PROJEKTAS
|
Turinys
|
Produktų tipas
|
6",8",12" plienas, 2.5D\/3D ambalažas
|
2D Inspekcija
Prekės |
Išoriniai objektai, liejamojo kaukėlio likučiai, dalelės, šluostai, su Spragos, tarša, CP nuokrypis, per daug jūklų žymų ir kt.
|
2D Matavimai
|
Bump skersmuo, jūklų žymų koordinatės, RDL ir TSV matavimai ir kt.
|
3D Inspekcijos projektas
|
Aukščio ir lygiaverčios rūšiavimo matavimai
|
Kasetė ir transliacijos būdas
|
8"SMIF , 12" FOUP arba derinys
|
Lęšis ir sprendiamumas
|
2x(2.75µm)13.5x(1.57µm)5x(1.1µm)17.5x(0.73µm)110x(0.55µm)
|
tikslumas
|
0.55µm/pixelis
|
Pasirinktiniai ir pritaikomi
|
Dubliuojama OCR, 3D modulis, palaikomas E84
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved