არხით)
|
||||
|
უკუგამორეცხვის ნაკადის მონიტორინგი: float flowmeter
|
||||
|
სარეცხი სითხის ნაკადის დიაპაზონი: 20-200 მლ/წთ
|
||||
|
ჩიპის ფიქსაციის მეთოდი: მცირე ფართობის ვაკუუმური ადსორბციის ჩაკი
|
||||
|
ვაკუუმის წნევის სიგნალიზაცია: ციფრული ვაკუუმის წნევის სენსორი
|
||||
|
ჩაკის მასალა: PPS
|
||||
|
ჭიქის მასალა: PP
|
||||
|
ჭიქის გამონაბოლქვის მონიტორინგი: ციფრული წნევის სენსორი
|
||||
|
6 |
განმავითარებელი ერთეული |
ჩამკეტი: დიახ
|
||
|
რაოდენობა: 2 კომპლექტი (შემდეგ არის კონფიგურაციები თითოეული ერთეულისთვის)
|
||||
|
Spindle როტაციის სიჩქარე: -5000rpm~5000rpm
|
უსაქმურის ტარება
|
|||
|
Spindle როტაციის სიზუსტე: ± 1 rpm (50 rpm ~ 5000 rpm)
|
||||
|
შპინდლის ბრუნვის სიჩქარის მინიმალური რეგულირება: 1 rpm
|
||||
|
სპინდლის ბრუნვის მაქსიმალური აჩქარება: 20000 rpm/s
|
უსაქმურის ტარება
|
|||
|
განმავითარებელი მკლავი: 1 კომპლექტი
|
||||
|
განვითარებადი მილსადენი: ორმხრივი (გულშემატკივართა ფორმის/სვეტიანი საქშენი)
|
||||
|
დეველოპერის ფილტრაცია: 0.2 მმ
|
||||
|
დეველოპერის ტემპერატურის კონტროლი: 23 ± 0.5 ℃
|
არასავალდებულო
|
|||
|
შემმუშავებელი ხსნარის ნაკადის დიაპაზონი: 100~1000მლ/წთ
|
||||
|
განვითარებადი მკლავის მოძრაობის რეჟიმი: ფიქსირებული წერტილი ან სკანირება
|
||||
|
დამდნარი მკლავი: 1 კომპლექტი
|
||||
|
დეიონიზებული წყალსადენი: 1 წრე
|
||||
|
დეიონირებული წყლის საქშენის დიამეტრი: 4 მმ (შიდა დიამეტრი)
|
||||
|
დეიონიზებული წყლის ნაკადის დიაპაზონი: 100~1000მლ/წთ
|
||||
|
აზოტის საშრობი მილსადენი: 1 წრე
|
||||
|
აზოტის საქშენის დიამეტრი: 4 მმ (შიდა დიამეტრი)
|
||||
|
აზოტის ნაკადის დიაპაზონი: 5-50ლ/წთ
|
||||
|
შემქმნელი, დეიონიზებული წყალი, აზოტის ნაკადის მონიტორინგი: float flowmeter
|
||||
|
Backwash მილსადენი: 2 გზა (თითოეული 4/6 ინჩი 1 არხით)
|
||||
|
უკუგამორეცხვის ნაკადის მონიტორინგი: float flowmeter
|
||||
|
სარეცხი სითხის ნაკადის დიაპაზონი: 20-200 მლ/წთ
|
||||
|
ჩიპის ფიქსაციის მეთოდი: მცირე ფართობის ვაკუუმური ადსორბციის ჩაკი
|
||||
|
ვაკუუმის წნევის სიგნალიზაცია: ციფრული ვაკუუმის წნევის სენსორი
|
||||
|
ჩაკის მასალა: PPS
|
||||
|
ჩაკის მასალა: PPS
|
||||
|
ჭიქის მასალა: PP
|
||||
|
ჭიქის გამონაბოლქვის მონიტორინგი: ციფრული წნევის სენსორი
|
||||
|
7 |
დამაგრების ერთეული |
რაოდენობა: 2
|
არასავალდებულო
|
|
|
ტემპერატურის დიაპაზონი: ოთახის ტემპერატურა~180℃
|
||||
|
ტემპერატურის ერთგვაროვნება: ოთახის ტემპერატურა~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (ამოიღეთ კიდიდან 10 მმ, გარდა ეჟექტორის ქინძის ხვრელისა) |
||||
|
კორექტირების მინიმალური რაოდენობა: 0.1 °C
|
||||
|
ტემპერატურის კონტროლის მეთოდი: PID რეგულირება
|
||||
|
PIN-ის სიმაღლის დიაპაზონი: 0-20 მმ
|
||||
|
PIN მასალა: კორპუსი SUS304, PIN პინის თავსახური PI
|
||||
|
საცხობი უფსკრული: 0.2 მმ
|
||||
|
მაღალი ტემპერატურის სიგნალიზაცია: დადებითი და უარყოფითი გადახრის სიგნალიზაცია
|
||||
|
მიწოდების მეთოდი: ბუშტუკებით, 10 ± 2 მლ/წთ
|
||||
|
კამერის მუშაობის ვაკუუმი: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
ცხელი ფირფიტის დანადგარი |
რაოდენობა: 10
|
||
|
ტემპერატურის დიაპაზონი: ოთახის ტემპერატურა~250℃
|
||||
|
ტემპერატურის ერთგვაროვნება: ოთახის ტემპერატურა~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (ამოიღეთ კიდიდან 10 მმ, გარდა ეჟექტორის ქინძის ხვრელისა) |
||||
|
მინიმალური რეგულირების რაოდენობა: 0.1 ℃
|
||||
|
ტემპერატურის კონტროლის მეთოდი: PID რეგულირება
|
||||
|
PIN-ის სიმაღლის დიაპაზონი: 0-20 მმ
|
||||
|
PIN მასალა: კორპუსი SUS304, PIN პინის თავსახური PI
|
||||
|
საცხობი უფსკრული: 0.2 მმ
|
||||
|
მაღალი ტემპერატურის სიგნალიზაცია: დადებითი და უარყოფითი გადახრის სიგნალიზაცია
|
||||
|
9 |
ცივი ფირფიტის ერთეული
|
რაოდენობა: 2
|
||
|
ტემპერატურის დიაპაზონი: 15-25 ℃
|
||||
|
გაგრილების მეთოდი: მუდმივი ტემპერატურის ცირკულაციის ტუმბოს გაგრილება
|
||||
|
10 |
ქიმიური მიწოდება |
ფოტორეზისტული საცავი: პნევმატური წებოს ტუმბო * 4 კომპლექტი (სურვილისამებრ სატანკო ან ელექტრო წებოს ტუმბო)
|
||
|
წებოს გაცემის მოცულობა: მაქსიმუმ 12 მლ თითო სესიაზე, სიზუსტე ± 0.2 მლ
|
||||
|
კიდეების ამოღება/უკან რეცხვა/RRC მიწოდება: 18ლ წნევის ავზი * 2 (ავტომატური შევსება)
|
||||
|
კიდეების ამოღება/უკან რეცხვა/RRC სითხის დონის მონიტორინგი: ფოტოელექტრული სენსორი
|
||||
|
ფოტორეზისტული სითხის დონის მონიტორინგი: ფოტოელექტრული სენსორი
|
||||
|
ერთიანი წებოვანი ნარჩენი სითხის გამონადენი: 10ლ ნარჩენი სითხის ავზი
|
||||
|
დეველოპერის მიწოდება: 18 ლიტრიანი წნევის ავზი * 4 (შენახულია ქიმიურ კაბინეტში აპარატის გარეთ)
|
||||
|
დეიონიზებული წყალმომარაგება: ქარხნის პირდაპირი მიწოდება
|
||||
|
სითხის დონის მონიტორინგის განვითარება: ფოტოელექტრული სენსორი
|
||||
|
დეველოპერის ნარჩენების გაშვება: ქარხნის ნარჩენების გადინება
|
||||
|
დამჭერის მიწოდება: 10ლ წნევის ავზი * 1, 2ლ წნევის ავზი * 1
|
||||
|
დამჭერის დონის მონიტორინგი: ფოტოელექტრული სენსორი
|
||||
|
11 |
საკონტროლო სისტემა |
კონტროლის მეთოდი: PLC
|
||
|
ადამიანის მანქანის მუშაობის ინტერფეისი: 17 დიუმიანი სენსორული ეკრანი
|
||||
|
უწყვეტი კვების წყარო (UPS): დიახ
|
||||
|
დააყენეთ დაშიფვრის ნებართვები მოწყობილობის ოპერატორებისთვის, ტექნიკოსებისთვის, ადმინისტრატორებისთვის
|
||||
|
სასიგნალო კოშკის ტიპი: წითელი, ყვითელი, მწვანე 3 ფერი
|
||||
|
12 |
სისტემის საიმედოობის ინდიკატორები
|
მუშაობის დრო: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500 სთ
|
||||
|
MTTR: ≤ 4 სთ
|
||||
|
MTBA: ≥24 სთ
|
||||
|
ფრაგმენტაციის მაჩვენებელი: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
სხვა ფუნქციები
|
ყვითელი შუქი: 4 კომპლექტი (პოზიცია: წებოს შერევისა და განვითარების ერთეულის ზემოთ)
|
||
|
THC: დიახ, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
არასავალდებულო
|
|||
|
FFU: კლასი 100, 5 კომპლექტი (პროცესის ერთეული და რობოტის ზონა)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
არა
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
