1. გამოსაყენებელი ვაფლი: 12'' ვაფლი & 8'' ვაფლი
2. ბურთის ზომა: ф60[მ]~ ф760 [მმ], ф30 [მმ] ლაბორატორიული ტესტის დონეზე
3. ვაფლის მუწუკი:
ა). მინ. დარტყმის მოედანი: 100 [მ]
ბ). მინ. მუწუკის ზომა: 85 [მმ]
გ). მაქს. მუწუკების რაოდენობა: 2.2 კკ [პინები]
* მონაცემები ექვემდებარება მოწყობილობის პირობებს
4. 12” ვაფლის ყუთი:
ა). მინ. სისქე: 200 [μm], 100 [μm] ლაბორატორიული ტესტის დონეზე
ბ). მაქსიმალური გადახრის ტოლერანტობა: 6 [მმ]/ქეისი, 3 [მმ]/კეისი
5. ბურთის დამონტაჟების უნარი
ა). ფლუქსის ბეჭდვის სიზუსტე
ф75[მ] მეტი ბურთი: +25[მ]
ф75[μml-ზე ნაკლები ბურთი: ბურთის დიამეტრის +1/3
ბ). ბურთის დამონტაჟების სიზუსტე
მეტი ф75[მ] ბურთი::±25[მ]
ф75[μml-ზე ნაკლები ბურთი: ბურთის დიამეტრის +1/3
განსაკუთრებული შემთხვევისთვის ჩვენ შეგვიძლია მივაღწიოთ:+13μm
გ). ბურთის სამონტაჟო NG თანაფარდობა: 30-ზე ნაკლები [ppm]