1. Prietaisas gali vakuuminiu būdu adsorbuoti 5 "X5" kvadratinę kaukę, nereikalaujant specialių reikalavimų plokštės storiui (svyruoja nuo 1 iki 3 mm).
2. Prietaisas gali būti dedamas ant ф 100 mm apskrito pagrindo;
3. Pagrindo storis ≤ 5mm;
4. Apšvietimas:
Šviesos šaltinis: GCQ350Z naudojama itin aukšto slėgio gyvsidabrio nuolatinės srovės gyvsidabrio lempa.
Apšvietimo diapazonas: ≤ ф 117 mm Ekspozicijos sritis: ф 100 mm
palaikymas ф 100 mm diapazone ekspozicijos netolygumas yra ≤ ± 3%, o ekspozicijos intensyvumas > 6mw/cm2 (šis indikatorius matuojamas naudojant UV šviesos šaltinį I-line 365nm).
5. Šis prietaisas naudoja importuotą laiko relę, kad valdytų pneumatinę sklendę, užtikrinant tikslų ir patikimą veikimą.
6. Ši mašina yra kontaktinio poveikio mašina, kuri gali pasiekti:
7. Stipraus kontakto poveikis: naudokite vamzdyno vakuumą, kad pasiektumėte didelio vakuumo kontaktą, vakuumas ≤ -0.05 MPa
8. Minkšto kontakto poveikis: kontaktinis slėgis gali padidinti vakuumą iki -0.02 MPa ir -0.05 MPa.
9. Mikrokontaktinis poveikis: mažesnis nei minkštas kontaktas, vakuumas ≥ -0.02MPa.
10. Ekspozicijos skiriamoji geba: šio įrenginio kieto kontakto poveikio skiriamoji geba gali siekti 1 μ virš m (naudotojo "plokštelės" ir "lusto" tikslumas turi atitikti nacionalinius teisės aktus, o aplinka, temperatūra, drėgmė ir dulkės Naudojamas importuotas teigiamas fotorezistas, o vienodo fotorezisto storis taip pat gali būti griežtai kontroliuojamas.
11. Išlygiavimas: stebėjimo sistemą sudaro dvi CCD kameros, sumontuotos ant dviejų vieno vamzdžio mikroskopų ir vaizdo kabeliu prijungtos prie ekrano.