ნახევარგამტარული ინდუსტრიის RIE PLASMA PR მოცილების მანქანა Photoresist Residual Removal , ჩინეთი ნახევარგამტარული ინდუსტრიის RIE PLASMA PR მოცილების მანქანა Photoresist Residual Removal მწარმოებლები, მომწოდებლები, ქარხანა

პროდუქტის აღწერა

RIE PLASMA Photoresist Remover

სილიციუმის კარბიდის გრავირება
ზედაპირის გაწმენდა მოჭრის შემდეგ
DESCUM
მყარი ნიღბის ფენა, მშრალი მოცილება
სილიციუმის ოქსიდის ან სილიციუმის ნიტრიდის გრავირება
ოპტიკური წინააღმდეგობის მოხსნა მედიას შორის
ზედაპირის ნარჩენების მოცილება

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის RIE PLASMA PR მოცილების მანქანა Photoresist Residual Removal დეტალები

პროცესი

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის RIE PLASMA PR მოცილების მანქანა Photoresist Residual Removal ქარხანა

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის RIE PLASMA PR მოცილების მანქანა Photoresist Residual Removal წარმოება

უპირატესობა:

ძირითადი უპირატესობა

ღრძილების მაღალი სიხშირე: მაღალი სიმკვრივის პლაზმა, სწრაფი გაწმენდის სიჩქარე
სტაბილურობა: პლაზმური დამუშავების შემდეგ, მაღალი რეპროდუქციულობა
დისტანციური პლაზმა: დისტანციური პლაზმა, ვაფლის დაბალი იონის დაზიანება
გამორჩეული პროგრამული უზრუნველყოფა: პროგრამული უზრუნველყოფის დამოუკიდებელი კვლევა და განვითარება, პროცესის ინტუიციური ანიმაცია, დეტალური მონაცემები და ჩანაწერები
ერთგვაროვნება: პლაზმას შეუძლია აკონტროლოს წნევა და ტემპერატურა პეპლის სარქვლის მეშვეობით
უსაფრთხოების ფაქტორი: დაბალი პლაზმა ამცირებს პროდუქტის გამონადენის დაზიანებას.
გაყიდვების შემდგომი მომსახურება: სწრაფი რეაგირება და საკმარისი ინვენტარი
მტვრის კონტროლი: დააკმაყოფილეთ მომხმარებლის მოთხოვნები.
ძირითადი ტექნოლოგია: R&D გუნდის წევრების თითქმის 40%.

კასეტის პლატფორმა (MD-ST 6100/620)

1. 4 ვაფლის მატარებელი
2. მაღალი თავსებადობა: ვაფლის ზომის შერჩევის მოქნილობას მოაქვს მაღალი ღირებულება და გადაწყვეტის ეფექტურობა
3. მაღალი სტაბილურობის ვაკუუმური გადაცემის კამერა:
მომწიფებული და სტაბილური ვაკუუმური ტრანსმისიის დიზაინი უკვე დიდი ხანია გამოიყენება ბაზარზე და კარგად არის აღიარებული მომხმარებლების მიერ.
მბრუნავი მაგიდის დიზაინი, კომპაქტური სივრცე, მნიშვნელოვნად ამცირებს PARTICAL-ის რისკს
4. ჰუმანიზებული პროგრამული უზრუნველყოფის ოპერაციის ინტერფეისი:
ინტუიციური ჰუმანიზებული პროგრამული უზრუნველყოფის მუშაობის ინტერფეისი, რეალურ დროში გაშვებული მანქანის სტატუსის მონიტორინგი;
ყოვლისმომცველი განგაშის და სისულელეების საწინააღმდეგო ფუნქციები არასწორი მუშაობის თავიდან ასაცილებლად.
მონაცემთა ექსპორტის ძლიერი ფუნქცია, სხვადასხვა პროცესის პარამეტრების ჩანაწერები და პროდუქტის წარმოების ჩანაწერების ექსპორტი.

Robot

1. ორმაგი ვაფლის არჩევისა და ადგილის ერთჯერადი დიზაინი მოაქვს მაღალ პროდუქტიულობას
2. სივრცის ეფექტურობის გაუმჯობესება.

გათბობის ფირფიტა

1. მაღალი სიზუსტის ტემპერატურის კონტროლის ვაფლის ფირფიტა
ვაფლის გამაცხელებელი ფირფიტა ოთახის ტემპერატურადან 250°C-მდე, ტემპერატურის კონტროლის სიზუსტე ±1°C
ვაფლის გამაცხელებელი ფირფიტა დაკალიბრებულია პროფესიონალური ინსტრუმენტებით და ერთგვაროვნება. ±3°C-ის ფარგლებში, უზრუნველყოთ წებოს მოცილების ერთგვაროვნება
2. ერთკამერიანი ორმაგი ვაფლის დამუშავება
ერთკამერიანი ორმაგი ვაფლის დიზაინი;
დამოუკიდებელი დენის გამონადენი დიზაინი თითოეული ვაფლისთვის, რომელიც უზრუნველყოფს თითოეული ვაფლის. მრგვალი PR მოცილების ეფექტი;
UPH ეფექტურობის უზრუნველსაყოფად, შეამცირეთ პროდუქტის ღირებულება. ძლიერი თავსებადობა
3. საწარმოო სიმძლავრე: ორმაგი ცალი დიზაინის რეაქციის კამერა, მაღალი წარმოების ეფექტურობა.

სპეციფიკაცია

პლაზმის წყარო			RF
Power	ICP	_
Power		BIAS	1000 W (ვარიანტი)
შესაბამისი ფარგლები			4-8 ინჩი
ერთი დამუშავების ნაჭრების რაოდენობა			1
გარეგნობის ზომები			850mmx900mmx1850mm
სისტემის კონტროლი			PLC
ავტომატიზაციის დონე			სახელმძღვანელო

აპარატურის შესაძლებლობები
მოქმედების დრო/ხელმისაწვდომი დრო	≧ 95%
გაწმენდის საშუალო დრო (MTTC)	≦6 საათი
შეკეთების საშუალო დრო (MTTR)	≦4 საათი
საშუალო დრო წარუმატებლობებს შორის (MTBF)	≧350 საათი
საშუალო დრო ასისტენტს შორის (MTBA)	≧24 საათი
საშუალო ვაფლი გატეხილი (MWBB) შორის	≦ 1 10,000 ვაფლიდან
გათბობის ფირფიტის კონტროლი	50-250 °

ტესტის

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის RIE PLASMA PR მოცილების მანქანა Photoresist Residual Removal მომწოდებელი

Factory ნახვა

შეფუთვა და მიწოდება

კომპანიის პროფილი

ჩვენ გვაქვს 16 წლიანი გამოცდილება აღჭურვილობის გაყიდვაში. ჩვენ შეგვიძლია შემოგთავაზოთ ნახევარგამტარული წინა ნაწილის და უკანა ნაწილის პაკეტის ხაზის მოწყობილობების გადაწყვეტა ჩინეთიდან!