ტექნიკური პარამეტრების | გაზომვის რეჟიმი | PSI/VSI/ველის სუპერ სიღრმე/ნათელი ველი |
ერთი საზომი ხედვის ველი (20× ობიექტური ობიექტივი) | 500*350μm (ავტომატური ნაკერი) | |
კუთხის რეგულირება | ±12° სახელმძღვანელო | |
Z-ღერძის რეგულირება | 20 მმ ელექტრო + 50 მმ სახელმძღვანელო (უხეში და წვრილი რეგულირების მექანიზმი) | |
გრძივი სკანირების დიაპაზონი | 0-10mm | |
გრძივი გარჩევადობა | <0.2 ნმ | |
გრძივი უხეშობის გაზომვის განმეორებადობა | 0.01 ნმ (PSI რეჟიმი) | |
ნაბიჯის სიმაღლის მითითების შეცდომა გაზომვა | <0.75% (VSI რეჟიმი) | |
გვერდითი გარჩევადობა: @550nm | 0.69μm (20× ობიექტური ობიექტივი) | |
ნიმუშის გაზომვადი არეკვლა | 0.1%-100% | |
გაზომვის დრო | <5 წმ (PSI რეჟიმი) | |
ანალიზის ფუნქცია | ანალიზის ფუნქცია | 3D სიმაღლის გაზომვა, 3D უხეშობის ანალიზი, 2D განზომილების გაზომვა |
3D მონაცემთა გამომავალი | ღრუბლის 3D წერტილის მონაცემები, ნაცრისფერი სურათის მონაცემები, მორგებული ანგარიში |
ობიექტური გადიდება | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
რიცხვითი დიაფრაგმა | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
ოპტიკური გარჩევადობა @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
ფოკუსის სიღრმე (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
სამუშაო მანძილი (მმ) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია