Vakuuminis plazminis šeimininkas (200) | ||||
Įrangos dydis | 1050 × 1700 × 1050 mm (plotis, aukštis ir gylis) | |||
svoris | 800Kg | |||
reikalauti galios | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Plazmos generatoriaus specifikacijos | ||||
maitinimo tinklo | radijo dažnio | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Maitinimo dažnis | 13.56MHz | 40 kHz | ||
Vakuuminė sistema | ||||
Vakuuminis siurblys | Feiyue vienpolis siurblys VSV100+Both Roots siurblys BSJ70 | |||
vakuuminė linija | Visi nerūdijančio plieno vamzdžiai ir didelio stiprumo vakuuminiai silfonai | |||
medžiaga | Aliuminio lydinys | |||
storis | 25mm | |||
sandarumas | Karinio lygio suvirintas sandariklis | |||
Ertmės vidiniai matmenys | 600 × 600 × 600 mm (P × A × G) | |||
Efektyvus elektrodo plokštės dydis | 472 x 451 mm (plotis × skersmuo) | |||
laisvos vietos | 35mm | |||
Elektrodų plokštės išdėstymas | Horizontali elektrodo plokštė | |||
darbo padėklas | Vienas rinkinys yra standartinis, o medžiaga yra neprivaloma (aliuminis, plieno tinklelis) | |||
Darbo sritis | 8 grindys | |||
Procesinės dujos | ||||
Srauto diapazonas | 0 ~ 300SCCM | |||
Proceso dujų grandinė | Įrengtas O2, Ar, N2 trijų krypčių dujos | |||
Valdymo sistema | ||||
sistemos valdymas | PC valdymas | |||
interaktyvus režimas | Windows sąsaja |
Autoriaus teisės © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos