MDHS-AL8 8" Visiškai automatinis vieno pusės litografijos aparatas , China MDHS-AL8 8" Visiškai automatinis vieno pusės litografijos aparatas Manufacturers, Suppliers, Factory

Produkto aprašymas

MDHS-AL8 8" Visiškai automatinis vieno pusės litografijos aparatas

1. Darbo režimas: Įkrovimo robotas automatiškai įkelia plėtras iš A-B (atnaujinamųjų) plėtrų dėžutės į preliminarią pozicionavimą

darbo stalas, ir per kameros pozicijavimo skilties bei automatinio sukimo sistemos reguliavimą pasiekiama skilčių preliminaris pozicijavimas; Krutimo robotas tada įkelia iš ankties nupozicijuotas skiltis ant derinių darbo stalo. Per kompiuterinį vaizdo atpažinimą ir automatinio derinių sistemos reguliavimą gali būti pasiektas maskos ir skilties vaizdų automatinis derinys. Taip pat galima užbaigti vieną išspindinimą neatsarginant vaizdų. Po automatinio išspindinimo per pereinamąjį sistemą, iškrovimo robotas automatiškai įdėda skiltis į C-D (perdirbamas) skilties dėžę.
2. Išspindinimo sritis: 160 × 160mm;
3. Nelyginis išspindinimo šviesos intensyvumas: ≤ 3%;
4. Išspindinimo intensyvumas: 0~≥ 40mw/cm2 reguliuojamas (spindulio kampas 2 °);
5. UV spindulio kampas: ≤ 3 °;
6. Ultravioletinio spindulio centro bangos ilgis: 365nm;
7. UV šviesos šaltinio gyvenamo laikas: ≥ 20000 valandų;
8. Atskyrimo gebėjimas: 0~≥ 1000um reguliuojamas;
9. Derinio tikslumas: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Eksponavimo tikslumas: Kontaktinis eksponavimas ± 1 μm. Artus eksponavimas, atskyrimas 20 μm, pluoštinės kampas 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Eksponavimo metodai: tvirtas kontaktas, minkštas kontaktas ir artus eksponavimas;
12. Eksponavimo režimas: Galite pasirinkti tarp vieno etapo eksponavimo arba poslinkio eksponavimo
13. Preliminarių vaizdų pripažinimas ir automatinis sukimo sistema (įskaitant preliminarų darbo staliuką): sukimo kampas Q ≥ ± 180 °, sukimo tikslumas Q ≤ 0,01 °;
14. Vaizdų pripažinimo ir automatinio derinimo sistema (įskaitant UVW derinimo darbo staliuką): derinimo diapazonas X Y ≥ ± 5mm, sukimo kampas Q ≥ ± 3 °, ir mikroskopio du objektyvai valdomi dviem XYZ elektriniais platformomis.
15. Maskos dydis: 5 "× 5" ir 7" × 7 ";
16. Skystojo kristalo plotis: 4 "ir 6";
17. Viršutinė ir apatinė filmo dėžutės darbo stotys: dviejų stotybių;
18. Pėdų padangos su oro balionais
19. Įkrovimo ir iškrovimo dvigubos rankos robotinė ranga: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Popierių skaičius popierių dėžėje: nustatytas pagal popierių skaičių kliento popierių dėžėje;
21. Padėties stalo pakelimas: Z ≥ ± 25mm;
22. Išspindinimo laikas: reguliuojamas nuo 0 iki 999,9 sekundžių;
23. Gamybos tempas: >120 vienetų per valandą;
24. Energijos tiekimas: vieningasis AC220V 50Hz, energijos suvartojimas ≤ 3KW;
25. Švaraus oro slėgis: ≥ 0,4MPa;
26. Vakuumas: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Dydis: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Svoris: apie 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Šis aparatas sudarytas iš LED ultravioletinio spinduliuojančio galūnėlio, vaizdo atpažinimo ir automatinio pasukimo sistemos, preliminarinio padėties stalo, bei paveikslų panašaus atpažinimo ir automatinio lygiavimo sistemų, lygiavimo stalų, įkrovimo robotų, iškrovimo robotų, pyldų ir elektros valdymo įrenginių, papildomų priedų ir kt.

Specifikacija

1. Gaubos galva: viena LED ultravioletinė gaubos galva (365nm);
2. Vaizdo atpažinimo ir preliminario puslapiavimo darbo stalas:
1) 1 kamera (1,3 milijono pikselių)
2) Centrinio pozicionavimo fiksuotuvas
3) 1 sukimosi platformos rinkinys (naudojant servoelektrą)
4) 1 pozicionavimo sistemos rinkinys
3. Vaizdo atpažinimo ir automatinio puslapiavimo sistema:
1) 2 kameros (5 milijonų pikselių aukštais kadro dažniu)
2) 2 lęstynai (4x aukštosios sprendiamosios gebos lęstynas)
3) Vienu pramoninio kompiuterio
4) Vienas valdiklis (valdomas PLC)
5) Vienuolika lygiavimo platformos rinkinys (naudojant 5-fazinių žingsnių vargą)
6) Sporto sistema
7) Aukštojo plato įrenginys naudoja vargą pakėlimui ir nuleidimui
7) Programinė įranga naudoja naujausią LabVIEW Professional Edition versiją
4. Įkrovimo ir iškrovimo mechaninis kankinys:
1) X Y. Z automatinis judėjimo mechanizmas
2) Dviejų ramsčių robotinė rama (įkrovimo ir iškrovimo ramsčiai)
5. Wafer dėžutės fiksuojantis mechanizmas:
1) AB yra priežiūros filmo dėžutės fiksuotas pozicionavimas
2) CD yra fiksuota pjaurimo filmo dėžės padėtis
3) G yra fiksuota NG pozicijos filmo dėžės padėtis
6. Kamera fiksuota platforma:
7. Du rinkinius Y.Z elektros reguliavimo mechanizmų (valdomi servoelektriniais varomaisiais)
8. Rackas ir elektroninė valdymo konsolė:
1) 1 pramoninis kompiuteris
2) Vienas PLC rinkinys;
3) Vienas elektromagnetinių vamzdelių ir valdymo sistema rinkinys
4) Rinkinys skaitmeninių pneumatinių prietaisų
5) Viename valdymo konsolės rinkinyje
8. Priedai pakeitimui:
1) Traheeinis: 15 metrų
2) 2 elektromagnetiniai vamzdynai
3) Vakuumo pompa: 1 vienetai
9. Techninė informacija:
1) Vienas naudotojo vadovas
2) Vienas atitikimo sertifikatas
10. Papildoma
Įrenginio programinė įranga turi būti apgintas SECS ryšio protokolu, o pirkėjas teikia dinaminę biblioteką su funkcija jungtis su pirkėjo MES sistemos, automatiškai užrašant produkto serijos numerį, darbo numerį ir veiklos būseną bei jas įkeliant. Taip pat ji turi funkciją identifikuoti kabliuko QR kodą, palyginti jį su MES sistemos kabliuko QR kodu ir užkirsti kelią netinkamam kabliukui būti paėmiam.

Pakavimas ir pristatymas