1. აპარატი შეიძლება ვაკუუმით აბსორბირდეს 5" X 5" კვადრატული მასკა, ხოლო გარდა ნაწილაკის thickeს-ისთვის არ არის სპეციალური მოთხოვნები (მას შეიძლება ჩათვალოს 1-3 მმ).
2. აპარატი შეიძლება გამოიყენოს ф 100 მმ წრიულ სუბსტრატზე;
3. სუბსტრატის thickeს-ი ≤ 5 მმ;
4. ინფორმაცია:
Ინფორმაციის წყარო: GCQ350Z ულტრა-მაღალ წნევის ქვების მერკურის დირექტული მერკურის ლამპა გამოიყენება.
Ინფორმაციის დიაპაზონი: ≤ ф 117 მმ გამოსახული ადგილი: ф 100 მმ
დარჩენილია ф 100 მმ-ში დიაპაზონში, გამოსახული უნდა იყოს ≤ ± 3%, ხოლო გამოსახული ინტენსივობა >6mw/сm2 (ეს ინდიკატორი გაზომებულია UV წყაროს I-ლინიაზე 365 ნმ-ზე).
5. ამ აპარატში გამოიყენება იმპორტული დროის რელე, რომელიც კონტროლის პნევმატიკური შუტერი, რათა დაუზუსტოს და მართალი მუშაობა.
6. ეს მანქანა არის კონტაქტული გამოსახული მანქანა, რომელიც შეძლებს:
7. მაღალი კონტაქტის გამოსახვება: გამოიყენება მაღალი ვაკუუმის მაღალი კონტაქტი, ვაკუუმი ≤ -0.05MPa
8. მიღწევა .soft-კონტაქტში: კონტაქტული დაჭერილობა შეძლებს ვაკუუმს გაიზარდოს -0.02MPa და -0.05MPa ჩათვლილი.
9. მიკრო-კონტაქტული მიღწევა: ნაკლებია, ვაკუუმი ≥ -0.02MPa.
10. მიღწევის გარეგნობა: ამ მოწყობილობის მაღალი კონტაქტული მიღწევის გარეგნობა შეძლებს 1 μ-ზე მეტი m (მომხმარებლის "პლატი" და "ჩიპი"-ს ზუსტობის უნდა შეესაბამოს ეროვნულ ნორმებს, გარემო, ტემპერატურა, ტენობა და ნების უნდა შეესაბამოს მაღალი კონტროლი. გამოყენებულია შესაბამისი ფოტორეზისტი, რომლის სიგრძე უნდა შეესაბამოს მაღალი კონტროლი. გარდა ამას, წინა და შემდეგ პროცესები არის მაღალი).
11. გადასაწყვეტად: მოხსნილი სისტემა შედგება ორი CC-დი კამერისგან, რომლებიც მინიჭებულია ორ ერთმანეთის მიკროსკოპზე და შეერთებულია ეკრანს ვიდეო კაბელის მიერ.