Reaktyvusis jonų ėsdinimas skamba kaip bauginantis terminas, tačiau iš tikrųjų tai yra metodas, kurį žmonės naudoja mažiems technologijoms skirtiems gabalėliams gaminti priešpiečio dydžio. Šios smulkmenos yra pagrindinės sudedamosios dalys įvairiuose kasdien naudojamuose įrenginiuose, tokiuose kaip išmanieji telefonai, kompiuteriai ir kt. Pagrindinė šio proceso funkcija yra pašalinti medžiagos dalis, kad galėtumėte sukurti mažas ir tikslias dalis. Šiame straipsnyje aptarsime, kas yra reaktyvusis jonų ėsdinimas – teigiamos ir neigiamos darbo su RIE pusės, palyginti su kitais plazminio cheminio apdorojimo metodais; plazmos chemijos vaidmuo šiame procese; kaip galite pasiekti aukštos kokybės rezultatų teisingai naudodami RIE įrangą ir pagaliau kur ji užima vietą kaip technologijos toolreadcrh xvv.
Reaktyvusis jonų ėsdinimas yra sudėtingas metodas, kurio metu naudojami maži jonai ir dujos, siekiant atskirti medžiagos gabalus. Pagalvokite apie tai kaip apie didelio galingumo purškiklį, kuris selektyviai nupučia medžiagą, kad susidarytų tiksli forma. Tai apima šių jonų sprogdinimą ant medžiagos paviršiaus. Kai jonai atsitrenkia į medžiagą, jie reaguoja su ja ir skyla į mažus gabalėlius, kuriuos galima pašalinti. Medžiagą įdedate į visiškai sandarią dėžę, kurioje nėra oro, vadinamą vakuumine kamera. Šios mažos dalelės generuojamos naudojant radijo dažnio energiją, kur jos sukuria jonus.
Reaktyvusis jonų ėsdinimas yra vienas geriausių, kai kalbama apie detales. Tai reiškia, kad jis gali sukurti didelio tikslumo kampines ir išlenktas savybes, tačiau tai daroma naudojant dujas, o ne skystį. Tai reiškia, kad šiuo metodu sukurtos dalys tiesiog atitinka technologijos paskirtį [1]. Be to, tai yra vienas greičiausių procesų; Per trumpą laiką galima pagaminti daugiau dalių. Kadangi šis procesas yra labai greitas, jis gali būti gana efektyvus įmonėms, turinčioms didelę tam tikros dalies paklausą.
Tačiau reaktyvusis jonų ėsdinimas taip pat turi problemų. Jis netinka visų tipų medžiagoms, nes kai kurios skirtingos rūšys negalės atlikti šių lazerinių pjūvių. Ir tam reikia, kad vietoje būtų tinkama temperatūra ir slėgis. Taip pat turi būti sudarytos tinkamos sąlygos, nes kitaip naujas procesas gali nepasireikšti. Vienintelis trūkumas yra tas, kad jį nustatyti gali būti pernelyg brangu, palyginti su kitais ėsdinimo būdais, o tai gali atgrasyti kai kurias įmones pasinaudoti miltelinio dažymo pranašumais.
Reikšmingą vietą reaktyviojo jonų ėsdinimo procese užima plazmos chemija. Dėl šių plazmos gaminamų jonų nutrūksta cheminiai medžiagos ryšiai, dėl kurių atsiranda pjovimas. Kai ryšiai nutrūksta, medžiaga suyra į mažus gabalėlius, kurie paskui nuskrenda su dujų srove. Tai, kas susidaro cheminės reakcijos metu, gali priklausyti nuo naudojamų dujų tipo. Pavyzdžiui, azoto dujos gali užtikrinti tvarkingą ėsdinimą, leidžiančią pašalinti medžiagas nepaliekant nepageidaujamų likučių, o deguonies dujos suteikia skirtingo tipo ėsdinimą, kuris gali būti tinkamas atsižvelgiant į poreikį.
Norint pasiekti gerų rezultatų naudojant reaktyvųjį jonų ėsdinimą, labai svarbu tvirta proceso kontrolė. Tam reikia išmatuoti daugybę parametrų, įskaitant temperatūrą, slėgį, dujų srautą ir jonų energiją. Stabili aplinka prisideda prie nuoseklių, nuspėjamų ėsdinimo linijos rezultatų. Jei vienas iš šių kintamųjų nėra veiksmingai kontroliuojamas, tai gali turėti įtakos galutiniam produktui. Be to, prieš pradedant ėsdinti, būtina išvalyti medžiagą ir tinkamai paruošti. Jei visas laikas buvo skirtas iš anksto paruošti medžiagą, kurią reikia išgraviruoti, tai turėtų duoti geresnių rezultatų.
Pavyzdys yra reaktyvusis jonų ėsdinimas, dažniausiai naudojamas mikrobų pramonėje, siekiant sukurti labai mažas įvairių techninių prietaisų dalis. Vienas iš grafeno naudingų dalykų yra mažų elektroninių grandinių, jutiklių ir mikroskysčių prietaisų, kurie yra būtini šiuolaikinėms technologijoms, gamyba. Jis taip pat naudojamas kuriant mikroelektromechanines sistemas (MEMS), kurios yra maži prietaisai, galintys tiesiogine prasme matyti, girdėti, jausti ir perkelti daiktus po vieną molekulę vienu metu. Šios ng MEMS naudojamos daugelyje programų: nuo mažų įrenginių, tokių kaip išmanieji telefonai, iki didesnių įrankių ir net medicinos įrangos. Tarp šių procesų reaktyvusis jonų ėsdinimas atlieka labai svarbų vaidmenį, nes jis gali sukurti mažytes ir tikslias funkcijas, reikalingas tokioms pažangioms technologijoms.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Autoriaus teisės © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NE
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
