1.Įrangai reikalinga energija: Pagrindinio kompiuterio maitinimas: 220V, 50HZ, energijos sąnaudos≤1.5KW;
2.Įrengtas vakuuminis siurblys su 220V maitinimo šaltiniu;
3. Dydis ir svoris: Dydis: 1200 (ilgis) × 720 (plotis) × 1500 (aukštis). Svoris ≤170kg;
4.Padėkite mašinos korpusą ant tam skirto darbastalio;
5. Ekspozicijos tipas: kontakto tipas, plokščių išlygiavimas, dvipusis eksponavimas;
6. Ekspozicijos sritis: φ100 mm;
7.Netolygus poveikis: ≤±3%;
8. Poveikio intensyvumas: ≥5mw/cm2;
9.Ekspozicijos skiriamoji geba: 2μm;
10. Ekspozicijos režimas: dvipusis vienalaikis eksponavimas;
11.Išlygiavimo diapazonas: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Graviravimo tikslumas: 2μm;
13.Sukimosi diapazonas: Q krypties sukimosi reguliavimas≤±5°;
14.Mikroskopinė sistema: dvigubo matymo lauko CCD sistema, objektyvas 1.6X ~ 10X, kompiuterinė vaizdo apdorojimo sistema, 19" LCD monitorius;
15.Kaukės dydis: gali adsorbuoti vakuume