MDPS-560 Pyriform dvigubos kameros purškimo sistema / puslaidininkių pramonės įranga, Kinija MDPS-560 Pyriform dvigubos kameros purškimo sistema / puslaidininkių pramonės įrangos gamintojai, tiekėjai, gamykla

Prekės aprašymas

MDPS-560 Pyriform dviejų kamerų purškimo sistema

Naudojamas vienkartinėms/daugiasluoksnėms funkcinėms nanoplėvelėms, įskaitant įvairias kietas, metalines, puslaidininkines ir dielektrines plėveles, universitetams ir mokslo įstaigoms ruošti.

Purškimo vakuuminė kamera, magnetrono purškimo taikinys, vandeniu aušinimo substrato kaitinimo patefonas, mėginio įpurškimo kamera, mėginių kamera, atkaitintuvas, atgalinio plovimo taikinys, magnetinio mėginio siuntimo mechanizmas, dujų grandinė, siurbimo sistema, vakuumo matavimo sistema, elektrinė valdymo sistema ir tvirtinimo pagrindas.

MDPS-560 Pyriform dvigubos kameros purškimo sistema / puslaidininkių pramonės įrangos gamyba

detalizavimas

Tipas			MDPS-560 II
Pagrindinė purškimo kamera			Pyriform vakuuminė kamera, dydis: Φ560 × 350 mm
Mėginio įpurškimo kamera			cilindrinis ir horizontalus tipas, dydis: Φ250mm × 420mm
Siurbimo sistema			nepriklausomas molekulinis siurblys ir mechaninis siurblio rinkinys pagrindinei purškimo kamerai ir mėginio įpurškimo kamerai.
Galutinis vakuumas	Pagrindinė purškimo kamera	≤6.67 × 10-6Pa (po kepimo ir degazavimo)
Galutinis vakuumas		Mėginio įpurškimo kamera	≤6.67 × 10-4Pa (po kepimo ir degazavimo)
Atgauti vakuuminį laiką	Pagrindinė purškimo kamera	6.6×10-4Pa po 40 min.(siurbimas po trumpalaikio oro poveikio ir pripildymo sausu azotu)
Atgauti vakuuminį laiką		Mėginio įpurškimo kamera	6.6×10-3Pa po 40 min.(siurbimas po trumpalaikio oro poveikio ir pripildymo sausu azotu)
Magnetrono taikinio modulis			5 nuolatinio magneto taikiniai; dydis Φ60 mm (vienas iš taikinių gali išpurkšti feromagnetinę medžiagą). Visi taikiniai gali dulkėti RF ir DC purškimas suderinamas; ir atstumas tarp taikinio ir mėginio reguliuojamas nuo 40 mm iki 80 mm.
Vandeniu aušinimo substrato šildymo apsisukimų lentelė	Pagrindo struktūra	Šešios stotys, vienoje stotelėje įrengta šildymo krosnis, o kitos yra vandens aušinimo substrato stotis.
		Dydis	Φ30 mm, šešios nuotraukos.
		Judėjimo režimas	0–360°, abipusiai.
		Šildymas	Maks. Temperatūra 600℃±1℃
		Neigiamas substrato poslinkis	-200V
Dujų grandinės sistema			Dviejų krypčių masės srauto valdiklis (MFC)
Mėginio įpurškimo kamera	Mėginių kamera	Šeši paprasti dalykai vieną kartą
		Atkaitintuvas	Maks. šildymo temperatūra 800℃±1℃
		Resputtering Target modulis	Garsus valymas
Magnetinių mėginių siuntimo sistema			Naudojamas mėginių transportavimui tarp purškimo kameros ir mėginio įpurškimo kameros.
Kompiuterio valdymo sistema			Mėginio pasukimas, pertvaros atidarymas ir uždarymas bei tikslinės padėties valdymas
Aukštas užimtas	Pagrindinis rinkinys	2600 × 900mm2
Aukštas užimtas		Elektros kabinetas	700 × 700 mm2 (du rinkiniai)

Pakavimas ir pristatymas

MDPS-560 Pyriform dvigubos kameros purškimo sistema / puslaidininkių pramonės įrangos gamykla

Kompanijos profilis

Turime 16 metų patirtį įrangos pardavimo srityje. Mes galime suteikti jums profesionalų vieno langelio puslaidininkių priekinės ir galinės pakuotės linijos įrangos sprendimą iš Kinijos.