struktūra |
iliustruoti |
Virimo stalas |
Virimo sritis: stalo, plokštės talpymo sritis |
Optinis sistema |
Lazerio emisijos formavimo sritis |
Aplinkos valdymo sistema |
Valdo įrenginio vidinę temperatūrą ir teigiamą slaptį |
Platforma sistema |
Valdo atskleidimo stalo judėjimą, kad baigtų atskleidimo kelio operaciją |
Valdymo sistema |
Visos technikos valdymo sistema |
Ne, aš ne. |
Aplinką |
Reikia |
1 |
Šviesos šaltinio aplinka |
Geltonoji šviesa |
2 |
Temperatūra |
22℃±2℃ |
3 |
Drėgmė |
50%±10% |
4 |
Švarumą |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, sausas, grynas oras |
6 |
Energijos šaltinis |
220~240V, 50/60Hz, 2,5KW; Žemės laidas turi būti sujungtas su žeme, |
7 |
Invaliuojamos vandens |
Temperatūra: 10℃~ 20℃ Slėgis: 0,3MPa ~ 0,5MPa Srautas: 20L/min Slėgio skirtumas: daugiau nei 0,3MPa Prievado dydis: Rc3/8 |
8 |
Vieta |
lygiaveris: ±3mm/3000mm klydimo lygis: VC-B Krintamasis: 750kg/㎡ |
10 |
Internetas |
Vienas tinklo prievadas |
11 |
Mašinos dydis |
1300*1100*2100mm |
12 |
Įrenginio svoris |
1500kg |
Ne, aš ne. |
PROJEKTAS |
Spec. |
Pastaba |
1 |
Rezoliucija |
0.6µm ar kitas reikalavimas |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1µm |
|
3 |
Substrato storis |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Datos tinklo tikslumas |
60nm |
|
5 |
Sudėjimas |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Sudėties tikslumas |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Maksimalus eksponavimo dydis |
190X190mm |
|
8 |
Gamybos našumas |
≥300mm2/min |
≤50mj/cm2; |
9 |
šviesos šaltinis |
LD 375nm |
|
10 |
šviesos jėga |
6W |
|
11 |
Energijos tolygumas |
≥95% |
|
12 |
šviesos trukmė |
10000hr |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
