Reaktyvusjono erzijimas gali kelti baisų įspūdį, tačiau iš esmės tai yra būdas, kurio žmonės naudoja siekdami padaryti technologinius komponentus mažesnius – iki to, kas gali būti palyginamas su brokoliniais. Šie maži elementai yra pagrindiniai sudedamieji daliai daugelio įrenginių, kuriuos naudojame kasdien, pvz., mobilieji telefonai, kompiuteriai ir kt. Pagrindinė šio proceso funkcija yra pašalinti medžiagos dalis, kad galėtume sukurti mažus ir tikslius elementus. Šiame straipsnyje aptarsime, ką reiškia reaktyvusjono erzijimas – jo privalumus ir trūkumus, lyginant su kitais plazmos cheminiais metodais; plazmos chemijos vaidmenį šiame procese; kaip galima pasiekti aukštą kokybę tinkamai naudojant RIE įrangą, ir, galiausiai, kur jis stovi kaip technologinis įrankis.
Reaktyvusjūs jonų erzijimas yra sudėtingas metodas, kurio metu naudojami maži jonai ir dujas, kad iškirstytų medžiagos dalis. Galite manyti apie tai kaip apie galingą strauką, kuri selektiškai iškerta medžiagą, kad sukurtų tikslų formą. Tai reiškia, kad šiuos jonus suvižiuojama ant medžiagos paviršiaus. Kai jonai susiduria su medžiaga, jie su ja reaguojant ir skiriasi į mikrius gablius, kurie gali būti ištraukiami. Medžiagą dedate į rūmą, kuris visiškai uždarius ir nesuteka oro, vadinamą vakuumo kamara. Šie maži dalelės yra generuojami radio dažnių energija, kurios metu jie sukuria jonus.
Reaktyvusjono drabužiavimas yra vienas geriausių, kai kalbama apie detales. Tai reiškia, kad jis gali gaminti aukštos tikslumo stebuklius ir lankstus elementus, bet tai atlieka duja, o ne skystiniu. Tai reiškia, kad su šiuo metodu sukurti detalės yra tikrai pritaikytos technologijoms [1]. Be to, tai vienas greičiausių procesų; per trumpą laiką gali būti pagamintas didelis dalies skaičius. Kadangi šis procesas yra tokios spartos, jis gali būti labai efektyvus įmonėms, kurias didelis tam tikros detalės paklausa.
Tačiau reaktyvusjono drabužiavimas turi ir problemų. Jis nėra tinkamas visiems medžiagų tipams, nes kai kurie jie negali turėti šių laserio pjūčių. Ir reikia tinkamų temperatūrų ir slėgių vietovėje. Tinkamos sąlygos taip pat turi būti esamos, kitu atveju naujas procesas gali ne užtikrinti tokios pat naudos. Vienintelis trūkumas yra tas, kad jis gali būti per brangus palyginti su kitais drabužiavimo metodais, kas gali nutraukti kai kuriuos verslo subjektus naudotis porceliano drabužiu.
Didelė vieta reaktyviosjonių trikdyje užima plazmos chemija. Šie jonai, kurie yra sukurti plazma, sukelia medžiagos cheminio ryšio sutrikimą, dėl kurio kilsta pjovimas. Kai ryšiai sutrumpina, medžiaga sijauja į mažas dalis ir tada su plytu gaso išsiskiria. Cheminio reakcijos produkta galima paveikti naudojant skirtingus dujų tipus. Pavyzdžiui, azoto dujos gali leisti atlikti brandžių pjovimą, leidžiant pašalinti medžiagas be nepageidaujamų liekanų, o deguonies dujos gali suteikti kitokį pjovimo tipą, kuris gali būti tinkamas atsižvelgiant į reikalavimus.
Galingas procesų valdymas yra kritinis veiksnys norint gauti gerus rezultatus reaktyviosjonių eržinimo metodu. Tai reikalauja daugelio parametrų matavimo, įskaitant temperatūrą, slaptį, dujų srautą ir jonių energiją. Stabilus aplinka prisideda prie sutinkamų, numanomų rezultatų eržinimo linijoje. Jei vienas iš šių kintamųjų nėra efektyviai kontroliuojamas, tai gali paveikti galutinį produktą. Be to, medžiagos valymas ir tinkama paruošimas yra būtini prieš pradedant eržyti. Jei visą laiką buvo skirta medžiagos paruošimui prieš eržinimą, tai turėtų pasireikšti geresniais rezultatais.
Pavyzdys yra reaktyvusis jonų erodavimas, kuris dažnai naudojamas mikrofabrikacijos pramonėje, kad sukurtų labai mažus detalės įvairiems techniniams gadgetams. Vienas iš dalykų, prie kurių grafenas gali būti naudingas, yra mažų elektroninių aparatų, jutiklių ir mikrofluidinių prietaisų gamyba, kurie yra būtini šiai savaitei technologijai. Jis taip pat naudojamas mikroelektroninių ir mikrosistemų (MEMS) gamyboje, kurios yra mažos sistemos, galinčios litergą matyti, girdėti, jauti ir judėti kartu su vienu molekulės kartu. Šie MEMS yra pritaikomi daugelyje srityse: nuo mažųjų prietaisų, pvz., mobiliose telefonuose, iki didesnių įrankių ir net medicinos įrenginių. Tarp šių procesų, reaktyvusis jonų erodavimas atlieka svarbų vaidmenį, nes jis gali sukurti mažus ir tikslius elementus, reikalingus tokioms pažangiai technologijoms.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
