Puslaidininkinės pramonės įrangos MDLB-MC200 Photomask valiklis

Ne.

PROJEKTAS

Specifikacija

Pastabos

1

Įrangos apžvalga

Įrenginio pavadinimas: Photomask Cleaner

Įrangos modelis: MDLB-MC200

Bendri matmenys (apytiksliai): 1300 mm (W) * 1000 mm (G) * 1950 mm (A)

Visos mašinos svoris (apytiksliai): 300KG

Operacinio stalo aukštis: 900 ± 50mm

Pagrindo dydžio specifikacijos: tinka 2/4/5/6/8 colių kvadratinėms kaukių plokštėms

Proceso eiga: rankinis plokštelių dėjimas → valymas (šepetys, valymo tirpalas → aukšto slėgio vanduo → megasoninis vanduo → dejonizuotas vanduo → džiovinimas azoto dujomis) → rankinis plokštelių pašalinimas

Įrangos tipas: pusiau automatinė, rankinis pakrovimas ir iškrovimas

2

Įrangos statyba

Korpusas: nerūdijantis plienas, lygus, atsparus korozijai, lengvai valomas

Valymo kamera: PP, lygi, atspari korozijai, lengvai valoma

Vamzdynas: naudojamas PU/PFA atitinkantis vamzdynas

Darbinis apšvietimas: antikorozinis geltonos spalvos apšvietimas

Durų atidarymo stilius: Dvigubos durys su durų atidarymo signalizacijos funkcija

Jutiklinis ekranas: 10 colių spalvotas jutiklinis ekranas * 1

FFU: 100 klasė

Nesandari dugno atrama: yra

3

Didelio tikslumo servo variklis

Kiekis: 1

Greitis: -3000 ~ 3000 aps./min

Tuščias krovinys

Maksimalus veleno sukimosi pagreitis: 3000rpm/S

Tuščias krovinys

Greičio tikslumas: ± 1 aps./min (50 aps./min. ~ 3000 aps./min.)

Greičio skiriamoji geba: 1 aps./min

4

Automatinė pasukama rankena

Kiekis: 3

Sukimosi svirties greitis: 1 ~ 30 °/S

5

valymo įrenginys

Valymo svirtis: 1 kanalas dejonizuoto vandens, 1 kanalas azoto dujų

Megasonic rankena: 1 Megasonic, 1 aukšto slėgio vandens

Šepetėlio rankena: 1 šepetys, 1 vanduo, 1 valymo tirpalas

Valymo būdas: automatinis valymas

Dejonizuoto vandens siurbimo funkcija: galima

Atbulinis plovimas (dejonizuotas vanduo): 1 būdas

Tiekimo būdas: Valymo tirpalas: Diafragminis siurblys

Dejonizuotas vanduo: tiekiamas tiesiogiai gamyklos

Slėgio bakas su skysčio lygio aptikimu

6

Šepetys šepetys

Kiekis: 1 (su savaiminio išsivalymo funkcija)

Greitis: iki 1000 aps./min., reguliuojamas greitis

Rankiniu būdu reguliuojamas aukštis

7

Įdėkite dėklą

Kiekis: 5

Medžiaga: PPS + nerūdijantis plienas

Dydis: tinka 2/4/5/6/8 colių kvadratinėms kaukių plokštėms

Pagrindo tvirtinimo būdas: tvirtinimo letenėlėmis būdas

8

Valdymo sistema

Valdymo sistema: naudojant PLC valdymą

Programa: 100 grupių, kiekviena grupė susideda iš 100 žingsnių, kurių maksimalus vieno žingsnio laikas yra 3000.0 sekundžių

Rezoliucija: 0.1S

Programą galima išsaugoti, iškviesti, keisti ir ištrinti

Nustatykite šifravimo leidimus: atitinkamai įrenginių operatoriams, technikai, administratoriams ir gamintojams

Signalų bokšto tipas: raudona, geltona, žalia 3 spalvos