Automatinis CMP Post Clean, Kinija Automatinis CMP Post Clean Gamintojai, tiekėjai, gamykla

Prekės aprašymas

Valymo įranga po vaflių cheminio mechaninio poliravimo

CMP Post Chean

Mašinos ypatybės

Stiprus proceso pajėgumas
Dviejų kamerų šepetys su plačiu procesų pritaikymo spektru
Įranga užima nedidelį plotą, kurio matmenys yra 2200 * 800 * 2200 (mm)

Taikymo sritys

6–8 colių CMP po valymo
Valymas nušlifavus SIC ar kitus pagrindus

techniniai parametrai

Valymas po 4 colių ir 6 colių CMP
Dviejų kamerų dizainas, nepriklausomas kameros veikimas Sudrėkinkite ir išdžiovinkite arba išdžiovinkite ir išdžiovinkite
Didelio greičio gręžimo sausas SRD

LoadPort blokas, pakrovimo įrenginys

„LoadPort“ yra šio įrenginio įkrovimo vienetas

Šlapias kasetės maitinimas
Turi purškiamą drėkinimo funkciją

Šepečių blokas, vaflių valymo įrenginys

Dviejų kamerų įrenginys, galintis palaikyti du skirtingus valymo sprendimus
Šepetėlio padėtį galima reguliuoti pagal receptą Juostinis konvejeris

SRD įrenginys, vaflių džiovinimo įrenginys

Vaflinio spaustuko tipo džiovinimas centrifugoje, maksimalus greitis 4000 aps./min
Gali atlikti AS valymą ant plokštelės paviršiaus ir purkšti DIW

UNLOAD įrenginys, pjovimo agregatas

Iškrovimo blokas turi nepriklausomą FFU, užtikrinantį plokštelių išvesties švarą

Konvejerių

Drėgnas plotas yra juostinis konvejeris

Sausa vieta roboto teleportacijai

Šepečio įrenginio aprašymas

Kaip parodyta paveikslėlyje kairėje, šio įrenginio šepečio bloką sudaro du šepečių blokai, būtent BU1 BU2.

Kiekvieno bloko šepetėlio slėgį galima reguliuoti atskirai (kaip nurodyta recepte), o kiekvieną šepetėlio ašmenų bloką galima plauti skirtingais cheminiais valymo tirpalais atskirai.

Mašinos šepetys naudoja PVA šepetį, kuris yra dažniausiai naudojamas rinkoje.
Perdavimas tarp ertmių yra juostinis konvejeris. Ertmės viduje yra DIW RINSE

SRD vienetas

SRD įrenginyje yra suspaudimo CHUCK ir AS ARM, kurie gali toliau fiziškai išvalyti ir išdžiovinti plokštelės paviršių.

detalizavimas

Įrangos dydis:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Pakrovimo ir iškrovimo būdai	išdžiūti / šlapias / išdžiūti
Šepečių vienetų skaičius	2
SRD vienetų skaičius	1
Transporto metodas	Drėgnos zonos transportavimas juostomis, sausos zonos robotų transportas
Įrangos su 1 šepečio kamera dydis yra 1850 * 800 * 2200

Pakavimas ir pristatymas

Kompanijos profilis

DUK

1. Apie kainą:
Visos mūsų kainos yra konkurencingos ir derinamos. Kaina skiriasi priklausomai nuo jūsų įrenginio konfigūracijos ir tinkinimo sudėtingumo.

2. Apie pavyzdį:
Galime suteikti jums pavyzdinės gamybos paslaugas, tačiau galite sumokėti tam tikrus mokesčius.

3. Apie mokėjimą:
Patvirtinus planą, pirmiausia turite sumokėti mums užstatą ir gamykla pradės ruošti prekes. Po to, kai
įranga paruošta ir jūs sumokėsite likutį, mes ją išsiųsime.

4. Apie pristatymą:
Užbaigus įrangos gamybą, atsiųsime jums priėmimo vaizdo įrašą, taip pat galėsite atvykti į vietą apžiūrėti įrangos.

5. Diegimas ir derinimas:
Kai įranga atvyks į jūsų gamyklą, mes galime išsiųsti inžinierius, kad jie įdiegtų ir derins įrangą. Mes jums pateiksime atskirą šio paslaugos mokesčio pasiūlymą.

6. Apie garantiją:

Mūsų įrangai suteikiama 12 mėnesių garantija. Pasibaigus garantiniam laikotarpiui, jei kurios nors dalys yra sugadintos ir jas reikia pakeisti, taikome tik savikainą.