MDICP-5000F visiškai automatinė ICP ėsdinimo mašina / puslaidininkinė įranga Induktyviai sujungta plazma, Kinija MDICP-5000F visiškai automatinė ICP ėsdinimo mašina / puslaidininkinė įranga Induktyviai sujungtos plazmos gamintojai, tiekėjai, gamykla

Prekės aprašymas

MDICP-5000F Visiškai automatinė ICP ėsdinimo mašina

Santrauka

Įranga yra dviejų kamerų vakuuminė sistema. Viena kamera yra įpurškimo mėginių ėmimo kamera, o kita - ėsdinimo kamera. Tarp įpurškimo mėginių ėmimo kameros ir ėsdinimo kameros įrengiamas vakuuminis užraktas, o įpurškiamas mėginys transportuojamas manipuliatoriumi.
Įrangą daugiausia sudaro vakuuminė sistema, dujų grandinės sistema, elektros sistema, valdymo sistema, aušinimo sistema, plėvelės padavimo ir paėmimo mechanizmas, signalizacijos sistema ir kt.

Vakuuminė sistema

Sistemą sudaro molekulinis siurblys, kurio siurbimo greitis yra 600 l / S, + importuotas vakuuminis sausas siurblys, kurio siurbimo greitis yra L / s, kad būtų galima pumpuoti ėsdinimo kamerą į aukštą vakuumą. Tarp molekulinio siurblio ir ėsdinimo kameros sumontuotas elektrinis dinaminio slėgio reguliavimo vožtuvas. Importuotas sausas siurblys yra ėsdinimo kameros pirminis siurblys ir molekulinio siurblio priekinės pakopos siurblys. Norėdami išsiurbti mėginio kamerą, naudokite kitą mechaninį siurblį, kurio siurbimo greitis yra L/s. Mechaninio siurblio ir vakuuminės kameros bei molekulinio siurblio prijungimui naudojamos nerūdijančio plieno silfonai, sumontuotas elektromagnetinis pneumatinis blokinis vožtuvas.

Nuolatinio slėgio valdymo sistema

Įrangoje sumontuota pasroviui esanti pastovaus slėgio reguliavimo sistema, oro ištraukimo vamzdyne sumontuotas elektrinis reguliuojamas vožtuvas. Matuojant plėvelės matuoklį (importuotas dalis), reguliuojamas vožtuvas valdomas taip, kad vakuumo kamera pasiektų pastovų slėgį, kad būtų pagerintas proceso stabilumas.

Nuolatinio slėgio valdymo sistema

Dujų grandinės sistema

Du RF maitinimo šaltiniai su automatiniu suderinimu.

Apsaugos sistema

Įrangos saugos reikalavimai.

detalizavimas

Vardas	Spc	Prekės ženklas	Nr. / Rinkinys	pastabos
ėsdinimo kamera, oro ištraukimo vamzdynas, stebėjimo langas, rezervuota sąsaja ir kt	Standartinis	JSWN	1	Antikorozinis
Rėmas, elektrinė spinta, sandarikliai, standartinės dalys ir kt	Standartinis	JSWN	1
ėsdinimo kameros dangtelio pakėlimo sistema	Standartinis	JSWN	1	Antikorozinis
ėsdinimo elektrodas ir aušinimo sistema	Standartinis	JSWN	1	Antikorozinis
Molekulinis siurblys (siurbimo greitis 600 l/s)	FF620/150	KYKY	1	Antikorozinis
Įleidimo angos sausas siurblys (siurbimo greitis 9 l/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Antikorozinis
Mechaninis siurblys (siurbimo greitis 9 l/s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektrinis reguliavimo vožtuvas	DCQ-150	JSWN	1	Antikorozinis
Pneumatinis silfoninis uždarymo vožtuvas	KF40	JSWN	3	Antikorozinis
Plėvelės matuoklis	KF16	INFICON	1	Antikorozinis
Masės srauto reguliatorius	D07	„Sevenstar“	4	Antikorozinis
Pneumatinis diafragminis vožtuvas	1/4″ vaizdo grotuvas	-	4	Antikorozinis
Nerūdijančio plieno vamzdis, vamzdžių jungtis ir kt	1/4″ vaizdo grotuvas	-	4	Antikorozinis
RF maitinimo šaltinis / automatinis suderintuvas	-	Kinija (pasirenkama CROWN1310)	1
RF maitinimo šaltinis / automatinis suderintuvas	-	Kinija (pasirenkama CROWN1310)	1
Kompozitinis vakuuminis matuoklis	ZDF	RB	1
IPC	2U	Kinija	1
LCD jutiklinis ekranas	17inch	Kinija	1
PLC valdymo sistema	S7-200	siemens	1
Elektrinės pavaros valdymo sistema	Standartinis	JSWN	1
Aušinimo vandens aptikimo ir vamzdynų sistema	Standartinis	JSWN	1
Suslėgto oro aptikimo ir vamzdynų sistema	Standartinis	JSWN	1
Aušinimo cirkuliacinio vandens aparatas	HX	Kinija	1
ėsdinimo įpurškimo kamera	Standartinis	JSWN	1
Vakuuminis užraktas	SMC	SMC	1
Manipuliatoriaus valdymo sistema	SMC	SMC	1

Pašto techninis parametras

1. Ribinis vakuumas: ėsdinimo kamera 9.0×10-5Pa (patalpų drėgnumas≤55%)
Įpurškimo mėginių ėmimo kamera 6.0×10-1Pa
2. ėsdinimo medžiaga: Ⅲ、Ⅴ Medžiaga, Si 、SiO2 ir tt
3. ėsdinimo greitis: ~ 1μ/min
4. Išgraviravimo vienodumas: ≤±5％ (φ125 mm diapazonas)
6. Elektrodo dydis: φ200mm

Pakavimas ir pristatymas

Norint geriau užtikrinti savo prekių saugumą, bus teikiamos profesionalios, ekologiškos, patogios ir efektyvios pakavimo paslaugos.

Kompanijos profilis

Turime 16 metų patirtį įrangos pardavimo srityje. Mes galime suteikti jums profesionalų vieno langelio puslaidininkių priekinės ir galinės pakuotės linijos įrangos sprendimą iš Kinijos.