Šis įranga pagrindiniu būdu naudojama mažų ir vidutinių integruotųjų grandynų, poluprovodnikų elementų bei paviršinio akustinio bangos prietaisų kūrimui ir gamybai. Dėl patogaus lygiavimo mechanizmo ir žemos lygiavimo jėgos, šis aparatas tinka ne tik skirtingų tipų plokščių atskleidimui, bet ir lengvai sutriekiamoms plokščių, pvz., arsenido potasio ir fosfato plieno, bei nereguliarių formų ir mažų plokščių atskleidimui.
Specifikacija
Pagrindiniai techniniai parametrai
1. Atskleidimo tipas: kontaktinis, plokštės suderinimas, dviejų pusių vienkartis atskleidimas 2. Atskleidimo sritis: 110X110mm; 3. Atskleidimo tolydumas: ≥ 97%; 4. Atskleidimo stipris: 0-30mw/cm2 reguliuojamas; 5. UV spindulio kampas: ≤ 3 ° 6. Ultravioletinio spindulio centrinis bangos ilgis: 365nm; 7. UV šviesos šaltinio gyvybė: ≥ 20000 valandų; 8. Darbo paviršiaus temperatūra: ≤ 30 ℃ 9. Elektroninio slenkiklio naudojimas; 10. Eksponavimo skiriamoji geba: 1 μ M (eksponavimo gylis yra apie 10 kartų linijos plotis). 11. Eksponavimo režimas: dviejų pusių vienaciuo eksponavimas. 12. Lygiavimo diapazonas: x: ± 5mm Y: ± 5mm. 13. Plokštės lygiavimo tikslumas: 2 μ m. 14. Sukimo diapazonas: Q-krypties sukimo reguliavimas ≤ ± 5 °. 15. Mikroskopinė sistema: dviejų matomojo lauko CCD sistema, objektyvas 1,6X~10X, kompiuterinė vaizdų apdorojimo sistema, 19 "LCD monitorius; Bendras didinimas 91-570x. 16. Maskės dydis: Galima vakuumu sugriauti 5 "kvadratinius maskėlius, be specialių reikalavimų dėl maskės storio (nuo 1 iki 3 mm). 17. Pagrindo dydis: Tinkamas 4 "pagrindams, su pagrindo storiu nuo 0,1 iki 2 mm. 18. Užsakant, nėra specialių reikalavimų, o 5" X5 lizdas yra standartinis; galite individualiai pritaikyti lizdus žemesnius nei 5" X5:
Pakavimas ir pristatymas
Įmonės Profilis
Mes turime 16 metų patirties įrangos pardavimuose. Galime suteikti jums vieną iš pirmųjų ir galinių paketų eilės įrangos profesionalų sprendimą iš Kinijos.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
