Automatinis vienos plokštelės vaflių cheminis mechaninis poliruoklis CMP, Kinija Automatinis viengubo plokštelės vaflių cheminis mechaninis poliruoklis CMP Gamintojai, tiekėjai, gamykla

Prekės aprašymas

ATOM Single Platen CMP

Mašinos ypatybės

Prietaisas yra lankstus ir gali palaikyti kelias galvas.
Įrangos proceso pajėgumai yra artimi įprastiniam tokio paties dydžio gaminių modelio lygiui.
Geras tarp įrenginių proceso nuoseklumas.

Taikymo sritys

4-8 colių STI, ILD/IMD, TSV, TGV poliravimas ir tokių junginių kaip SiC, LT, LN, GaAs ir kt. paviršiaus poliravimas

techniniai parametrai

4 colių, 6 colių, 8 colių galvutės, kelių zonų valdymas
Φ20 colių 508 mm plokštelės tipas
Galvos slėgio valdymo tikslumas <0.05PSI
Galvutės ir plokštelės sukimosi greičio reguliavimo tikslumas <2 aps./min

gaminio automatinis vienos plokštelės plokštelės cheminis mechaninis poliruoklis cmp-53

1. „LoadPort“ įrenginys

Portą galima apversti ir panardinti kasetę į Qtank, išvengiant srutų kristalų susidarymo ant
poliruotas vaflių paviršius. Įrengta Cassette Mapping funkcija.

gaminio automatinis vienos plokštelės plokštelės cheminis mechaninis poliruoklis cmp-54

2. Robotinės medžiagos paėmimo įrenginys

Įrengtas 4 ašių robotas, jis gali automatiškai perkelti plokšteles iš kasetės į poliravimo įrenginį.

gaminio automatinis vienos plokštelės plokštelės cheminis mechaninis poliruoklis cmp-55

3. Poliravimo įrenginys

Šiame įrenginyje yra Platen * 1, Head * 1, PC *
1, srutų svirtis * 1, HCLU * 1 ir EPD galutinis taškas
aptikimas. Jis gali pasiekti automatinį plokštelių pakrovimą ir iškrovimą, kelių zonų galvutės valdymą, srutas
nusileidimo taško keitimas naudojant recepto nustatymus, galutinio taško aptikimą ir kitas funkcijas.

gaminio automatinis vienos plokštelės plokštelės cheminis mechaninis poliruoklis cmp-56

CMP poliravimo galvutė

Visas šiame įrenginyje sukonfigūruotas poliravimo galvutes sukūrė, suprojektavo ir gamina mūsų įmonė.
Tarp jų 4 colių 3 ertmių galvutė yra unikalus mūsų įmonės sukurtas gaminys, užpildantis Kinijos daugialypės ertmės 4 colių galvutės spragą. Mūsų įmonė gali greitai modifikuoti arba pritaikyti Galvą pagal kliento gaminio savybes. Kuriant TGV plonos plėvelės (200 um) gaminius, vidinė galvutės struktūra buvo pakeista, kad atitiktų plonos plėvelės poliravimo reikalavimus. Kurdama LN paviršiaus OX poliravimo technologiją, mūsų įmonė giliai atnaujino 6 colių galvutę ir sėkmingai atitiko kliento gaminio reikalavimus.

gaminio automatinis vienos plokštelės plokštelės cheminis mechaninis poliruoklis cmp-57

Programos

Tradicinis IC planarizacijos poliravimo procesas；

TGV / TSV procesas；

Išmanusis pjovimas ir išankstinis klijavimas CMP；

SIC substrato poliravimas/poliravimas galio arsenidu.

gaminio automatinis vienos plokštelės plokštelės cheminis mechaninis poliruoklis cmp-58

detalizavimas

uostas	Kiekis * 1, su Q baku
Robotas	Kiekis * 1, vaflių perdavimui
HCLU	Kiekis * 1, skirtas automatiniam vaflių pakrovimui ir iškrovimui
Poliravimo galvutė	Kiekis * 13 ertmių valdymas, valdymo tikslumas 0.1 PSI, gali palaikyti 400-1200 UM plokštelių operacijas.
Poliravimo galvos greitis	5-150RPM
Poliravimo diskas	Kiekis * 1 poliravimo diskas, kurio dydis 508 mm, poliravimo padėklo greitis 10-150 aps./min.
Apipjaustymo rankena	Kiekis * 1 poliravimo padas. Poliravimo padą galima poliruoti internetu (vienu metu) arba neprisijungus (po poliravimo). Apipjaustymas rankoje yra apipjaustymo velenas, kuris gali suktis ir judėti aukštyn ir žemyn, o greitis ir prispaudžiamoji jėga gali būti valdoma. The kirpimo įrankis yra sumontuotas ant pjovimo veleno ir gali būti greitai pašalintas. Atsižvelgiant į skirtingus poliravimo pagalvėlių tipus, sukonfigūruojami skirtingi tvarstymo įrankiai, įskaitant tvarstį šepečiai, deimantiniai žiedai ir deimantiniai diskai.
UPA poliravimo galvutės oro slėgio valdymo blokas	Kiekis * 13 zona reguliuojama, kad būtų geresnis paviršiaus planavimo efektas
Poliravimo skysčio tiekimo siurblys	Kiekis * 2. Peristaltiniai siurbliai naudojami skysčiui tiekti, o 2 peristaltiniai siurbliai sukonfigūruoti skirtingam poliravimui skysčių į poliravimo diską. Kiekvienas siurblys gali būti naudojamas bet kuriame proceso etape.
Srutų ranka	Kiekis * 1 gali valdyti srutų nusileidimo tašką ir nuvalyti poliravimo padėklą.
Veikimo valdymo sistema gali pasiekti vartotojo lygio valdymą, pvz., operatoriaus režimą, techninės priežiūros režimą ir techninį režimą bei var ios režimai valdomi slaptažodžiais. Sistemos programinė įranga gali redaguoti kiekvieno proceso etapo proceso parametrus ir išlyginti bei nupoliruokite ploną plėvelę ant drožlių paviršiaus pagal programą. Jis gali stebėti įrangos veikimo būseną, stebėti proceso parametrus realiuoju laiku, o programinė įranga gali automatiškai saugoti įvairius proceso duomenis. Įrengtas avarinis stabdymas mygtukas, naudojamas nedelsiant sustabdyti įrangos veikimą ir atjungti valdymo maitinimą.

Pakavimas ir pristatymas

gaminio automatinis vienos plokštelės plokštelės cheminis mechaninis poliruoklis cmp-59

gaminio automatinis vienos plokštelės plokštelės cheminis mechaninis poliruoklis cmp-60

Kompanijos profilis

DUK

1. Apie kainą:
Visos mūsų kainos yra konkurencingos ir derinamos. Kaina skiriasi priklausomai nuo jūsų įrenginio konfigūracijos ir tinkinimo sudėtingumo.

2. Apie pavyzdį:
Galime suteikti jums pavyzdinės gamybos paslaugas, tačiau galite sumokėti tam tikrus mokesčius.

3. Apie mokėjimą:
Patvirtinus planą, pirmiausia turite sumokėti mums užstatą ir gamykla pradės ruošti prekes. Po to, kai
įranga paruošta ir jūs sumokėsite likutį, mes ją išsiųsime.

4. Apie pristatymą:
Užbaigus įrangos gamybą, atsiųsime jums priėmimo vaizdo įrašą, taip pat galėsite atvykti į vietą apžiūrėti įrangos.

5. Diegimas ir derinimas:
Kai įranga atvyks į jūsų gamyklą, mes galime išsiųsti inžinierius, kad jie įdiegtų ir derins įrangą. Mes jums pateiksime atskirą šio paslaugos mokesčio pasiūlymą.

6. Apie garantiją:
Mūsų įrangai suteikiama 12 mėnesių garantija. Pasibaigus garantiniam laikotarpiui, jei kurios nors dalys yra sugadintos ir jas reikia pakeisti, taikome tik savikainą.