პროექტი
|
Content
|
პროდუქტის სახეობა
|
6",8",12" ვაფლი, 2.5D/3D შეფუთვა
|
2D ინსპექტირება
Items |
უცხო საგნები, ნარჩენი წებო, ნაწილაკები, ნაკაწრები, ბზარები, დაბინძურება, CP გადახრა, ზედმეტი ნემსის ნიშნები და ა.შ.
|
2D მეტროლოგია
|
მუწუკის დიამეტრი, ნემსის ნიშნის კოორდინატები, RDL და TSV მეტროლოგია და ა.შ.
|
3D ინსპექტირების პროექტი
|
მუწუკის სიმაღლე, მუწუკის კოპლანალობა
|
კასეტა და გადაცემის მეთოდი
|
8"SMIF, 12" FOUP ან კომბინაცია
|
ობიექტივი და გარჩევადობა
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
სიზუსტე
|
0.55 უმ/პიქსელი
|
სურვილისამებრ და მორგებული
|
ორმხრივი OCR, 3D მოდული, მხარდაჭერილი E84
|
საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია