ნახევარგამტარული ინდუსტრიის კასეტის ტიპის სერიული პლაზმური PR ამომყვანი offline მანქანა Photoresist Residual Removal , ჩინეთი ნახევარგამტარული ინდუსტრიის კასეტის ტიპის კასეტა პლაზმური PR ამომყვანი offline მანქანა Photoresist Residual Removal მწარმოებლები, მომწოდებლები, ქარხანა

პროდუქტის აღწერა

კასეტა ტიპის Batch plasma Photoresist Remover

DESCUM
ვაფლის გაწმენდა
ნარჩენი ფოტორეზისტის მოცილება სველი პროცესის შემდეგ
ზედაპირის ნარჩენების მოცილება
ამოიღეთ ნარჩენი ფოტორეზისტი ექსპოზიციისა და განვითარების შემდეგ

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის კასეტის ტიპი სერიის პლაზმური PR ამომღები ოფლაინ მანქანა Photoresist ნარჩენი მოცილების დეტალები

პროცესი

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის კასეტის ტიპის სერიის პლაზმური PR ამომყვანი offline მანქანა Photoresist ნარჩენი მოცილების მომწოდებელი

ნახევარგამტარული ინდუსტრია კასეტის ტიპის სერიის პლაზმური PR ამომყვანი offline მანქანა Photoresist ნარჩენი მოცილება წარმოება

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის კასეტის ტიპის სერიის პლაზმური PR ამომყვანი ოფლაინ მანქანა Photoresist Residual Removal ქარხანა

უპირატესობა:

ძირითადი უპირატესობა

ღრძილების მაღალი სიხშირე: მაღალი სიმკვრივის პლაზმა, სწრაფი გაწმენდის სიჩქარე
სტაბილურობა: პლაზმური დამუშავების შემდეგ, მაღალი რეპროდუქციულობა
დისტანციური პლაზმა: დისტანციური პლაზმა, ვაფლის დაბალი იონის დაზიანება
გამორჩეული პროგრამული უზრუნველყოფა: პროგრამული უზრუნველყოფის დამოუკიდებელი კვლევა და განვითარება, პროცესის ინტუიციური ანიმაცია, დეტალური მონაცემები და ჩანაწერები
ერთგვაროვნება: პლაზმას შეუძლია აკონტროლოს წნევა და ტემპერატურა პეპლის სარქვლის მეშვეობით
უსაფრთხოების ფაქტორი: დაბალი პლაზმა ამცირებს პროდუქტის გამონადენის დაზიანებას.
გაყიდვების შემდგომი მომსახურება: სწრაფი რეაგირება და საკმარისი ინვენტარი
მტვრის კონტროლი: დააკმაყოფილეთ მომხმარებლის მოთხოვნები.
ძირითადი ტექნოლოგია: R&D გუნდის წევრების თითქმის 40%.

კასეტის პლატფორმა (MD-ST 6100/620)

1. 4 ვაფლის მატარებელი
2. მაღალი თავსებადობა: ვაფლის ზომის შერჩევის მოქნილობას მოაქვს მაღალი ღირებულება და გადაწყვეტის ეფექტურობა
3. მაღალი სტაბილურობის ვაკუუმური გადაცემის კამერა:
მომწიფებული და სტაბილური ვაკუუმური ტრანსმისიის დიზაინი უკვე დიდი ხანია გამოიყენება ბაზარზე და კარგად არის აღიარებული მომხმარებლების მიერ.
მბრუნავი მაგიდის დიზაინი, კომპაქტური სივრცე, მნიშვნელოვნად ამცირებს PARTICAL-ის რისკს
4. ჰუმანიზებული პროგრამული უზრუნველყოფის ოპერაციის ინტერფეისი:
ინტუიციური ჰუმანიზებული პროგრამული უზრუნველყოფის მუშაობის ინტერფეისი, რეალურ დროში გაშვებული მანქანის სტატუსის მონიტორინგი;
ყოვლისმომცველი განგაშის და სისულელეების საწინააღმდეგო ფუნქციები არასწორი მუშაობის თავიდან ასაცილებლად.
მონაცემთა ექსპორტის ძლიერი ფუნქცია, სხვადასხვა პროცესის პარამეტრების ჩანაწერები და პროდუქტის წარმოების ჩანაწერების ექსპორტი.

Robot

1. ორმაგი ვაფლის არჩევისა და ადგილის ერთჯერადი დიზაინი მოაქვს მაღალ პროდუქტიულობას
2. სივრცის ეფექტურობის გაუმჯობესება.

გათბობის ფირფიტა

1. მაღალი სიზუსტის ტემპერატურის კონტროლის ვაფლის ფირფიტა
ვაფლის გამაცხელებელი ფირფიტა ოთახის ტემპერატურადან 250°C-მდე, ტემპერატურის კონტროლის სიზუსტე ±1°C
ვაფლის გამაცხელებელი ფირფიტა დაკალიბრებულია პროფესიონალური ინსტრუმენტებით და ერთგვაროვნება. ±3°C-ის ფარგლებში, უზრუნველყოთ წებოს მოცილების ერთგვაროვნება
2. ერთკამერიანი ორმაგი ვაფლის დამუშავება
ერთკამერიანი ორმაგი ვაფლის დიზაინი;
დამოუკიდებელი დენის გამონადენი დიზაინი თითოეული ვაფლისთვის, რომელიც უზრუნველყოფს თითოეული ვაფლის. მრგვალი PR მოცილების ეფექტი;
UPH ეფექტურობის უზრუნველსაყოფად, შეამცირეთ პროდუქტის ღირებულება. ძლიერი თავსებადობა
3. საწარმოო სიმძლავრე: ორმაგი ცალი დიზაინის რეაქციის კამერა, მაღალი წარმოების ეფექტურობა.

სპეციფიკაცია

პლაზმის წყარო	RF	მიკროტალღური
Power	1000w	1250w
შესაბამისი ფარგლები	4 ~ 8 წ	4 ~ 8 წ
ერთი დამუშავების ნაჭრების რაოდენობა	4-6 ინჩი =50 ცალი/8 ინჩი=25 ცალი	4-6 ინჩი =50 ცალი/8 ინჩი=25 ცალი
გარეგნობის ზომები	1000x850x1700mm	1000x850x1700mm
სისტემის კონტროლი	PC	PC
ავტომატიზაციის დონე	სახელმძღვანელო	სახელმძღვანელო

აპარატურის შესაძლებლობები
მოქმედების დრო/ხელმისაწვდომი დრო	≧ 95%
გაწმენდის საშუალო დრო (MTTC)	≦6 საათი
შეკეთების საშუალო დრო (MTTR)	≦4 საათი
საშუალო დრო წარუმატებლობებს შორის (MTBF)	≧350 საათი
საშუალო დრო ასისტენტს შორის (MTBA)	≧24 საათი
საშუალო ვაფლი გატეხილი (MWBB) შორის	≦ 1 10,000 ვაფლიდან
გათბობის ფირფიტის კონტროლი	50-250 °

ტესტის

Factory ნახვა

შეფუთვა და მიწოდება

კომპანიის პროფილი

ჩვენ გვაქვს 16 წლიანი გამოცდილება აღჭურვილობის გაყიდვაში. ჩვენ შეგვიძლია შემოგთავაზოთ ნახევარგამტარული წინა და უკანა ნაწილის პაკეტის ხაზის მოწყობილობების გადაწყვეტა ჩინეთიდან!