MDXN-31D4 didelio tikslumo dvipusės litografijos mašina, Kinija MDXN-31D4 didelio tikslumo dvipusės litografijos mašinų gamintojai, tiekėjai, gamykla

Prekės aprašymas

Ši įranga daugiausia naudojama mažų ir vidutinių integrinių grandynų, puslaidininkinių komponentų ir paviršinių akustinių bangų įtaisų kūrimui ir gamybai. Dėl pažangaus niveliavimo mechanizmo ir mažos niveliavimo jėgos, ši mašina tinka ne tik įvairių tipų substratams, bet ir lengvai suskaidomiems pagrindams, tokiems kaip kalio arsenidas ir fosfatinis plienas, eksponuoti, taip pat ne apskriti ir maži substratai.

MDXN-31D4 didelio tikslumo dvipusės litografijos mašinos detalės

detalizavimas

Pagrindiniai techniniai parametrai

1. Ekspozicijos tipas: kontakto tipas, plokščių išlygiavimas, dvipusis vienpusis eksponavimas
2. Ekspozicijos plotas: 110X110mm;
3. Ekspozicijos vienodumas: ≥ 97 %;
4. Ekspozicijos intensyvumas: 0-30mw/cm2 reguliuojamas;
5. UV spindulio kampas: ≤ 3 °
6. Centrinis ultravioletinių spindulių bangos ilgis: 365 nm;
7. UV šviesos šaltinio tarnavimo laikas: ≥ 20000 valandų;;
8. Darbinio paviršiaus temperatūra: ≤ 30 ℃
9. Elektroninio užrakto priėmimas;
10. Ekspozicijos skiriamoji geba: 1 μM (ekspozicijos gylis yra maždaug 10 kartų didesnis už linijos plotį)
11. Ekspozicijos režimas: dvipusis vienalaikis eksponavimas
12. Išlygiavimo diapazonas: x: ± 5 mm Y: ± 5 mm
13. Plokštelių išlyginimo tikslumas: 2 μm
14. Sukimosi diapazonas: Q krypties sukimosi reguliavimas ≤ ± 5 °
15. Mikroskopinė sistema: dvigubo matymo lauko CCD sistema, objektyvas 1.6X ~ 10X, kompiuterinė vaizdo apdorojimo sistema, 19 "LCD monitorius; bendras padidinimas 91-570x
16. Kaukės dydis: gali vakuuminiu būdu sugerti 5 colių kvadratines kaukes, be jokių specialių reikalavimų kaukės storiui (nuo 1 iki 3 mm).
17. Pagrindo dydis: tinka 4 colių substratams, kurių pagrindo storis svyruoja nuo 0.1 iki 2 mm.
18. Užsakant, nėra jokių specialių reikalavimų, o 5 "X5 lentyna yra standartinė; galite pritaikyti lentynas, mažesnes nei 5" X5:

Pakavimas ir pristatymas

MDXN-31D4 didelio tikslumo dvipusės litografijos mašinų gamyba

MDXN-31D4 didelio tikslumo dvipusės litografijos mašinų gamykla

Kompanijos profilis

Turime 16 metų patirtį įrangos pardavimo srityje. Mes galime suteikti jums profesionalų vieno langelio puslaidininkių priekinės ir galinės pakuotės linijos įrangos sprendimą iš Kinijos.