1. Įrenginys gali sukimdamasis sugriuvti 5 "x 5" kvadratinių maskų, o dėstyto plokštumos storio (nuo 1 iki 3 mm) nereikia jokių specialių reikalavimų.
2. Įrenginys gali būti pritaikytas ф 100mm apvalioms plokščioms;
3. Plokštumos storis ≤ 5mm;
4. Apšvietimas:
Šviesos šaltinis: naudojamas GCQ350Z super aukštos slėgio raudonojo plieno tiesioginis raudonojo plieno lampas.
Apšvietimo diapazonas: ≤ ф 117mm Apžvalgos plotis: ф 100mm
liekdamas ф Viduje 100mm diapazone, apžvalgos nelygybė yra ≤ ± 3%, o apžvalgos stipris> 6mw/cm2 (šis rodiklis matuojamas naudojant UV šviesos šaltinį I-linija 365nm).
5. Šis įrenginys naudoja importuotą laiko relė, kad valdytų pneumatinius uždarymus, užtikrinant tikslų ir patikimą veikimą.
6. Šis aparatas yra kontaktinis apžvalginimo aparatas, kuris gali pasiekti:
7. Tvirtas kontaktinis apžvalginimas: naudojant vamzdyno vakuumą, galima gauti aukšto lygio vakuumo kontaktą, vakuumas ≤ -0,05MPa
8. Lieliai kontaktinis pažymėjimas: Kontaktinį slėgį galima padidinti iki tarp -0,02MPa ir -0,05MPa.
9. Mikrokontaktinis pažymėjimas: mažesnis nei lielis kontaktas, vakuumas ≥ -0,02MPa.
10. Pažymėjimo skiriamoji geba: Šio įrenginio tvirtųjų kontaktinių pažymėjimų skiriamoji geba gali pasiekti 1 μm ar daugiau (naudotojo „lentos“ ir „chipo“ tikslumas turi atitikti nacionalines normas, o aplinka, temperatūra, drėgmė ir drabužiai gali būti griežtai kontroliuojami. Naudojamas importuotas teigiama fotoresistencija, o tolydus fotoresistencijos sluoksnio storis gali būti griežtai kontroliuojamas. Be to, ankstyviausi ir vėlesni procesai yra patys modernieji).
11. Suderinimas: Stebėjimo sistema sudaryta iš dviejų CCD kameročių, montuotų ant dviejų vienvamzdžių mikroskopų ir jungiamų su rodymo ekranu per vaizdo kabelį.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
