Puslaidininkių pramonės ICP PLASMA PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal, Kinija Puslaidininkių pramonės ICP PLASMA PR šalinimo mašina Photoresist likučių šalinimo gamintojai, tiekėjai, gamykla

Prekės aprašymas

ICP PLASMA Photoresist valiklis

PELENINTI
Polimero pašalinimas
Sausas kieto kaukės sluoksnio pašalinimas
Fotorezistencijos pašalinimas po jonų implantacijos
Fotoatsparumo pašalinimas naudojant BAW/SAW procesą
Antirefleksinės grafinės plėvelės sluoksnio sausas valymas
Paviršiaus likučių pašalinimas
Paviršiaus valymas po ėsdinimo
DESCUM

Puslaidininkių pramonės ICP PLASMA PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal gamyba

Procesas

Puslaidininkių pramonės ICP PLASMA PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal gamykla

Privalumas:

Pagrindinis pranašumas

Didelis deguonies pašalinimo greitis: didelio tankio plazma, greitas deguonies pašalinimo greitis
Stabilumas: po apdorojimo plazma, didelis atkuriamumas
Nuotolinė plazma: nuotolinė plazma, mažai jonų plokštelės pažeidimas
Teminė programinė įranga: nepriklausomi programinės įrangos tyrimai ir kūrimas, intuityvi proceso animacija, išsamūs duomenys ir įrašai
Vienodumas: plazma gali valdyti slėgį ir temperatūrą per drugelio vožtuvą
Saugos faktorius: mažas plazmos kiekis sumažina gaminio išleidimo žalą.
Aptarnavimas po pardavimo: greitas atsakymas ir pakankamai atsargų
Dulkių kontrolė: atitikti klientų reikalavimus.
Pagrindinė technologija: beveik 40 % mokslinių tyrimų ir plėtros komandos narių

Kasečių platforma (MD-ST 6100/620)

1. 4 vaflių laikikliai
2. Didelis suderinamumas: plokštelių dydžio pasirinkimo lankstumas lemia dideles išlaidas ir sprendimo efektyvumą
3. Aukšto stabilumo vakuumo perdavimo kamera:
Brandus ir stabilus vakuuminio perdavimo dizainas buvo brandžiai taikomas rinkoje daugelį metų ir yra gerai pripažintas klientų.
Patefono dizainas, kompaktiška erdvė, žymiai sumažinanti PARTICAL riziką
4. Humanizuota programinės įrangos veikimo sąsaja:
Intuityvi humanizuota programinės įrangos veikimo sąsaja, mašinos veikimo būsenos stebėjimas realiu laiku;
Išsamios aliarmo ir neapsaugotos funkcijos, kad būtų išvengta netinkamo veikimo.
Galinga duomenų eksportavimo funkcija, įvairių procesų parametrų įrašai ir gaminių gamybos įrašų eksportas.

Puslaidininkių pramonės ICP PLASMA PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal tiekėjas

Puslaidininkių pramonės ICP PLASMA PR šalinimo mašina Photoresist Residual Removal detalės

Robotas

1. Vienkartinis dvigubas vaflių paėmimo ir vietos dizainas užtikrina didelį našumą
2. Pagerinti erdvės efektyvumą.

Šildymo plokštė

1. Aukšto tikslumo temperatūros valdymo plokštelė
Vaflio šildymo plokštė nuo kambario temperatūros iki 250°C, temperatūros reguliavimo tikslumas ±1°C
Vaflių šildymo plokštė buvo kalibruota profesionaliais instrumentais ir vienodumu. ±3°C temperatūroje užtikrinkite vienodą klijų pašalinimą
2. Vienos kameros dviejų plokštelių apdorojimas
Vienos kameros dviejų plokštelių dizainas;
Nepriklausomas galios iškrovimo dizainas kiekvienai plokštelei, užtikrinantis, kad kiekviena plokštelė. Apvalus PR pašalinimo efektas;
Remdamiesi prielaida užtikrinti UPH efektyvumą, sumažinkite produkto kainą. Stiprus suderinamumas
3. Gamybos pajėgumai: dviejų dalių konstrukcijos reakcijos kamera, didelis gamybos efektyvumas.

detalizavimas

PLAZMOS			RF	RF
Elektros energija	ICP	1000w	1000w
Elektros energija		BIAS	600w (pasirinktinai)	600w (pasirinktinai)
Taikytina taikymo sritis			4 ~ 8 col	4 ~ 8 col
Vieno apdorojimo gabalų skaičius			1	2
Išvaizda matmenys			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Sistemos valdymas			Pramoninio valdymo sistema	Pramoninio valdymo sistema
Automatikos lygis			automatinis	automatinis

Aparatinės įrangos galimybės
Veikimo laikas / laisvas laikas	≧ 95%
Vidutinis valymo laikas (MTTC)	≦ 6 valandos
Vidutinis remonto laikas (MTTR)	≦ 4 valandos
Vidutinis laikas tarp gedimų (MTBF)	≧ 350 valandų
Vidutinis laikas tarp asistento (MTBA)	≧ 24 valandų
Vidutinė plokštelė tarp sulūžusių (MWBB)	≦ 1 iš 10,000 XNUMX plokštelių
Šildymo plokštės valdymas	50-250 °

Testo ataskaita

Fabriko vaizdas

Pakavimas ir pristatymas

Kompanijos profilis

Turime 16 metų patirtį įrangos pardavimo srityje. Mes galime pateikti jums vieno langelio puslaidininkių priekinės ir galinės dalies paketų linijos įrangos sprendimą iš Kinijos!