Šis įrenginys yra tikslus litografijos aparatas, kurią sukūrė mūsų įmonė specialiai atsižvelgiant į litografijos mašinų naudojimo savybes įvairiose kolose ir tyrimo institucijose. Jis pagrindiniu būdu naudojamas mažų ir vidutinių integruotų grandynų, semikonductorinių komponentų, optoelektroninių priemonių bei paviršinio akustinio bangos prietaisų kūrimui ir gamybai. Įsigydžiant palaikyti įrenginio pradinį techninių rodiklių lygmenį, mes optimizavome kai kurias struktūras ir komponentus, sumažėjimus niekančius mechaninius veiksmus, užtikrindami, kad įrenginio nesėkmių taškai būtų mažyčiausios galimos, o įrenginio veikimas yra labai stabilus ir patikimas.
Specifikacija
Pagrindiniai techniniai parametrai
1. Išspaudimo tipas: viena pusė. 2. Išspaudimo plotis: 110×110mm. 3. Nerodumo išspaudymo šviesos: ≤±3%. 4. Išspaudimo intensyvumas: 0-30mw/cm2 reguliuojamas. 5. UV spindulio kampas: ≤3°. 6. Ultravioletinio spinduliavimo centrinis bangos ilgis: 365nm. 7. UV šviesos šaltinio gyvybės trukmė: ≥500 valandų. 8. Elektroninio šluoterio naudojimas. 9. Išspaudimo skiriamasis galutinis: 1 μm; 10.Mikroskopinis skenavimo diapazonas: X: ±15mm Y: ±15mm; 11.Sulyginimo diapazonas: X, Y reguliavimas ±4mm; Q-krypties reguliavimas ±3°; 12.Gravūros tikslumas: 1 μ Tikslumas naudotojo „versija“ ir „čipas“ turi atitikti nacionalinius regulius, o aplinka, temperatūra, drėgmė ir durtis gali būti griežtai kontroliuojamos. Naudojamas importuotas teigiama fotoresistencija, o tolydžio fotoresistencijos storis gali būti griežtai kontroliuojamas. Be to, pirmyn ir atgal procesai yra modernūs; 13.Atskyrimo kiekis; 0~50 μm reguliuojamas; 14.Išgaubimo būdas: artimasis išgaubimas, kuris gali pasiekti tvirtą kontaktą, minkštą kontaktą ir mikro jėgos kontaktą; 15.Kvadrato radimo formulė: oro
Pakavimas ir pristatymas
Įmonės Profilis
Mes turime 16 metų patirties įrangos pardavimuose. Galime suteikti jums vieną iš pirmųjų ir galinių paketų eilės įrangos profesionalų sprendimą iš Kinijos.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
