1.MDAM-CMPA200 yra puikus smūginimo ir politavimo sistemą didelio apimties smūginimui ir politavimui įvairių medžiagų plėteliams (SiC, Safiras, GaN, AlN...) komponentams, pvz., filtrų medžiagoms, kampinių medžiagoms, LCD skydeliams ir kt.
2.Keturi elektros varai ir keturios papildomos didelės politavimo galvos leidžia vieną kartą polituoti iki 48 2" plėtelių. Todėl MP serijos aparatas yra puikus naudojimui pilno apkrovos gamybos aplinkoje.
3.Aparato automatinis valdymo skydelis naudoja prievokį su dotiklio ekranu valdymui, o procesiniai parametrai gali būti laisvai įvesti ir pakeisti.
4.Automatinis valdymas ir inteligentinis įkrovimo/iškrovimo sistemos gali greitai politi plėtelius iki epitaksinio paruošimo paviršiaus. Ši sistema ypač naudinga sunkiomis substrato medžiagomis operacijoms atlikti, taip pat ji gali operuoti plėtelius iki 8" ø.
5. MDAM-CMPA200 tikslus šlifavimo ir poliavimo aparatas apima pagrindinį bloką, nutolęjį valdymo sistemą, fiksuojančią įrangą, vakuumo sistemą, užpildymo sistemą, šlifavimo ir poliavimo diskus ir kt.
6. MDAM-CMPA200 tikslus šlifavimo ir poliavimo aparatas, pagrindinis blokas ir visos pakeitimų dalys yra pagamintos iš aukštos korozerijos atsparių medžiagų, visa mašina yra korozijai atspari, ir ji tinka įvairioms semikonductorinių medžiagų chemines mechaninės šlifavimo ir poliavimo operacijoms.
7. Per nepriklausomą nutolęją valdymo sistemą gali būti pasiektas daugiamachininis jungtinis valdymas. Per valdymo terminalą gali būti valdomos kelios šlifavimo ir poliavimo mašinos, kas leidžia lengviau keisti technologinius parametrus procese. Tai taip pat leidžia vienodą skaitinį valdymą keliems procesams tuo pačiu metu, didindami darbo efektyvumą ir technologinę tikslumą.
8.Automaticas užpildymo sistema gali reguliuoti skystųjų medžiagų srauto greitį atsižvelgiant į skirtingus technologinius reikalavimus, o taip pat automatiškai išjungiasi, kai yra naudota abrazīvi medžiaga, kad išvengtų bandelio bozėjimo be abrazīvių medžiagų.
9.Įrenginio valdymo sistema turi laiko nustatymo funkciją. Pasiektas numatytas laikas, sistema automatiškai išjungiasi.