Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

pagrindinio puslapio
Apie mus
MH Equipment
Sprendimas
Užsienio naudotojai
vaizdo įrašas
Susisiekite Su mumis
Pradžia> PR pašalinimas RTP USC
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS
  • Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS

Pusiautomaticas RTP Greitas terminis apdorojimas dalelių semikonstruktoriams SlC LED MEMS

Produkto aprašymas

Greitasis Terminis Apdorojimas

Teikia patikimą RTP įrangą junginiams poliklasėms, SlC, LED ir MEMS
Ypatybė
* Infraraudonasis halogeno lampa riešutų kausimas, šaldymas naudojant oro šaldymą;
* PlD temperatūros valdymas lampa galia, kuris gali tiksliai kontroliuoti temperatūros kilimą, užtikrinant gera atkartojamumą ir temperatūros tolygumą;
* Medžiagos įvadas yra nustatytas WAFER paviršiuje, kad išvengti šaldo taškų formavimo per termitinio apdirbimo procesą ir užtikrinti gera produkto temperatūros tolygumą;
* Galima pasirinkti tiek atmosferos, tiek vakuumo apdirbimo būdus, su korpuso priešapdirbimu ir purifikacija;
* Du procesinių dujų rinkiniai yra standartiniai ir gali būti išplėsti iki 6 procesinių dujų rinkinių;
* Matuojamojo vieneto krisnių silicio maksimalus dydis yra 12 coliai (300x300MM);
* Trijų saugumo priemonių - saugi temperatūros atidarymo apsauga, temperatūros reguliatoriaus atidarymo leidimas apsaugai ir įrenginio nutrukimo saugumo apsauga - pilnai įgyvendintos, kad būtų užtikrinta prietaiso saugumas;
TESTAVIMO ATASKAITA
20 laipsnių kreivių sutapimas
20 temperatūros valdymo kreivių 850 ℃
20 vidutinių temperatūros kreivių sutapimas
1250 ℃ temperatūros valdymas
Temperatūros valdymas RTP procese iki 1000 ℃
960 ℃ procesas, kontroliuojamas infražalias pyrometru
LED proceso duomenys
RTD Plėtukas yra temperatūros jutiklis, naudojantis specialiomis technologijomis, kad įterptų temperatūros jutiklius (RTDs) į tam tikras plėtuko paviršiaus vietas, leidžiant išmatuoti plėtuko paviršiaus temperatūrą realiu laiku.

Iš RTD Plėtuko galima gauti tikras temperatūros matavimus tam tikrose plėtuko vietose ir bendrą plėtuko temperatūros skirstinį; Jis taip pat gali būti naudojamas nepakinčiamam šilumos apdorojimo proceso metu vykstančių plėtukų temperatūros pokyčių stebėjimui.
Specifikacija
Pakavimas ir pristatymas
Įmonės Profilis
Mes turime 16 metų patirties įrangos parduotyje. Galime jums pateikti vieną iš pirmojo antrojo paketinio eilės įrangos sprendimą iš Kinijos!

Užklausa

Užklausa Email WhatsApp Top
×

Susisiekite su mumis