Garso bangų skaitmeninio mikroskopo sprendimas semikonductoriams pramonei

Time : 2025-02-27

Garso tyrimo principas

Garso konvertorius generuoja garso impulsą, kuris pasiekia tiriamąjį objektą per jungties vidmenį (vandens).

Dėl garso impeditinio skirtumo, garso bangos atspindi skirtingų medžiagų ribose.

Garso konvertorius gauna atspindžius ir juos konvertuoja į elektros signalus.

Kompiuteris apdoroja elektros signalą ir rodo bangą ar vaizdą.

Skenuojamoji forma

A skenavimas: banga tam tikrame taške;

Horizontali ašis rodą laiką, kada banga pasirodė;

Vertikali ašis rodo bangos amplitudę.

C skenavimas: horizontalus perpjautinio skerspjūvio skenavimas;

Horizontali ir vertikali ašys rodo fizinius matmenis;

Spalva rodo bangos amplitudę.

B skenavimas: ilgindinis perpjautinio skerspjūvio skenavimas;

Horizontali ašis rodo fizinius matmenis;

Vertikali ašis rodo laiką, kada pasirodė banga;

Spalva rodo bangos amplitudę ir fazę

Kelių sluoksnių skenavimas: atliekamas daugiakilpžiedžių C skenavimas pagal pavyzdžio gylį.

Transliacinis skenavimas: pavyzdžio apačioje pridedami gavėjai, kad surinktų transliuojamas garso bangas ir sukurtų vaizdus.

Priežastys ir aptikimo ribotumas

Privalumai:

1. Ultragarso aptikimas taikomas plačiam medžiagų spektrui, įskaitant metalus, nemetales ir jungtinės medžiagas;

2. Jis gali panaikinti daugumą medžiagų;

3. Jis ypač jautrus prie sąsajos pokyčių;

4. Jis nekenksmingas žmoniškam organizui ir aplinkai.

Ribotumai:

1. Bangos formos pasirinkimas yra visai sudėtingas;

2. Pavyzdžio forma turi įtakos aptikimo efektyvumui;

3. Defektų vieta ir forma tam tikru mastu turi įtakos aptikimo rezultatams;

4. Pavyzdžio medžiaga ir dalelės dydis turi didelę įtakos aptikimui.

Svarinio proceso suvaržymo kokybės inspekcija

Stebėjimas, paleidžiant dalelės įkrovimo mašiną ir derinant ją, leidžia intuityviai nustatyti įvairių aparatinės įrangos parametrų ir būsenos nusikirtimus.

Sugriuvimo antros dalies aukštis ir kampas;

Sodo oksidavimas ir temperatūra;

Prievado ir dalelės medžiaga

Dalelės įmontavimo suvaržymo kokybės inspekcija

Stebėjimas pradedant ir derinant dalelės įmontavimo mašiną gali intuityviai rasti įvairių aparatinės įrangos parametrų ir būsenos nusikirtimus

Sugriuvimo antros dalies aukštis ir kampas;

Sodo oksidavimas ir temperatūra;

Prievado ir dalelės medžiaga

Tarpdalyje esančios tuštumos dalelės suvaržymo metu sukels nepakankamą šilumos atemimą įrenginyje naudojimo metu, poveikį jo tvarumui ir patikimumui. Naudojant ultragarsą, suvaržymo tuštumos defektai gali būti greitai ir efektyviai nustatyti.