Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

pagrindinio puslapio
Apie mus
MH Equipment
Sprendimas
Užsienio naudotojai
vaizdo įrašas
Susisiekite Su mumis
Pradžia> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • PECVD Plazminis stiprinamas cheminio garų kondensavimo įrenginys / Aukštos temperatūros PECVD procesas
  • PECVD Plazminis stiprinamas cheminio garų kondensavimo įrenginys / Aukštos temperatūros PECVD procesas
  • PECVD Plazminis stiprinamas cheminio garų kondensavimo įrenginys / Aukštos temperatūros PECVD procesas
  • PECVD Plazminis stiprinamas cheminio garų kondensavimo įrenginys / Aukštos temperatūros PECVD procesas
  • PECVD Plazminis stiprinamas cheminio garų kondensavimo įrenginys / Aukštos temperatūros PECVD procesas
  • PECVD Plazminis stiprinamas cheminio garų kondensavimo įrenginys / Aukštos temperatūros PECVD procesas

PECVD Plazminis stiprinamas cheminio garų kondensavimo įrenginys / Aukštos temperatūros PECVD procesas

Produkto aprašymas

PECVD Plazmos stiprinama cheminė garų depozicija įranga

◆ Visiškai automatinis proceso laiko, temperatūros, dujų srauto, vamzdyno veiksmo ir reakcinės kameros slėgio valdymas yra realizuojamas
industriniu kompiuteriu.
◆ Yra naudojamas importuotas slėgio valdymo sistemą ir uždaros jungties sistemą, kurios turi aukštą stabilumą.
◆ Naudojami importuoti korozijos atsparūs nerūdintojo sidabro rinktiniai ir vamzdynai, kad būtų užtikrintas dujų grandinės hermetiškumas.
◆ Turi geresnę signalizavimo funkciją ir saugumo ryšio įrenginį.
◆ Turi per didelio arba per mažo temperatūros signalizavimą, MFC signalizavimą, reakcijos kambario slėgio signalizavimą, RF signalizavimą, mažo glaudžio oro slėgio signalizavimą, mažo N2 slėgio signalizavimą ir mažo šalinamojo vandens srauto signalizavimą.
◆ Esamas PECVD po priešinimo turi SiO2 plieno augimo funkciją, kuri išspręsdama baterijos modulio PID problemą. Galima augti SiNxOy plienui (galinė paslaptinė procedūra), kas gali labai padidinti baterijos konversijos efektyvumą.
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

Tipas

◆ Krovinių kiekis: 384 vienetų/laižis (125 * 125); 336 vienetų/laižis (156 * 156)
◆ Valymo stalo švarumas: 100 lygis (10000 fabrika)
◆ Automatinio laipsnio: temperatūros ir proceso automatinis valdymas.
◆ Įrenginio siuntimo ir priėmimo režimas: minkštas nuoėjimo tipas, su stabiliais ir patikimais charakteristikais, be kričiavimo, tikslus pozicionavimas, didelis krūvio gebėjimas ir ilgas naudojimo laikas.
Specifikacija
Didžiausias krūvis per tubą
384 vienetų/laiptuvas (125*125)
336 vienetų/laiptuvas (156*156)
Proceso indeksas
± 3% tabletyje, ± 3% tarp tabletų, ± 3% tarp partijų
Darbo temperatūra
200~500℃
Temperatūros zonos tikslumas ir ilgis (statinis uždaras tubo bandymas)
1200mm±1℃
Dujų srauto tikslumas
±1%FS
Geriausia oro sistemos hermetiškumas
1×10-7Pa.m³/S
Valdymas
Visiškai importuota automatinė slėgio uždarosios jungties reguliavimo sistema, tikslus reakcijos vakuumo valdymas; 40KHz aukštojo dažnio jėga
tiekti; Kraujos lankstus pristatymas; Pilnai skaitmeninė kontrolė, tinkama ir saugi procesų kontrolės apsauga.
1 trubą, 2 trubos, 3 trubos ir 4 trubos yra pasirinkimai; Automatinis krūvio manipuliatorius yra pasirenkamas, o įrenginio veiksmas
ir proceso veiksmas gali būti palyginamas su pasaulio geriausių panašiųjų įrenginių.
Pakavimas ir pristatymas
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process manufacture
Siekiant geriau užtikrinti jūsų prekių saugumą, bus teikiamos profesionalios, ekologiškos, patogios ir efektyvios pakavimo paslaugos.
Įmonės Profilis
Mes turime 16 metų patirties įrangos pardavimuose. Galime suteikti jums vieną iš pirmųjų ir galinių paketų eilės įrangos profesionalų sprendimą iš Kinijos.

Užklausa

Užklausa Email WhatsApp Top
×

Susisiekite su mumis