Lygintuvas / Lygiavimo mašinos fotolitografija, Kinija Lygiavimo / Lygiavimo mašinos fotolitografija Gamintojai, tiekėjai, gamykla

Produktų apibūdinimas

Kaukių lygintuvo litografijos mašina

Mask Aligner daugiausia naudojamas kuriant ir gaminant mažo ir vidutinio masto integrinius grandynus, puslaidininkinius komponentus, optoelektroninius įrenginius, paviršinių akustinių bangų įrenginius, plonasluoksnes grandines ir galios elektroninius prietaisus.
Kaukės lygintuvas Taip pat žinomas kaip: kaukės derinimo ekspozicijos mašina, ekspozicijos sistema, litografijos sistema ir kt., yra pagrindinė lustų gamybos įranga. Jame naudojama technologija, panaši į nuotraukų spausdinimą, kad būtų atspausdinti smulkūs kaukės raštai ant silicio plokštelės naudojant šviesą.
Daugiausia susideda iš: didelio tikslumo išlygiavimo darbastalio, žiūronų atskirto matymo lauko vertikalaus mikroskopo, žiūronų atskirto matymo lauko horizontalaus mikroskopo, skaitmeninio fotoaparato, kompiuterinio vaizdo atminties sistemos, kelių taškų šviesos šaltinio (skraidančiojo akies) ekspozicijos galvutės, PLC valdymo sistemos, pneumatinė sistema, vakuuminė sistema, tiesiogiai prijungtas vakuuminis siurblys, antrinis antivibracinis darbastalis ir priedų dėžutė

Lygintuvo / Lygiavimo mašinos fotolitografijos gamykla

Charakteristika

1. Didelio tolygumo musės akies poveikio galvutė / oro plūduriavimo išlyginimo mechanizmas / patikimas vakuuminis užspaudimas. didelės raiškos.
2. Išlygiavimo metodas naudojant kaukę išlaiko stabilumą ir substrato padavimą, kuris užtikrina kreipiančiosios gravitacijos ir jėgos nuoseklumą.
3. Naudojant betarpišką tiesų kreiptuvą, didelis tikslumas, greitas.
4. Visi modeliai tinkami dirbti su visais standartiniais fotorezistais. pvz., AZ, Shipley, SU 8.
5. Visi modeliai Modelio kokybė, kurią sistema perduoda pagrindo 5 kaukėms, turi būti tokia pati kaip rašto kokybė po pirmosios kaukės uždėjimo.
6. Ekspozicijos laikas reguliuojamas nuo 1 sekundės iki 1 valandos. Išlygiavimo tikslumas 1 µm

Lygintuvo / Lygiavimo mašinos fotolitografijos tiekėjas

Išlygiavimo / lygiavimo mašinos fotolitografijos detalės

detalizavimas

Modelis	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Ekspozicijos tipas	Viena pusė			Dvipusis lygiavimas ir dvigubas šoninis eksponavimas
Ekspozicijos režimas	Kontaktinis kietas, minkštas ir nekontaktinis artumas
Ekspozicijos galvutės kiekis	1 Ekspozicijos galvutė			2 Ekspozicijos galvutė
Šviesos šaltinio tipas	GCQ350 sferinė gyvsidabrio lempa						LED UV poveikio galvutė
Aušinimo metodas	Oro aušinimas
Ekspozicijos sritis	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm × 150mm
Ekspozicijos režimas	Suderinamas su kontaktiniu kietu, minkštu
Ekspozicijos netolygumas	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Ekspozicijos skiriamoji geba	2 μm	1 mkm
Spindulio intensyvumas (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0–30 mw/cm2
Sijos nehomogeniškumas	≤ ± 4%	≤ ± 3%
UV šviesos maksimalus nuokrypio kampas	4 °	3 °
Apšvietimo diapazonas	≤Φ117 mm	Φ117mm	≤Φ117 mm		Priekyje ir gale ≥ Φ115 mm
Pleišto klaidos kompensavimo režimas	Pusrutulio formos automatinis kompensavimas			Automatinis pašalinimas		3 taškų automatinis kompensavimas
X ir Y ašių eiga	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 mm
θ kelionė	± 3 °	≤5 °	≤±5º		≤0.5 °
XYZ substrato poslinkio skiriamoji geba	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Mikroskopo sistema	Du vieno vamzdžio mikroskopai / dvi CCD kameros
ekrano dydis	15 cm
Vaizdo sistemos skiriamoji geba	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Kaukės ir pagrindo matavimo atstumas	0.5 μm	0.3 μm
CCD taikinio paviršiaus įstrižainės matmuo	1/3, (6 mm)						40–110 mm
Stalo dydžio nustatymas	≤ Kvadratinis 5 * 5 colių (pritaikomos specifikacijos)
Pagrindo dydis	Φ 100 mm arba 100 * 100 mm kvadratas	60 * 49.5 mm kvadratas	2 "-4"		1"x1"-5"x5"
Pagrindo storis	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
Vakuuminis siurblys	Mute be alyvos (-0.07～-0.08MPα)
Išvalykite suslėgtą orą	≥0.4 MPα
Maitinimo	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Švaraus kambario klasė	100 klasė
Švarios kambario temperatūros	25 ℃ ± 2 ℃
Santykinė švarios patalpos drėgmė	≤60%
Švarios patalpos vibracijos amplitudė	≤4μm
Įrangos dydis	1300 × 720 × 1600mm				1500 × 800 × 1600mm
Įrangos svoris	200kg				280kg

Gaminant didelio tikslumo išlyginimo sistemą reikia beveik tobulo tikslaus mechaninio proceso. Kita techninė derinimo sistemos problema yra derinimo mikroskopas. Siekiant pagerinti mikroskopo matymo lauką, daugelis aukščiausios klasės litografijos mašinų naudoja LED apšvietimą. Yra du lygiavimo sistemos rinkiniai su fokusavimo funkcija. Jį daugiausia sudaro dvi akys ir du regėjimo laukai, nukreipti į pagrindinį mikroskopo korpusą, viena okuliaro pora ir viena objektyvo lęšių pora (litografijos aparatas paprastai pateikia okuliarą ir objektyvą su skirtingu padidinimu naudotojams). CCD lygiavimo sistemos funkcija yra padidinti kaukės ir mėginio išlygiavimo žymes ir atvaizduoti juos monitoriuje.

Ruošinio etapas yra pagrindinė litografijos mašinos dalis, kurią sudaro kaukės pavyzdžio bendras judėjimo etapas (XY), kaukės pavyzdžio santykinio judėjimo etapas (XY), sukimosi etapas, mėginio niveliavimo mechanizmas, mėginio fokusavimo mechanizmas. , vaflių stadija, kaukės spaustukas ir ištraukiamos kaukės stadija. Mėginio išlyginimo mechanizmą sudaro rutulinė sėdynė ir pusrutulis. Išlyginimo procese pirmiausia ant rutulio sėdynės ir pusrutulio paleidžiamas slėginis oras, o po to rutulio sėdynė, pusrutulis ir mėginio dalis juda aukštyn per fokusavimo rankinį ratuką, kad mėginio gabalas būtų išlygintas prieš kaukę, o tada. dviejų padėčių trijų krypčių solenoidinis vožtuvas perjungia rutulinį lizdą ir pusrutulį į vakuumą, kad užsifiksuotų, kad būtų išlaikyta išlyginimo būsena.

„Minder-Hightech“ suteikia jums pažangią fotolitografijos technologiją naudojant Aligner / Alignment Machine.

Ar susiduriate su nepakankamu tikslumu, kai spausdinate savo elektroninių gaminių grandines? Naudodami Minder-Hightech lygintuvą / lygiavimo mašiną, galite būti ramūs, žinodami, kad pasieksite aukšto lygio spausdintinių grandynų gamybos tikslumą.

Naudodami šį revoliucinį elementą, naudodami fotolitografiją, galite sklandžiai perkelti didelės raiškos vaizdą į gaminį. Ši mašina garantuoja tikslumą per operacinę medžiagos suderinimo su vaizdu sistemą.

Kai nuotraukos bus išspausdintos ir įkeltos, aparatas apskaičiuoja reikiamą ekspozicijos dydį ir tai, kaip medžiaga sulygiuojama su nuotraukų paminėjimu. Šis skaičiavimas atliktas naudojant naujausią kompiuterinę programinę įrangą, kurią galima atnaujinti, kad atitiktų gamybos pramonės technologinę plėtrą.

Tai leis jums sukurti platų asortimentą, įskaitant mikroschemas, radijo dažnio (RF) grandines ir įmontuotas grandines. Įrenginys gali sukurti geriausią ėsdinimo gylį, vėžės plotį ir lygiavimą tarp sluoksnių, pridedant įvairių papildomų procedūrų, tokių kaip cheminis ėsdinimas ir galvanizavimas.

Mūsų gaminio pranašumas yra jo gebėjimas pasiekti aukštą išlygiavimą, kuris garantuoja, kad raštai labai tiksliai išsidėstę ant medžiagos. Galite patogiai atspausdinti daugybę sudėtingų piešinių be jokių deformacijų.

Jis yra patogus naudoti, kompaktiškas ir efektyvus, todėl tinka įvairioms gamybos patalpoms ar įmonės dydžiui. Be to, įrenginyje yra rankinė priežiūra ir mokymai vietoje su mūsų techninės pagalbos personalo komanda.

Minder-Hightech Aligner/Alignment Machine naudoja fotolitografijos technologiją, kuri padeda pasiekti geriausių rezultatų spausdinant grandines. Patirkite naujo lygio technologijas, kurios siūlo didelį tikslumą ir tikslumą, kurio negali prilygti tradiciniai spausdinimo metodai. „Minder-Hightech“ lygintuvo / lygiavimo mašina yra tai, ko reikia jūsų gamybos įmonei, kad ji išliktų žingsniu priekyje konkurentų. Susisiekite su mumis šiandien ir pasimėgaukite geriausios lygintuvo / lygiavimo mašinos technologijos pranašumais rinkoje.