Prekė |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Produkcijos dydis |
≤6 colpių |
≤8 colpių |
≤8 colpių |
||
RF jėgos šaltinis |
0-300W/500W/1000W Reguliuojamas, automatinis derinys |
||||
Molekulinis pompa |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
Antiseptinis620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
|||
Priešpompa |
Mechaninė pompa\/sausioji pompa |
Sausas siurblys |
|||
Procesų slėgis |
Nekontroliuojamas slėgis\/0-1Torr kontroliuojamas slėgis |
||||
Dužių tipas |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Iki 9 kanalų, be korozijos ir toksinių dujų) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Iki 9 kanalų) |
|||
dujinė viryklė |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/pasirinkimas |
||||
Įkrovimo uždarymas |
Taip/Nieko |
taip |
|||
Pavyzdžio temperatūros valdymas |
10°C~Gamto temperatūra/-30°C~100°C/Pasirinkimas |
-30°C~100°C /Pasirinkimas |
|||
Atgalinis heliumo šaldymas |
Taip/Nieko |
taip |
|||
Procesų kavos apvokimas |
Taip/Nieko |
taip |
|||
Kavos sienos temperatūros valdymas |
Nieko/Gamto temperatūra~60/120°C |
Temperatūra kambario -60/120°C |
|||
Valdymo sistema |
Automatinis/pasirinkimas |
||||
Šlifavimo medžiaga |
Silikono pagrindinė: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Magnetiškos medžiagos/aljaus medžiagos Metalinė medžiaga: Ni/Cr/Al/Au..... Organinė medžiaga: PR/PMMA/HDMS/Organinė plasta...... |
Silikono pagrindinė: Si/SiO2/SiNx...... III-V( pastaba 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (pastaba 3): CdTe...... Magnetiškos medžiagos/aljaus medžiagos Metalinis medžiaga: Ni/Cr/Al/Au...... Organinė medžiaga: PR/PMMA/HDMS/organinis filmas... |
|||
Jis taikomas sudėtingų etching medžiagų, pvz., kai kurių metalų (pvz., Ni / Cr) ir keramikos, etching medžiagų struktūrinis etchingas yra realizuojamas fiziniu bombardavimu. |
Jis naudojamas šlifavimui ir organinių junginių, tokių kaip fotorezistuotas (PR) / PMMA / HDMS / polimeras, pašalinimui |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
