Puslaidininkių pramonės ICP laboratorijos tipo PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal, Kinija Puslaidininkių pramonės ICP laboratorijos tipo PR pašalinimo mašina Photoresist likučių šalinimo gamintojai, tiekėjai, gamykla

Prekės aprašymas

ICP laboratorijos tipo PR pašalinimas Photoresist valiklis mašina

PELENINTI
Polimero pašalinimas
DESCUM
Sausas kieto kaukės sluoksnio pašalinimas
Fotorezistencijos pašalinimas po moteriškos jonų implantacijos
Optinės varžos pašalinimas tarp laikmenų
Fotoatsparumo pašalinimas naudojant BAW/SAW procesą
Antirefleksinės grafinės plėvelės sluoksnio Y sausas valymas
Silicio oksido arba silicio nitrido ėsdinimas
Paviršiaus likučių pašalinimas
Paviršiaus valymas po ėsdinimo
Silicio karbido ėsdinimas

Puslaidininkių pramonės ICP laboratorijos tipo PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal tiekėjas

Procesas

Puslaidininkių pramonės ICP laboratorijos tipo PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal gamykla

Puslaidininkių pramonės ICP laboratorijos tipo PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal detalės

Privalumas:

Pagrindinis pranašumas

Didelis deguonies pašalinimo greitis: didelio tankio plazma, greitas deguonies pašalinimo greitis
Stabilumas: po apdorojimo plazma, didelis atkuriamumas
Nuotolinė plazma: nuotolinė plazma, mažai jonų plokštelės pažeidimas
Teminė programinė įranga: nepriklausomi programinės įrangos tyrimai ir kūrimas, intuityvi proceso animacija, išsamūs duomenys ir įrašai
Vienodumas: plazma gali valdyti slėgį ir temperatūrą per drugelio vožtuvą
Saugos faktorius: mažas plazmos kiekis sumažina gaminio išleidimo žalą.
Aptarnavimas po pardavimo: greitas atsakymas ir pakankamai atsargų
Dulkių kontrolė: atitikti klientų reikalavimus.
Pagrindinė technologija: beveik 40 % mokslinių tyrimų ir plėtros komandos narių

Kasečių platforma (MD-ST 6100/620)

1. 4 vaflių laikikliai
2. Didelis suderinamumas: plokštelių dydžio pasirinkimo lankstumas lemia dideles išlaidas ir sprendimo efektyvumą
3. Aukšto stabilumo vakuumo perdavimo kamera:
Brandus ir stabilus vakuuminio perdavimo dizainas buvo brandžiai taikomas rinkoje daugelį metų ir yra gerai pripažintas klientų.
Patefono dizainas, kompaktiška erdvė, žymiai sumažinanti PARTICAL riziką
4. Humanizuota programinės įrangos veikimo sąsaja:
Intuityvi humanizuota programinės įrangos veikimo sąsaja, mašinos veikimo būsenos stebėjimas realiu laiku;
Išsamios aliarmo ir neapsaugotos funkcijos, kad būtų išvengta netinkamo veikimo.
Galinga duomenų eksportavimo funkcija, įvairių procesų parametrų įrašai ir gaminių gamybos įrašų eksportas.

Robotas

1. Vienkartinis dvigubas vaflių paėmimo ir vietos dizainas užtikrina didelį našumą
2. Pagerinti erdvės efektyvumą.

Šildymo plokštė

1. Aukšto tikslumo temperatūros valdymo plokštelė
Vaflio šildymo plokštė nuo kambario temperatūros iki 250°C, temperatūros reguliavimo tikslumas ±1°C
Vaflių šildymo plokštė buvo kalibruota profesionaliais instrumentais ir vienodumu. ±3°C temperatūroje užtikrinkite vienodą klijų pašalinimą
2. Vienos kameros dviejų plokštelių apdorojimas
Vienos kameros dviejų plokštelių dizainas;
Nepriklausomas galios iškrovimo dizainas kiekvienai plokštelei, užtikrinantis, kad kiekviena plokštelė. Apvalus PR pašalinimo efektas;
Remdamiesi prielaida užtikrinti UPH efektyvumą, sumažinkite produkto kainą. Stiprus suderinamumas
3. Gamybos pajėgumai: dviejų dalių konstrukcijos reakcijos kamera, didelis gamybos efektyvumas.

Puslaidininkių pramonės ICP laboratorijos tipo PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal gamyba

detalizavimas

PLAZMA šaltinis			RF+BIAS
Elektros energija	1000W	1000W
Elektros energija		600W	600W
Taikytina taikymo sritis			4-8 coliai
Vieno apdorojimo gabalų skaičius			vienas
Išvaizda matmenys			1140mm x 1050mm x 1620mm
Sistemos valdymas			Pramoninio valdymo sistema
Automatikos lygis			Mechaninė

Aparatinės įrangos galimybės
Veikimo laikas / laisvas laikas	≧ 95%
Vidutinis valymo laikas (MTTC)	≦ 6 valandos
Vidutinis remonto laikas (MTTR)	≦ 4 valandos
Vidutinis laikas tarp gedimų (MTBF)	≧ 350 valandų
Vidutinis laikas tarp asistento (MTBA)	≧ 24 valandų
Vidutinė plokštelė tarp sulūžusių (MWBB)	≦ 1 iš 10,000 XNUMX plokštelių
Šildymo plokštės valdymas	50-250 °

Testo ataskaita

Fabriko vaizdas

Pakavimas ir pristatymas

Kompanijos profilis

Turime 16 metų patirtį įrangos pardavimo srityje. Mes galime pateikti jums vieno langelio puslaidininkių priekinės ir galinės dalies paketų linijos įrangos sprendimą iš Kinijos!