MDLB-MC200
ფოტონიღბის გამწმენდი
დასუფთავების განყოფილება:
საწმენდი კამერა დამუშავებულია კოროზიის მდგრადი მასალებით, რომლებსაც აქვთ გლუვი ზედაპირი და ადვილად იწმინდება. შიდა ღრუს ბოლოში არის ნარჩენების ჩაშვების პორტი, რომელიც იყენებს გრავიტაციას ნარჩენების სითხის ჩაშვების საშუალებას ქარხნის ნარჩენების გამონადენის მილსადენში. ღრუს შიგნით არის შეწოვის პორტი, რომელსაც შეუძლია დროულად ამოიღოს ატმოსფერო ღრუდან. აღჭურვილია 3 ავტომატური საქანელებით, მას შეუძლია მიაღწიოს ავტომატურ გაწმენდას.
კონფიგურაციის პარამეტრების ცხრილი:
პოსტები |
პროექტი |
სპეციფიკაციები |
გამოსვლა |
1 |
აღჭურვილობის მიმოხილვა |
მოწყობილობის დასახელება: Photomask Cleaner |
|
აღჭურვილობის მოდელი: MDLB-MC200 |
|
||
საერთო ზომები (დაახლოებით): 1300 მმ (W) * 1000 მმ (D) * 1950 მმ (H) |
|
||
მთლიანი მანქანის წონა (დაახლოებით): 300 კგ |
|
||
საოპერაციო მაგიდის სიმაღლე: 900 ± 50 მმ |
|
||
სუბსტრატის ზომის სპეციფიკაციები: შესაფერისია 2/4/5/6/8 დიუმიანი კვადრატული ნიღბის ფირფიტებისთვის |
|
||
პროცესის ნაკადი: ვაფლის ხელით განთავსება → გაწმენდა (ფუნჯი, საწმენდი ხსნარი → მაღალი წნევის წყალი → მეგაზონური წყალი → დეიონიზებული წყალი → აზოტიანი გაშრობა) → ვაფლის ხელით მოცილება |
|
||
აღჭურვილობის ტიპი: ნახევრად ავტომატური, ხელით ჩატვირთვა-გადმოტვირთვა |
|
||
2 |
აღჭურვილობის მშენებლობა |
გარსი: უჟანგავი ფოლადი, გლუვი, კოროზიის მდგრადი, ადვილად გასაწმენდი |
|
დასუფთავების კამერა: PP, გლუვი, კოროზიისადმი მდგრადი, ადვილად გასაწმენდი |
|
||
მილსადენი: გამოიყენება PU/PFA შესატყვისი მილსადენი |
|
||
სამუშაო განათება: ანტიკოროზიული ყვითელი განათება |
|
||
კარის გაღების სტილი: ორმაგი კარი კარის გაღების სიგნალიზაციის ფუნქციით |
|
||
სენსორული ეკრანი: 10 დიუმიანი სრული ფერადი სენსორული ეკრანი * 1 |
|
||
FFU: კლასი 100 |
|
||
გაჟონვის საწინააღმდეგო ქვედა მხარდაჭერა: ხელმისაწვდომია |
|
||
3 |
მაღალი სიზუსტის სერვო ძრავა |
რაოდენობა: 1 |
|
სიჩქარე: -3000-3000 rpm |
ცარიელი დატვირთვა |
||
შუბლის ბრუნვის მაქსიმალური აჩქარება: 3000 rpm/S |
ცარიელი დატვირთვა |
||
სიჩქარის სიზუსტე: ± 1 rpm (50rpm~3000rpm) |
|
||
სიჩქარის გარჩევადობა: 1 rpm |
|
||
4 |
ავტომატური სვინგის მკლავი |
რაოდენობა: 3 |
|
რხევის მკლავის სიჩქარე: 1~30 °/S |
|
||
5 |
დასუფთავების ერთეული |
გამწმენდი სვინგის მკლავი: 1 არხი დეიონიზებული წყალი, 1 არხი აზოტის გაზი მეგასონური მკლავი: 1 მეგაზონი, 1 მაღალი წნევის წყალი ჯაგრისის მკლავი: 1 ფუნჯი, 1 წყალი, 1 საწმენდი ხსნარი |
|
დასუფთავების მეთოდი: ავტომატური გაწმენდა |
|
||
დეიონირებული წყლის შეწოვის ფუნქცია: ხელმისაწვდომია |
|
||
უკურეცხვა (დეიონიზებული წყალი): 1 მარშრუტი |
|
||
მიწოდების მეთოდი: გამწმენდი ხსნარი: დიაფრაგმის ტუმბო დეიონიზებული წყალი: მიეწოდება უშუალოდ ქარხანას |
|
||
წნევის ავზი სითხის დონის გამოვლენით |
|
||
6 |
ფუნჯი ფუნჯი |
რაოდენობა: 1 (თვითწმენდის ფუნქციით) |
|
სიჩქარე: 1000 rpm-მდე, რეგულირებადი სიჩქარე |
|
||
სიმაღლის ხელით რეგულირება |
|
||
7 |
ჩატვირთეთ უჯრა |
რაოდენობა: 5 |
|
მასალა: PPS + უჟანგავი ფოლადი |
|
||
ზომა: გამოდგება 2/4/5/6/8 დიუმიანი კვადრატული ნიღბის ფირფიტებისთვის |
|
||
სუბსტრატის ფიქსაციის მეთოდი: კლანჭების დამაგრების მეთოდი |
|
||
8 |
საკონტროლო სისტემა |
კონტროლის სისტემა: PLC კონტროლის გამოყენებით |
|
პროგრამა: 100 ჯგუფი, თითოეული ჯგუფი შედგება 100 ნაბიჯისგან, მაქსიმალური ერთი ნაბიჯის დრო 3000.0 წამი. გარჩევადობა: 0.1S |
|
||
პროგრამის შენახვა, გამოძახება, შეცვლა და წაშლა შესაძლებელია |
|
||
დააყენეთ დაშიფვრის ნებართვები: მოწყობილობის ოპერატორებისთვის, ტექნიკოსებისთვის, ადმინისტრატორებისთვის და მწარმოებლებისთვის, შესაბამისად |
|
||
სასიგნალო კოშკის ტიპი: წითელი, ყვითელი, მწვანე 3 ფერი |
|
საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია