1. გამოსახატვის ტიპი: კონტაქტური ტიპი, თაბლოს გადასაწყვეტად, ორი გვერდი ერთი გამოსახატვის
2. გამოსახატვის ფართობი: 110X110mm;
3. გამოსახატვის ერთობი: ≥ 97%;
4. გამოსახატვის ინტენსივობა: 0-30mw/сm2 რეგულირებადი;
5. UV საშუალო კუთხე: ≤ 3 °
6. ულტრავიოლეტის ცენტრალური ტალღის სიგრძე: 365nm;
7. UV საშუალო ცხოვრების დრო: ≥ 20000 საათი;
8. მუშაობის ზედაპირი ტემპერატურა: ≤ 30 ℃
9. ელექტრონული შუტერის გამოყენება;
10. გამოსახვის გარეშე: 1 μ M (გამოსახვის სიღრმე არის ზუსტად 10-ჯერ ხაზის სიგანეს).
11. გამოსახვის რეჟიმი: ორი მხარე的同时aneous გამოსახვა.
12. მისამართლების დიაპაზონი: x: ± 5mm Y: ± 5mm.
13. ფურცელის მისამართლების ზუსტება: 2 μ m.
14. როტაციის დიაპაზონი: Q-მიმართულე როტაციის ჩასწორება ≤ ± 5 °.
15. მიკროსკოპური სისტემა: ხელმისაწვდომი ვიზუალიზაციის სისტემა CCD, მაგალითად 1.6X~10X, კომპიუტერული სურათის მუშაობის სისტემა, 19 "LCD მონიტორი; საერთო გადიდება 91-570x.
16. მასკის ზომები: ხელმისაწვდომია ვაკუუმური მასკები 5" კვადრატული, მასკის thicness-ის სპეციალური მოთხოვნები არ არის (1-3mm).
17. საფუძველი ზომები: ხელმისაწვდომია 4" საფუძველი, საფუძველის thicness-ის დიაპაზონი 0.1-2mm.
18. შეკვეთის დროს სპეციალური მოთხოვნები არ არის, 5" X5 ფურცელი სტანდარტულია; შეიძლება განსაზღვროთ ფურცელები 5" X5-ზე ნაკლები.