პლაზმური საწმენდი მანქანების ფართო გამოყენება ნახევარგამტარულ ინდუსტრიაში საქართველო

პლაზმური საწმენდი მანქანების გამოყენება ნახევარგამტარულ ინდუსტრიაში ძალიან ფართოა, ძირითადად აისახება შემდეგ ასპექტებში:

▘ ზედაპირის გააქტიურების გაწმენდა: ვაფლის, IC ჩიპების, ნახევარგამტარული სილიკონის ვაფლის და ა.შ. ზედაპირის გააქტიურების გასაწმენდად, პლაზმური წმენდის ტექნოლოგიას აქვს ვაფლის ზედაპირიდან ოქსიდის ფენების, ორგანული ნივთიერებების, ნიღბების მოცილების, გამწმენდი დამუშავებისა და ზედაპირის გააქტიურების ფუნქცია. და ვირტუალური შედუღების ფენომენის თავიდან აცილება.

▘შეფუთვის შემდგომი დამუშავება: ჩიპის შეფუთვის დასრულების შემდეგ, შესაფუთი მასალა იწმინდება შედუღების ნარჩენებისა და შეფუთვის პროცესში წარმოქმნილი დამაბინძურებლების მოსაშორებლად, რაც უზრუნველყოფს პროდუქტის ხარისხს. პლაზმის გამწმენდ მანქანებს შეუძლიათ მიაღწიონ დაბინძურებისგან თავისუფალ მკურნალობას და თავიდან აიცილონ მავნე გამხსნელების გამოყენება, რამაც შეიძლება ზიანი მიაყენოს ადამიანის ჯანმრთელობას.

▘ფოტორეზისტის ნარჩენების მოცილება: გამოიყენება ნახევარგამტარების წარმოების ფოტოლითოგრაფიის პროცესში, აღჭურვილობის ნიმუშის დასადგენად. ლითოგრაფიის დასრულების შემდეგ, პლაზმის გამწმენდ მანქანას შეუძლია სწრაფად და საფუძვლიანად ამოიღოს ფოტორეზისტის ნარჩენები, რათა უზრუნველყოს ნიმუშის სიზუსტე და აღჭურვილობის საიმედოობა.

▘ფილის დეპონირების წინასწარი დამუშავება: ფირის დეპონირების პროცესის დროს ზედაპირი უნდა იყოს ძალიან სუფთა, რათა უზრუნველყოფილი იყოს ფილმის გადაბმა და ერთგვაროვნება. პლაზმის გაწმენდას შეუძლია ეფექტურად ამოიღოს დამაბინძურებლები და ნარჩენები დეპონირებამდე, რითაც აუმჯობესებს თხელი ფენების ხარისხს.

▘ ზედაპირის მოდიფიკაცია: პლაზმური დამუშავება გამოიყენება არა მხოლოდ დასუფთავებისთვის, არამედ შესაძლებელია ზედაპირის მოდიფიკაციის მიღწევაც. გაზის შემადგენლობისა და დამუშავების პარამეტრების რეგულირებით, პლაზმის ტექნოლოგიას შეუძლია გააუმჯობესოს მასალების ჰიდროფილურობა ან ჰიდროფობიურობა, გააუმჯობესოს მოწყობილობების მუშაობა და სტაბილურობა.

▘ ადჰეზიის გაუმჯობესება: პლაზმური საწმენდი მანქანები შეიძლება გამოყენებულ იქნას შესაფუთი მასალების გასაწმენდად, როგორიცაა პლასტმასი, კერამიკა და ა.შ., შესაფუთი მასალების გადაბმისა და საიმედოობის გასაძლიერებლად; აუმჯობესებს ადჰეზიურ მოქმედებას მარცვლეულსა და ბალიშის გამტარ წებოვანს შორის, შედუღების პასტის ინფილტრაციის ეფექტურობას, აძლიერებს მილების შემაკავშირებელ დაძაბულობას და აუმჯობესებს შეფუთული მოწყობილობების საიმედოობას.