Semiconductor pramonės įrenginiai MDLB-MC200 Fotomasko valymo aparatas

Ne, aš ne.

PROJEKTAS

Specializacijos

Pastabos

1

Įrangos apžvalga

Įrenginio pavadinimas: Fotoplokštelių valymo aparatas

Įrangos modelis: MDLB-MC200

Bendrosios matmenys (apie): 1300mm (P) * 1000mm (G) * 1950mm (A)

Viso mašinos svoris (apie): 300KG

Operacinės stalo aukštis: 900 ± 50mm

Plokštės dydžio normos: tinka 2/4/5/6/8 colio kvadratinei maskos plokštėi

Technologinis procesas: rankinis talpavimas → valymas (kirtis, valymo skysčiai → aukštos slėgio vanduo → megasoninis vanduo → deionizuotas vanduo → azoto dujų sušaravimas) → rankinis talpa paėmimas

Įrenginio tipas: pusiautomaticas, rankinis įkrovimas ir iškrovimas

2

Įrenginio konstrukcija

Korpuss: nerūdantisis sideris, gledus, korozijos atsparus, lengvas valymas

Valymo kambaris: PP, gledus, korozijos atsparus, lengvas valymas

Potvynis: naudojamas PU/PFA potvynis

Darbo šviesa: korozijos atsparus geltonasis šviesos apšvietimas

Durų atidarymo būdas: dviračių durys su durų atidarymo signalizavimo funkcija

Nukopėjimo ekranas: 10 colio spalvotas nukopėjimo ekranas * 1

FFU: klasė 100

Neišsiliejančias pagrindinė pala: yra

3

Aukštos tikslumo servo variklis

Kiekis: 1

Greitis: -3000~3000ob/min

Tuščias apkrovimas

Didžiausias varno sukimo pagreitis: 3000ob/min/S

Tuščias apkrovimas

Greičio tikslumas: ± 1ob/min (50ob/min~3000ob/min)

Greičio sprendiamumas: 1ob/min

4

Automatinis sviedinio rinkties mechanizmas

Kiekis: 3

Sviedinio rinkties greitis: 1~30 °/S

5

Valymo vienetas

Valymo kampinė: 1 kanalas diatonizuoto vandens, 1 kanalas džiomo dujų

Megasoninisis kampinė: 1 megasoninis, 1 aukštos spaudos vanduo

Pilkimo kampinė: 1 piltukas, 1 vanduo, 1 valymo tirpalai

Valymo metodas: automatinis valymas

Diatonizuoto vandens įsiūkimas: galimas

Atvirkštinis plaukimas (diatoniziuotuoju vandenu): 1 maršrutas

Tiekimo būdas: Valymo tirpalai: Membranos pompa

Diatonizuotas vanduo: tiesiogiai tiekiamas gamyklą

Slėgio ruoštuvas su skysčio lygio aptikimu

6

Pilkimo piltukas

Kiekis: 1 (su savaitinio valymo funkcija)

Greitis: iki 1000ob/min, reguliuojamas greitis

Aukštis rankiniu būdu reguliuojamas

7

Krovinių lentyna

Kiekis: 5

Medžiaga: PPS+nerūdantis plienas

Dydis: Tinkamas 2/4/5/6/8 colio kvadratinėms maskos plokščių

Substrato peikimo būdas: Klaustelio peikimo būdas

8

Valdymo sistema

Valdymo sistema: naudojant PLC valdymą

Programa: 100 grupių, kiekviena grupė sudaryta iš 100 žingsnių, su maksimaliu vieno žingsnio laiku 3000.0 sekundžių

Rezoliucija: 0,1S

Programa gali būti išsaugota, iškviesta, pakeista ir ištrinta

Nustatykite šifravimo leidimus: įrenginio operatoriams, technikams, administratoriams ir gamintojams atitinkamai

Signalizacijos stulpelio tipas: raudona, geltona, žalia - 3 spalvos