1. Eksponavimo tipas: vieno pusės eksponavimas
2. Atskleidimo sritis: 110X110mm;
3. Atskleidimo tolydumas: ≥ 97%;
4. Atskleidimo stipris: 0-30mw/cm2 reguliuojamas;
5. UV spindulio kampas: ≤ 3 °
6. Ultravioletinio spindulio centrinis bangos ilgis: 365nm;
7. UV šviesos šaltinio gyventojus: ≥ 20000 valandų; (2 metų garantija)
8. Elektroninio slenktyje naudojimas;
9. Eksponavimo skiriamasis gebėjimas: 1 μM
10. Kamerų rodymo diapazonas: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Lygiavimo diapazonas: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Lygiavimo tikslumas: 1um (po gerų aplinkos sąlygų).
13. Atskyrimo atstumo diapazonas: 0-50um reguliuojamas.
14. Išspindinimo būdas: kontaktinis išspindinimas (kietas/minkštas/mikro styga).
15. Balansavimo būdas: Oro plaukimas.
16. Mikroskopinė sistema: dviejų vaizdų CCD sistema, objektyvo lęšis 1.6X~10X, kompiuterinė vaizdo apdorojimo sistema, 19 "LCD monitorius; Bendras didinimas 91-570x. Objektyvo atstumas: 50-120mm.
17. Maskos dydis: 127*127mm; 102*102mm
18. Plokštės dydis: Φ102mm; Φ76mm
19. Plokštės storis: ≤1mm
20. Išspindinimo laikas: 0-999,9 sekundžių reguliuojamas.
jėga: 220V 50Hz 1,5kw.
gausumas? 0,4Mpa
23.Vakuolo laipsnis: -0,07MPa~-0,09Mpa