„Minder-Hightech“ yra puslaidininkių gamintojas. Puslaidininkiai yra svarbios daugelio šiuolaikinio gyvenimo sudedamųjų dalių, tokių kaip mobilieji telefonai ir kompiuteriai. Dabar yra keli puslaidininkių kūrimo žingsniai, tačiau pirmasis žingsnis yra sukurti raštą ant plokščio paviršiaus, žinomo kaip plokštelė.

Norėdami perteikti šį raštą, ant plokštelės užtepame specialią medžiagą. Ši medžiaga žinoma kaip fotorezistas. Padėję fotorezistą, apšviečiame jį šviesoje. Šviesoje fotorezisto sritis sukietėja ir tampa tvirta. Šešėlyje esančios sritys išlieka minkštos ir gali būti nuvalytos.

Gavus norimą raštą ant plokštelės, fotorezistas turi būti nuimtas nuo vietų, kuriose atliksime tolesnį apdorojimą. Štai kur Plazmos valiklis įsijungia tiesiogine prasme.

Plazminiai fotorezisto pašalinimo metodai

Plazma yra dujų būsena, kurios energijos lygis yra aukštas dėl didelio elektros krūvio. Ir šios aktyvuotos dujos yra labai naudingos fotorezistui pašalinti nuo plokštelės paviršiaus. Dėl plazmos fotorezistas gali tapti trapus ir jį išvalyti tampa daug lengviau.

Turime du skirtingus fotorezisto pašalinimo būdus naudojant plazmą: sausą ėsdinimą ir peleną.

Sausasis ėsdinimas: naudojant šią techniką tikroji plazma, sąveikaujanti su fotorezistu. Plazma reaguoja su fotorezistu ten, kur ji kontaktuoja. Ši reakcija suskaido fotorezistą ir paverčia jį dujomis. Šią dujinę medžiagą vėliau galima nuvalyti nuo plokštelės paviršiaus, kad būtų atskleistos sritys, kurių mums reikia švarių ir prieinamų vystymuisi.

Pelenavimas – tai kitoks būdas, šiuo metodu fotorezistui naudojama nereaktyvi plazma. Plazma suskaido fotorezistą į mažus, mažus gabalėlius. Tada šiuos mažus gabalėlius galima nuplauti nuo vaflio. Šis metodas yra tinkamas ir apsaugo plokštelę, pašalinant nereikalingą fotorezistą.

Reaktyviosios plazmos naudojimas fotorezisto pašalinimui

Plazmos paviršiaus apdorojimas yra labai galingas įrankis, padedantis nuo plokštelės nuimti pačius kiečiausius fotorezistus. Plazma pati savaime yra neįtikėtina, bet geriausia yra tai, kad galime ją paversti itin selektyviu agentu. Tai reiškia, kad jį galima sureguliuoti taip, kad jis konkrečiai reaguotų tik su fotorezistu, o ne su kitomis po juo esančiomis medžiagomis.

Pavyzdžiui: jei ant plokštelės yra raštas, kuriame metalas yra dedamas po fotorezistu, galime naudoti plazmos tipą, kuris reaguoja tik su fotorezistu. Taigi galime išgraviruoti fotorezistą nepažeisdami po juo esančio metalo. Dabar tai labai svarbu, nes mums reikalingos visos plokštelės dalys, kad proceso metu būtų išlaikytas vientisumas.

Plazminė fotorezisto pašalinimo technika

„Minder-Hightech“ naudoja naujojo amžiaus plazmos technologijas, kad pašalintų fotorezistus iš mūsų plokštelių. Tai leidžia mums gaminti aukštos kokybės puslaidininkius be klaidų.

Greita, pritaikoma pagal jūsų poreikius Mūsų sistemos sukurtos taip, kad būtų sklandžiai integruotos į jūsų darbo eigą. Tai rodo, kad trumpai galime pašalinti fotorezistą. Kadangi esame greiti, patenkiname visus savo klientų poreikius ir pristatome puikius produktus, kai jiems jų reikia.

Tačiau mūsų plazminės sistemos taip pat yra labai tikslios, be jų efektyvumo. Šis tikslumas mums suteikia galimybę pašalinti tik patį fotorezistą. Mūsų technologija neleidžia sugadinti visų kitų plokštelės dalių, todėl negalime sau to leisti. Ši metodinė praktika tampa dar svarbesnė mūsų gaminamų puslaidininkių kokybei.

Plazmos sukeltas fotorezisto pašalinimas iš puslaidininkių

Taigi, trumpai tariant, plazma yra super galia, leidžianti labai efektyviai pašalinti fotorezistentą nuo plokštelės paviršiaus. Mes, Minder-Hightech, taikome naujausią ir geriausią plazmos technologiją, kad pagamintume tiksliai nulinės kokybės puslaidininkius. Kalbant apie plazmines sistemas, mūsų sprendimai yra pagaminti taip, kad subalansuotų greitį ir tikslumą, tačiau vis tiek būtų labai veiksmingi. Tai reiškia, kad galime patenkinti savo klientų poreikius ir nepriekaištingai pristatyti kokybiškus produktus. Tai pagerins mūsų naudojamų puslaidininkių procesą plazmos pašalinimas technologija, kurios dėka mūsų puslaidininkiai būtų kuo geresni visų rūšių elektroniniams įrenginiams, kad jie būtų patikimi įtaisai.