Tipas |
MDPS-560 II |
||
Pagrindinis Sputterinimo Kambaris |
piriformus vakuumo kambaris, dydis: Φ560×350mm |
||
Imties Injekcinis Kambaris |
cylindrinis ir horizontalusis tipas, dydis: Φ250mm×420mm |
||
Pompožmo Sistema |
atskiras sudėtingas molekulinis pompos ir mechaninės pompos rinkinys pagrindiniam sputterinimo kambariui ir imties injekciniam kambariui. |
||
Galutinis Vakuumas |
Pagrindinis Sputterinimo Kambaris |
≤6,67×10-6Pa (po kepimo ir degaso) |
|
Imties Injekcinis Kambaris |
≤6,67×10-4Pa (po šiluminimo ir degasavimo) |
||
Vakuumo atkurimo laikas |
Pagrindinis Sputterinimo Kambaris |
6,6×10-4Pa po 40 min. (pumpavimas po trumpalaikio kontakto su oru ir užpildyta driausiu azotu) |
|
Imties Injekcinis Kambaris |
6,6×10-3Pa po 40 min. (pumpavimas po trumpalaikio kontakto su oru ir užpildyta driausiu azotu) |
||
Magnetrono tikslies modulis |
5 visam laikui veikiančių magnetinių tikslės; dydis Φ60mm (viena iš tikslės gali skystinti feromagnetinius medžiagas). Visos tikslės gali būti RF skystinamos ir DC skystinimo suderinamai; bei tarp tikslės ir imties atstumas galima reguliuoti nuo 40mm iki 80mm. |
||
Vandens šaldo plokštės šildymo sukeitimo stalo |
Plokštės struktūra |
Šešios stotys, vienoje stote yra įmontuotas šildymo krosnis, o kitos yra vandens šaldymo plokštės stotys. |
|
Dydis |
Φ30mm, šešios nuotraukos. |
||
Judėjimo režimas |
0-360°, einamas atgal ir pirmyn. |
||
Šildymas |
Maks. temperatūra 600℃±1℃ |
||
Substrato neigiamas potencialas |
-200V |
||
Dujų grandinės sistema |
2-kryptis Masės Srauto Valdiklis (MFC) |
||
Imties Injekcinis Kambaris |
Pavyzdžių kambaris |
Šeši pavyzdžiai vienu metu |
|
Atšilinimo aparatas |
Maks. šildymo temperatūra 800℃±1℃ |
||
Peršviečių tikslas modulis |
Peršviečių valymas |
||
Magneto pavyzdžių perdavimo sistema |
Naudojama pavyzdžių transportavimui tarp peršviečių kameros ir pavyzdžių įvedimo kameros. |
||
Kompiuterinis valdymo sistema |
Pavyzdžio sukimas, dengiklio atidarymas ir uždarymas, bei tikslų pozicijos valdymas |
||
Plotas uzimtas |
Pagrindinė rinkinys |
2600×900 mm2 |
|
Elektrinis skryniai |
700×700 mm2 (du rinkiniai) |
||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
