MCXJ-MLS8 bekaukės litografijos sistema, Kinija MCXJ-MLS8 bekaukės litografijos sistemos gamintojai, tiekėjai, gamykla

Prekės aprašymas

Pavyzdys:

MCXJ-MLS8 Litografijos be kaukių sistemų gamyba

Įrangos sandaros schema

MCXJ-MLS8 Litografijos be kaukių sistemos tiekėjas

detalizavimas

Ekspozicijos pagrindinio kompiuterio struktūros diagrama

struktūra	iliustruoti
Stalviršio atidengimas	Ekspozicijos sritis: stalviršis, substrato išdėstymo sritis
Optinė sistema	Lazerio emisijos liejimo zona
Aplinkos kontrolės sistema	Kontroliuokite prietaiso vidinę temperatūrą ir teigiamą slėgį
Platformų sistema	Valdo ekspozicijos lentelės judėjimą, kad užbaigtų ekspozicijos kelio veikimą
Valdymo sistema	Visos įrangos valdymo sistema

Pastaba: kadangi mašinos atnaujinimas gali pakeisti tikrąją išvaizdą, konkretų gaminio objektą.

Ne.	aplinka	Reikalauti
1	Šviesos šaltinio aplinka	Geltona šviesa
2	temperatūra	22 ℃ ± 2 ℃
3	Drėgmė	50% ± 10%
4	Švarumas	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa，200LPM, sausas, švarus oras
6	Elektros energijos tiekimas	220 ~ 240 V, 50/60 Hz, 2.5 KW; Įžeminimo laidas turi būti įžemintas
7	Aušinimo vanduo	Temp.: 10℃ ~ 20℃ Slėgis: 0.3 MPa ~ 0.5 MPa Srauto greitis: 20L/min Slėgio skirtumas: 0.3 MPa以上 Perimkite kalibrą: Rc3/8
8	Vieta	lygis: ± 3 mm / 3000 mm purtymas: VC-B guolis: 750 kg / ㎡
10	Internetas	Vienas tinklo prievadas
11	mašina dydis	1300 * 1100 * 2100mm
12	Įrenginio svoris	1500kg

Ne.	PROJEKTAS	Spec.	Pastaba
1	rezoliucija	0.6 um / arba kitas reikalavimas	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Pagrindo storis	0.2–4 mm
4	Datos tinklelio tikslumas	60nm
5	Dangtis	± 500nm	130mmx130mm
6	Siuvimo tikslumas	± 200nm	AZ703
7	MAX ekspozicijos dydis	190X190mm
8	Pralaidumas	≥300mm2/min	≤50mj/cm2；
9	šviesos šaltinis	LD 375nm
10	šviesos galia	6W
11	Energijos vienodumas	≥ 95%
12	lengvas gyvenimas	10000hr

Pakavimas ir pristatymas

Kompanijos profilis

Turime 16 metų patirtį įrangos pardavimo srityje. Mes galime suteikti jums profesionalų vieno langelio puslaidininkių priekinės ir galinės pakuotės linijos įrangos sprendimą iš Kinijos.