Ultragarsinio skenuojančio mikroskopo sprendimas puslaidininkių pramonei

Ultragarsinio tyrimo principas

Ultragarsinis keitiklis generuoja ultragarsinį impulsą, kuris per jungiamąją terpę (vandenį) pasiekia DUT.

Dėl akustinės varžos skirtumo ultragarso bangos atsispindi skirtingų medžiagų sąsajoje.

Ultragarsinis keitiklis priima atspindėtą aidą ir paverčia jį elektriniais signalais.

Kompiuteris apdoroja elektrinį signalą ir rodo bangos formą arba vaizdą.

Nuskaitymo forma

Nuskaitymas: bangos forma tam tikrame taške;

Horizontali ašis rodo laiką, kada pasirodo bangos forma;

Vertikali ašis rodo bangos formos amplitudę.

C skenavimas: skersinis skerspjūvio skenavimas;

Horizontalios ir vertikalios ašys nurodo fizinius matmenis;

Spalva rodo bangos formos amplitudę.

B skenavimas: išilginis skerspjūvio skenavimas;

Horizontali ašis nurodo fizinius matmenis;

Vertikali ašis rodo laiką, kada pasirodo bangos forma;

Spalva rodo bangos formos amplitudę ir fazę

Daugiasluoksnis skenavimas: kelių sluoksnių C skenavimas atliekamas mėginio gylio kryptimi.

Perdavimo nuskaitymas: imtuvai pridedami prie mėginio apačios, kad surinktų perduodamas garso bangas ir generuotų vaizdus.

Aptikimo privalumai ir apribojimai

Privalumai:

1. Ultragarsinis aptikimas taikomas įvairioms medžiagoms, įskaitant metalus, nemetalus ir kompozicines medžiagas;

2. Jis gali prasiskverbti į daugumą medžiagų;

3. Jis labai jautrus sąsajos pokyčiams;

4. Jis nekenksmingas žmogaus organizmui ir aplinkai.

Apribojimai:

1. Bangos formos pasirinkimas yra gana sudėtingas;

2. Mėginio forma turi įtakos aptikimo efektui;

3. Defekto padėtis ir forma turi tam tikrą įtaką aptikimo rezultatui;

4. Mėginio medžiaga ir grūdelių dydis turi didelę įtaką aptikimui.

Suvirinimo kokybės patikra plokštelių krovimo metu

Stebėjimas plokštelių krovimo mašinos paleidimo ir derinimo proceso metu, siekiant intuityviai aptikti įvairių įrangos parametrų ir būsenų anomalijas.

Siurbimo galvutės aukštis ir kampas;

Lydmetalio oksidacija ir temperatūra;

Švino rėmo ir drožlių medžiaga

Suvirinimo kokybės patikra drožlių pakrovimo metu

Stebėjimas paleidžiant ir derinant lustų įkėlimo mašiną gali intuityviai aptikti įvairių įrangos parametrų ir būsenų nukrypimus

Siurbimo galvutės aukštis ir kampas;

Lydmetalio oksidacija ir temperatūra;

Švino rėmo ir lusto medžiaga

Suvirinimo drožlėmis procese esančios tuštumos sukels nepakankamą šilumos išsklaidymą prietaiso naudojimo metu, o tai turės įtakos jo tarnavimo laikui ir patikimumui. Naudojant ultragarso tyrimo metodus, galima greitai ir efektyviai nustatyti suvirinimo tuštumos defektus.

Pakuotės atsisluoksniavimo defektų aptikimas po plastikinio kapsuliavimo proceso

Ultragarsinio skenavimo fazės aptikimo režimas, skirtas tiksliai nustatyti dervos plastiko ir metalinio rėmo delaminacijos defektus

Oksiduota sritis po lupimo iš esmės yra tokia pati kaip raudonoji sritis

Tuštumų aptikimas ir plonesnių pakuočių kelių sluoksnių aptikimas

Aptikimo dėklas TO serija

Išbandykite visą lentą

Išbandykite vieną lustą

Tipiškas panaudojimo atvejis: atminties lusto paketo poros

Tipiškas taikymo atvejis: atminties lusto sluoksniavimo defektas

Kiti bandomieji atvejai