Minder-Hightech yra poluprovodnikų gamintojas. Poluprovodnikai yra kritiniai daugelio šiuolaikinio gyvenimo dalių, pvz., mobiliojo telefono ir kompiuterių, dalys. Dabar sukurti poluprovodnikai turi kelis etapus, bet pirmasis etapas yra šablonas, sukuriamas ant plonos paviršiaus, vadinamo skystuoju.

Norint atvaizduoti šį šabloną, mes ant skystio uždegiamą medžiagą. Ši medžiaga vadinama fotoretistu. Kai mes esame įdėję fotoretistą, jį pažiūmimai. Po žiemos fotoretisto vieta yra stipriai užtvirtinta ir padaryta galinga. O shadow zonos lieka minkštos ir gali būti ištrintos.

Gavus norimą šabloną ant skystio, fotoretistas turi būti nuimtas iš vietų, kuriose vyks tolesnis apdorojimas. Tai yra vieta, kur Plazminis valyklas veikia tikrai.

Plazminiai metodai fotoretisto nuimimui

Plazma yra dujų būsena su aukštu energijos lygiu, dėl didelio elektros įkrovos, pritaikytos prie jos. Ir šis aktyvusis dujos rūšis labai naudingas nuošluotant fotorezistą iš pelės paviršiaus. Per plazmą fotorezistas gali tapti skruzdžius ir jį valyti tampa daug lengviau.

Turime du skirtingus metodus naudojant plazmą fotorezisto nuošluotimui: sausą etolingimą ir deginimą.

Sausas etolingimas: Šiame metode tiesioginė plazma sąveikauja su fotorezistu. Plazma reaguojant su fotorezistu kur jie susitinka. Ši reakcija sutriuškina fotorezistą ir konvertuoja jį į dujas. Šis dujinis medžiagis vėliau gali būti išvalytas iš pelės paviršiaus, atveriant zonas, kurias reikia mums pačiems, kad būtų prieinamos tolesniam procesavimui.

Ashing — Tai yra kitas būdas tai atlikti, šiame metode naudojamas nereaktyvusis plazma fotoresistui. Plazma sutriuškina fotoresistą į mažas dalis. Tada šios mažos dalių galima išplauti iš pelės. Šis metodas yra tinkamas ir apsaugo pelę, nuošakinant netinkamą fotoresistą.

Naudojant reaktyvųją plazmą fotoresisto šalinimui

Plazminis paviršiaus apdirbimas yra labai galingas įrankis, kuris padeda mums pašalinti sunkiausią fotoresistą iš pelės. Plazma yra įspūdinga po savo lygmeniu, bet geriausias dalykas yra tas, kad ją galima paversti super selektyviu agentu. Tai reiškia, kad ją galima pritaikyti reaguoti tik su fotoresistu, o ne su kitais žemiau esančiais medžiais.

Pavyzdžiui: Jei turime šabloną ant plieno, kuris yra įdėtas po fotorezistų, galime naudoti rūšį plazmos, reaguojančios tik su fotorezistais. Taip mes galime išskirti fotorezistus nekenkdami jame esančiam metalui. Dabar tai labai svarbu, nes mums reikia, kad visos plieno dalys išliktų nepakeistomis per procesą.

Plazmos technika fotorezistų nuimimui

Minder-Hightech taiko naująjį plazmos technologiją, norint nuimti fotorezistus iš mūsų plieno. Tai leidžia mums gaminti klaidų nemokamus polupavadinimus, kurie yra aukštos kokybės.

Greitai, pritaikoma prie jūsų poreikių. Mūsų sistemos yra sukurtos siekiant integruotis link smulkmenų jūsų darbo eigoje. Tai reiškia, kad galime greitai nuimti fotorezistus. Ir kadangi mes esame greiti, mes atitinkame visą savo klientų paklausą, teikiant puikias produktus, kai jie juos reikalauja.

Tačiau mūsų plazminiai sistemos yra labai tikslūs, papildomai prie savo efektyvumo. Tai, ką ši tikslumas mums suteikia, yra galimybę pašalinti tik fotoresistą pati. Mūsų technologija užtikrina, kad visi kitieji dėmenys ant talpavimo nebus sunaikinti per mūsų procesą, ir mes negalime leisti, kad tai atsitiktų. Ši metodinpadėtis taps dar svarbesnė gaminių kokybei, kurias mes gaminame.

Plazmos inicijuojamas fotoresisto šalinimas semikonductoriuose

Taigi, trumpai sakant, plazma yra super galia, leidžianti mums išimti tam tikrą kiekį fotoresistacijos iš pelno paviršiaus labai efektyvu būdu. Mes, Minder-Hightech, taikome naujausią ir geriausią plazmos technologiją, kad gamintume semikonductorius su nulinės defektų kokybe. Kalbant apie plazmos sistemos, mūsų sprendimai gaminami taip, kad lygiuotų greitį su tikslumu, vis tiek likdami labai efektyvūs. Tai reiškia galimybę atitikti mūsų klientų poreikius bei tiekti kokybiškus produktus be jokių nesėkmių. Tai pagerina semikonductorių procesą, kurį naudojame. plazmos šalinimas technologija, dėl kurios mūsų semikonductoriai yra kaip galima geriausiems visiems elektroniniams prietaisams, kad jie būtų patikimi įrenginiai.