Item | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
პროდუქტის ზომა | ≤6 ინჩი | ≤8 ინჩი | ≤8 ინჩი | ||
RF დენის წყარო | 0-300W/500W/1000W რეგულირებადი, ავტომატური შესატყვისი | ||||
მოლეკულური ტუმბო | -/620(ლ/წმ)/1300(ლ/წმ)/მორგებული | ანტისეპტიკური620(ლ/წმ)/1300(ლ/წმ)/მორგებული | |||
წინა ხაზის ტუმბო | მექანიკური ტუმბო/მშრალი ტუმბო | მშრალი ტუმბო | |||
პროცესის წნევა | უკონტროლო წნევა/0-1 Torr კონტროლირებადი წნევა | ||||
გაზის ტიპი | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custom (9-მდე არხი, კოროზიული და ტოქსიკური აირის გარეშე) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
გაზის დიაპაზონი | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | კი არა | დიახ | |||
ნიმუში tem კონტროლი | 10°C~ოთახის ტემპერატურა/-30°C~100°C/მორგებული | -30°C~100°C /მორგებული | |||
უკანა ჰელიუმის გაგრილება | კი არა | დიახ | |||
პროცესი ღრუს უგულებელყოფა | კი არა | დიახ | |||
ღრუს კედლის ტემპერატურის კონტროლი | ნომერი/ოთახი~60/120°C | ოთახის ტემპერატურა-60/120°C | |||
საკონტროლო სისტემა | ავტომატური/მორგებული | ||||
ჭურვის მასალა | სილიკონზე დაფუძნებული: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC მაგნიტური მასალები/შენადნობის მასალები მეტალის მასალა: Ni/Cr/Al/Au. ორგანული მასალა: PR/PMMA/HDMS/ორგანული ფილმი. | სილიკონზე დაფუძნებული: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. მაგნიტური მასალები/შენადნობის მასალები მეტალის მასალა: Ni/Cr/A1/Au. ორგანული მასალა: PR/PMMA/HDMS /ორგანული ფილმი. |
გამოდგება მიკროტალღური მოწყობილობებისთვის, დენის მოწყობილობებისთვის და ა.შ.
Minder-High-Tech Reactive Ion Etching (RIE) აპარატი არის უახლესი ტექნოლოგიის ნაჭერი, რომელსაც შეუძლია წარმოუდგენელი სიზუსტით სხვადასხვა ტიპის მასალების ამოკვეთა და ანალიზი. ეს მანქანა განკუთვნილია სხვადასხვა ინდუსტრიებში გამოსაყენებლად, სადაც რეგულარულად საჭიროა მიკროფაბრიკაცია ან ატრაქცია. იგი დამზადებულია მაღალი ხარისხის მასალებისგან, რაც მას ხდის გამძლეს, საიმედოს და შეუძლია მიიღოს შესანიშნავი შედეგები.
ეფექტურია RF პლაზმური გენერატორით აღჭურვილი. RIE სისტემა იყენებს ინდუქციურ შეერთებას საკვების ბენზინიდან პლაზმის მისაღებად. ეს ტექნიკა ქმნის მაღალი სიმკვრივის პლაზმას, რომელიც ზრდის პროდუქტთან დაკავშირებულ ჭურვის სიჩქარეს. RIE აპარატის გრავირების პროცესი ეფექტური, ზუსტი და უაღრესად კონტროლირებადია, რაც შესაძლებელს ხდის სპეციფიკური სიღრმის მიღწევას. ეს ფუნქცია უნიკალურია, ის შესანიშნავი არჩევანია კვლევის ან ინდუსტრიული სამუშაოებისთვის.
მანქანას აქვს ფართო სპექტრი, მათ შორის მიკროელექტრონიკა, MEMS დამზადება და ნახევარგამტარული წარმოება. ეს მანქანა მნიშვნელოვან როლს ასრულებს ნახევარგამტარული მასალების, როგორიცაა სილიციუმი, გალიუმის არსენიდი და გერმანიუმი, ნახევარგამტარული მრეწველობის გრავირებასა და მიკროდამუშავებაში. Minder-High-tech RIE მოწყობილობა დამატებით დაარსდა MEMS ინდუსტრიაში რბილი და მასალების დასამზადებლად, რომლებიც რთულია, როგორიცაა პოლიმიდი, სილიციუმის დიოქსიდი და სილიციუმის ნიტრიდი. გარდა ამისა, ის ხელმისაწვდომია წარუმატებლობის ანალიზისთვის იმ ინდუსტრიებში, რომლებიც დაკავშირებულია სერვისებთან და ელექტრონულ პროდუქტებთან.
მოიცავს სხვადასხვა ფუნქციებს, რაც მის გამოყენებას მარტივს ხდის. ეს არის მოსახერხებელი პროგრამული უზრუნველყოფა, რომელიც ოპერატორს აწვდის სრულ კონტროლს მოწყობილობაში გამოყენებული ოქროვის პარამეტრებზე. აპარატის პარამეტრები ინახება მის მეხსიერებაში, მას შეუძლია შეინახოს 100-ზე მეტი პარამეტრის ნაკრები. ეკრანს აქვს შეხება, რომელიც ოპერატორს საშუალებას აძლევს დააყენოს ისეთი პარამეტრები, როგორიცაა გაზის მოძრაობა, სიმძლავრის სისქე და წნევა. Minder-High-tech RIE მანქანას ასევე აქვს ტემპერატურის კონტროლის ფუნქცია, რომელიც უზრუნველყოფს მასალების სწორ ტემპერატურაზე ამოკვეთას და აჩერებს მათ დაზიანებას.
იდეალურია კომპანიებისთვის, რომლებსაც სჭირდებათ საიმედო და ეფექტური მანქანა, რომელსაც შეუძლია ზუსტი და ზუსტი შედეგების მიწოდება. ეს მოწყობილობა შექმნილია უმაღლესი დონის ტექნოლოგიით და დონე საკმაოდ ბევრია. მისი მრავალფეროვნება და მოსახერხებელი მახასიათებლები ხდის მას არჩევანს ძალიან კარგ კვლევასა და ინდუსტრიაში სხვადასხვა სექტორში.
მას ასევე აქვს წარუმატებლობის ანალიზის ეფექტური სისტემა, რომელიც საშუალებას აძლევს მანქანას აღმოაჩინოს და გამოასწოროს ნებისმიერი მექანიკური პრობლემა რაც შეიძლება მალე. ეს სისტემა უზრუნველყოფს, რომ RIE მანქანა ინარჩუნებს მაღალ ხარისხს და საიმედოობას თავისი სიცოცხლის ციკლის განმავლობაში. ნებისმიერი ინდუსტრიისთვის, რომელიც საჭიროებს ზუსტ და ეფექტურ გრავირებას ან მიკროფაბრიკაციას, Minder-High-tech RIE მანქანა არის შესანიშნავი გამოსავალი.
საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია