1. Reikalaujama energija: Pagrindinio bloko energijos šaltinis: 220V, 50HZ, energijos suvartojimas ≤1,5KW;
2. Pagaminta su vakuumo pompa, kurios energijos šaltinis yra 220V;
3. Dydis ir svoris: Dydis: 1200 (ilgis) × 720 (plotis) × 1500 (aukštis). Svoris ≤170kg;
4. Aparato korpusą reikia nustatyti specialioje darbo stalėje;
5. Išgaubimo tipas: kontaktinis, lentinės suderinimas, dvipusis išgaubimas;
6. Išgaubimo plotis: φ100mm;
7. Nelygus išgaubimas: ≤±3%;
8. Išgaubimo intensyvumas: ≥5mw/cm2;
9. Skleidimo skiriamasis gebėjimas: 2μm;
10. Skleidimo režimas: Dviejų pusių vienlaikis skleidimas;
11. Lygiavimo diapazonas: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Gravūros tikslumas: 2μm;
13. Sukimo diapazonas: Q-krypties sukimo reguliavimas ≤±5°;
14. Mikroskopinė sistema: dviejų vaizdų CCD sistema, objektyvio lęšis 1.6X~10X, kompiuterinė vaizdo apdorojimo sistema, 19"LCD ekranas;
15. Maskos dydis: Galima vakuume sugriauti