PROJEKTAS
|
Turinys
|
Produkto tipas
|
6",8",12" plokštelė, 2.5D/3D pakuotė
|
2D apžiūra
Elementai |
Pašaliniai objektai, klijų likučiai, dalelės, įbrėžimai, įtrūkimai, užteršimas, CP nuokrypis, per didelės adatos žymės ir kt.
|
2D metrologija
|
Guolio skersmuo, adatos žymės koordinatės, RDL ir TSV metrologija ir kt.
|
3D apžiūros projektas
|
Guolio aukštis, guzelio koplaniškumas
|
Kasetės ir perdavimo būdas
|
8 "SMIF , 12" FOUP arba derinys
|
Objektyvas ir skiriamoji geba
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
Tikslumas
|
0.55 um / pikselis
|
Neprivaloma ir pritaikyta
|
Dvipusis OCR, 3D modulis, palaikomas E84
|
Autoriaus teisės © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos