Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Gauti kainą

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Pagrindinis puslapis
Apie mus
MH Equipment
Sprendimas
Užsienio naudotojai
Vaizdo įrašas
Susisiekite Su mumis
Pradžia> Plokščių smulkinėjas
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP
  • Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP

Automatinis vienvietis plieno kablelio cheminė mechaninė politūra Planarizacijos CMP

Gaukite nemokamą kainos pasiūlymą
Produkto aprašymas
ATOM Single Platen CMP

Mašinos savybės

Įrenginys yra lankstus ir gali palaikyti kelis galvius.
Aparatūros technologinis potencialas yra artimas pagrindinių modelių lygiui to paties dydžio produktams.
Gerai išlaikoma tarp aparatu procesų sutapatumas.

Pritaikymo sritys

4-8 colio STI, ILD/IMD, TSV, TGV šlifavimo ir junginių, pavyzdžiui SiC, LT, LN, GaAs ir kt., paviršiaus apdorojimas

Techniniai parametrai

4 colio, 6 colio, 8 colio galvos, daugiapardalė kontrolė
Tipas Φ20 colio 508MM platen
Galvos slėlio kontrolės tikslumas <0.05PSI
Galvos ir platen virimo greičio kontrolės tikslumas <2RPM

1. LoadPort vienetas

Prievadas gali būti suvriztas, kad Kasetė būtų nuleidžiama į Qtank, vengiant Slurry kristalų formavimasis ant
šlifuotinos Platelio paviršiaus. Pagrįsta Kasetės Mapping funkcija.

2. Robotmaterial gavimo vienetas

Pagrįstas 4 ašių robotu, jis gali automatiškai perkelti platelius iš Kasetės į šlifavimo vienetą.

3. Pošlinkio aparatas

Šis aparatas yra apgintas Plateno * 1, Galvos * 1, PC *
1, Slurry rango * 1, HCLU * 1, ir EPD galutinio taško aptikimo funkcijomis.
jis gali įgyvendinti automatinį talpaus įkėlimą ir iškėlimą, daugiapardžių galvos valdymą, Slurry
nukrypties taško keitimą pagal recepto nustatymus, galutinio taško aptikimą ir kitas funkcijas.
CMP Pošlinkio galva
Pošlinkio galvos, kurios yra sukonfigūruotos šiame įrenginyje, visos yra nepriklausomai kurtos, dizainuojamos ir gaminamos mūsų įmonėje.
Tarp jų, 4 colio 3 kambario galva yra unikalus produktas, sukurtas mūsų įmonėje, užpildant tuštumą dėl neegzistavimo daugiakambarių 4 colio galvų Kinijoje. Mūsų įmonė greitai gali pakeisti arba pritaikyti galvą pagal produkto charakteristikas, kurias nurodo klientas. TGV plonų filmų (200um) produktų kūrimo metu galvos vidinė struktūra buvo modifikuota, kad atitiktų plonų filmų pošlinkio reikalavimus. LN paviršiaus OX pošlinkio technologijų kūrimo metu mūsų įmonė giliai patobulino 6 colio galvą ir sėkmingai atitiko kliento produkto reikalavimus.
Paraiškos
Tradicinis IC planarizacijos poliravimo procesas;
TGV/TSV procesas;
Smart Cut ir Pre bonding CMP;
SIC plokštės poliravimas/arzino iduoto poliravimas.
Specifikacija
Uostas
Kiekis * 1, su Q-reservuaru
Robotas
Kiekis * 1, waferių perkėlimui
HCLU
Kiekis * 1, automatiniam waferių įkrovimui ir iškrovimui
Poliravimo galvė
Kiekis * 13 kambarių valdymas, valdymo tikslumas 0,1PSI, gali palaikyti 400-1200 UM waferių operacijas.
Pošlinkimo galvos greitis
5-150RPM
Pošlinkimo diskas
Kiekis * 1 Pošlinkimo disko dydis 508mm, Pošlinkimo pad greitis 10-150rpm.
Apyvalinimo ramsys
Kiekis * 1 pošlinkimo pad. Pošlinkimo pad gali būti apyvartojamas tiesiogiai (simultanai) arba ne tiesiogiai (po apyvalinimo). Apyvalinimas
ramsčioje yra apyvalinimo šešėlis, kuris gali sukasi ir judėti aukštyn ir žemyn, o jo greitis ir slėgis gali būti kontroliuojami.
apyvalinimo įrankis yra montuotas ant apyvalinimo šešėlio ir jį galima greitai
nuimti. Pagal skirtingus pošlinkimo pad tipus yra konfiguruojami skirtingi dreserių įrankiai, įskaitant dreserių
kablius, diamantinius žiedus ir diamantines diskus.
UPA politavimo galvos oro slėgio valdymo vienetai
Kiekis * 13. Zoninis reguliavimas geriau užtikrina paviršiaus lygiavimo efektą
Politavimo skysčio tiekimo pompa
Kiekis * 2. Naudojamos peristaltinės pompos skysčiui tiekti, su 2 konfigūruotomis peristaltinėmis pompomis, kad būtų tiekiami skirtingi politavimo skysčiai į politavimo diską. Kiekviena pompa gali būti naudojama bet kuriame proceso etape.
skysčių tiekimas į politavimo diską. Kiekviena pompa gali būti naudojama bet kuriame proceso etape.
Slėrio ranka
Kiekis * 1 gali kontroliuoti slėrio nuošokio tašką ir gali išvalyti politavimo padį.
Operacijų valdymo sistema gali pasiekti vartotojo lygį valdymo, pvz., Operatoriaus režimą, priežiūros režimą ir techninio režimo, o įvairūs režimai yra valdomi slaptažodžiais. Sistema programa gali redaguoti kiekvieno proceso etapo proceso parametrus ir lygiuoti bei politi plieną ant plentos paviršiaus pagal programą. Ji gali stebėti įrenginio veikimo būseną, stebėti
skirtingi režimai valdomi slaptažodžiais. Sistema programa gali redaguoti kiekvieno proceso etapo proceso parametrus ir lygiuoti bei politi plieną ant plentos paviršiaus pagal programą. Ji gali stebėti įrenginio veikimo būseną, stebėti
įrenginio veikimo būseną.
real laiko procesavimo parametrai, o programinė įranga gali automatiškai saugoti įvairius procesų duomenis. Lygiuojama nuostoliuoto mygtuku, naudojamu sustabdyti
įrenginio veikimą ir išjungti valdymo energiją.
Pakavimas ir pristatymas
Įmonės Profilis
DAK
1. Apie kainą:
Visos mūsų kainos yra konkurencingos ir deramomos. Kaina skiriasi priklausomai nuo jūsų įrenginio konfigūracijos ir personalizacijos sudėtingumo.

2. Apie pavyzdį:
Galime jums teikti pavyzdžių gamybos paslaugas, tačiau jūs turėtumėte sumokėti kai kokių mokestinių.

3. Apie mokėjimą:
Kai planas bus patvirtintas, pirmiausia turite mums užpildyti užstato sumą, o gamyklė pradės paruošti prekes. Kai
įranga bus pasiruošusi, o jūs sumokosite likusią sumą, mes ją siųsime.

4. Apie pristatymą:
Kai bus baigta įrangos gamyba, mes jums nusiųsiame priėmimo vaizdo įrašą, o jūs taip pat galite atvykti į vietą, kad inspekciją atliktumėte.

5. Montavimas ir derinimas:
Kai įranga bus pristatyta į jūsų gamyklą, mes galime išsiųsti inžinierius montuoti ir derinti įrangą. Šios paslaudos kainą mes jums pateiksime atskiroje kainodarboje.

6. Apie garantiją:
Mūsų įranga turi 12-mėnesio garantijos laikotarpį. Po garantijos termino, jei kurie nors detales bus sugedę ir reikalingas jų pakeitimas, mes tik sumokinsime kainą už medžiagą.

Daugiau produktų

Užklausa

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Privatumo politika

Užklausa Email WhatsApp Top
×

Susisiekite su mumis