ICP sausas plazminis fotoresisto pašalinimo / plazminio fotoresisto pašalinimo (PR) aparatas puslaidininkinėms plokštelėms , Kinija ICP sausas plazminis fotoresisto pašalinimo / plazmos fotoresisto pašalinimo (PR) aparatas, skirtas puslaidininkinėms plokštelėms Gamintojai, tiekėjai, gamykla

Prekės aprašymas

ICP PLASMA Pašalinkite fotorezisto įrenginį

PELENINTI
Polimero pašalinimas
Sausas kieto kaukės sluoksnio pašalinimas
Fotorezistencijos pašalinimas po jonų implantacijos
Fotoatsparumo pašalinimas naudojant BAW/SAW procesą
Antirefleksinės grafinės plėvelės sluoksnio sausas valymas
Paviršiaus likučių pašalinimas
Paviršiaus valymas po ėsdinimo
DESCUM

ICP sauso plazminio fotorezisto šalinimo aparatas tinkamas DESCUM (išankstinis apdorojimas, fotorezisto likučių pašalinimas) Polimero šalinimas (PI, BCB, PBO) Po jonų implantacijos, fotorezisto pašalinimo ir pan., ertmė tinkama 8 colių mėginiams (4 - 6 colių suderinamas)

ICP sausas plazminis fotoresisto pašalinimas / plazminio fotoresisto pašalinimo (PR) aparatas puslaidininkinių plokštelių detalėms

ICP sausas fotoresisto pašalinimas iš plazmos / plazmos fotoresisto pašalinimo (PR) aparatas, skirtas puslaidininkinių plokštelių tiekėjui

ICP sausas fotoresisto pašalinimas iš plazmos / plazmos fotoresisto pašalinimo (PR) aparatas, skirtas puslaidininkinių plokštelių gamybai

ICP sausas fotoresisto pašalinimas iš plazmos / plazmos fotoresisto pašalinimo (PR) aparatas puslaidininkių plokštelių gamyklai

detalizavimas

PLAZMOS			RF	RF
Elektros energija	ICP	1000w	1000w
Elektros energija		BIAS	600w (pasirinktinai)	600w (pasirinktinai)
Taikytina taikymo sritis			4 ~ 8 col	4 ~ 8 col
Vieno apdorojimo gabalų skaičius			1	2
Išvaizda matmenys			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Sistemos valdymas			Pramoninio valdymo sistema	Pramoninio valdymo sistema
Automatikos lygis			automatinis	automatinis