Techninis parametras |
Matavimo režimas |
PSI/VSI/supergilumas/šviesus laukas |
Viename matavimo lauke (20× objektyvas) |
500*350μm (automatinis sutinkimas) |
|
Kampinis derinys |
±12° rankinis |
|
Z ašies derinys |
20mm elektrinis + 50mm rankinis (grosnis ir tikslus derinio mechanizmas) |
|
Ilgiau skenavimo diapazonas |
0-10 mm |
|
Ilgiaiškumo rodiklis |
<0.2nm |
|
Ilgiaiškumo triukšmo matavimo pakartojamumas |
0.01nm (PSI režimas) |
|
žingsnio aukščio rodymo klaida matavimas |
<0.75% (VSI režimas) |
|
横向 rezoliucija: @550nm |
0.69μm (20× objektyvioji lęšis) |
|
Matuojamojo imties atspindžio matomumas |
0.1%-100% |
|
Matavimo laikas |
<5s (PSI režimas) |
|
Analizės funkcija |
Analizės funkcija |
3D aukščio matavimas, 3D rūgštumo analizė, 2D matmenų matavimas |
3D duomenų išvedimas |
3D taškų debesys duomenys, nuotoninis vaizdo duomenys, pasirinktinis ataskaita |
Objektyviojo didinimo koeficientas |
2.5X |
5X |
10x |
20x |
50x |
100x |
Skaitmeninė aplotis |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Optinė rezoliucija @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Fokuso gylis (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Darbo atstumas (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved