Goresan ion reaktif Pengeluar & Pembekal di China - Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Goresan ion reaktif

Goresan ion reaktif kedengaran seperti istilah yang menakutkan, tetapi ia sebenarnya kaedah yang digunakan oleh orang ramai untuk membuat kepingan kecil untuk teknologi menjadi bersaiz makan tengahari. Potongan-potongan kecil ini adalah bahan utama dalam pelbagai jenis peranti yang digunakan setiap hari seperti telefon pintar, komputer dll. Fungsi utama proses ini adalah untuk mengeluarkan bahagian bahan supaya anda boleh mencipta kepingan kecil dan tepat. Dalam artikel ini, kita akan membincangkan apakah etsa ion reaktif — sisi positif dan negatif bekerja dengan RIE berbanding kaedah lain untuk rawatan kimia plasma; peranan kimia plasma dalam proses ini; bagaimana anda boleh mencapai hasil yang berkualiti tinggi dengan menggunakan peralatan RIE dengan betul, dan akhirnya di mana ia mengambil tempatnya sebagai alat teknologireadcrh xvv.

Goresan ion reaktif ialah kaedah kompleks yang melibatkan ion dan gas kecil untuk memotong kepingan bahan. Anggap ia sebagai semburan berkuasa tinggi yang secara selektif meletupkan bahan untuk membentuk bentuk yang tepat. Ia melibatkan letupan ion-ion ini ke permukaan bahan. Apabila ion menyerang bahan, mereka bertindak balas dengannya dan pecah menjadi kepingan kecil yang boleh dihilangkan. Anda meletakkan bahan di dalam sejenis kotak yang tertutup sepenuhnya dan bebas daripada udara, dipanggil sebagai ruang vakum. Zarah-zarah kecil ini dijana dengan tenaga frekuensi radio, di mana ia menghasilkan ion.

Kelebihan dan had penggunaan etsa ion reaktif berbanding kaedah etsa lain

Etsa ion reaktif adalah salah satu yang terbaik dalam hal perincian. Ini bermakna ia boleh menghasilkan ciri sudut dan melengkung berketepatan tinggi, tetapi ini dilakukan dengan gas dan bukannya menggunakan cecair. Ini bermakna bahagian yang dicipta dengan kaedah ini adalah benar-benar sesuai untuk tujuan dalam teknologi [1]. Juga, ini adalah salah satu proses terpantas; lebih banyak bahagian boleh dihasilkan dalam tempoh yang singkat. Memandangkan proses ini begitu pantas, ia boleh menjadi agak cekap untuk syarikat yang mempunyai permintaan besar bagi bahagian tertentu.

Tetapi etsa ion reaktif mempunyai masalah juga. Ia tidak sesuai untuk semua jenis bahan kerana beberapa jenis yang berbeza tidak akan dapat melakukan pemotongan laser ini. Dan ia memerlukan suhu dan tekanan yang sesuai untuk berada di tapak. Keadaan yang betul juga perlu ada atau proses baharu mungkin tidak dapat disampaikan juga. Satu-satunya kelemahan ialah kos yang tinggi untuk diwujudkan berbanding dengan amalan goresan lain, yang mungkin menghalang sesetengah perniagaan daripada mengambil kesempatan daripada salutan serbuk.

Peranan kimia plasma dalam etsa ion reaktif

Tempat penting diduduki dengan kimia plasma dalam proses etsa ion reaktif. Ion-ion yang dihasilkan oleh plasma menyebabkan ikatan kimia bahan terputus, yang membawa kepada pemotongan. Sebaik sahaja ikatan dipecahkan, bahan itu hancur menjadi kepingan kecil yang kemudiannya terbang dengan aliran gas. Apa yang terhasil semasa tindak balas kimia boleh dipengaruhi oleh jenis gas yang digunakan. Sebagai contoh, gas nitrogen boleh memberikan goresan yang kemas membolehkan untuk mengeluarkan bahan tanpa meninggalkan sisa yang tidak diingini manakala gas oksigen menyediakan jenis goresan berbeza yang mungkin sesuai bergantung pada keperluan.
Teknik untuk mencapai hasil goresan berkualiti tinggi menggunakan etsa ion reaktif

Kawalan proses yang kuat adalah penting untuk mencapai hasil yang baik dengan etsa ion reaktif. Ini memerlukan pengukuran banyak parameter termasuk suhu, tekanan, aliran gas dan tenaga ion. Persekitaran yang stabil menyumbang kepada keputusan yang konsisten dan boleh diramal dalam garisan goresan. Jika salah satu pembolehubah ini tidak dikawal dengan cekap, ini boleh menjejaskan produk akhir. Selain itu, pembersihan bahan dan penyediaan yang betul adalah perlu sebelum anda memulakan dengan mengetsa. Jika semua masa telah diluangkan di hadapan dalam menyediakan bahan yang akan diukir, ini sepatutnya menghasilkan hasil yang lebih baik.
Aplikasi etsa ion reaktif dalam industri mikrofabrikasi

Contohnya ialah etsa ion reaktif yang biasa digunakan dalam industri mikrofab untuk membentuk bahagian yang sangat kecil untuk pelbagai alat teknologi. Salah satu perkara yang berguna untuk graphene ialah dalam pembuatan litar elektronik kecil, penderia dan peranti mikrobendalir yang penting untuk teknologi moden. Ia juga digunakan dalam membuat sistem mikro-elektromekanikal (MEMS) yang merupakan peranti kecil yang benar-benar boleh melihat, mendengar, merasa dan menggerakkan sesuatu satu molekul pada satu masa. MEMS ini digunakan dalam banyak aplikasi: daripada peranti kecil seperti telefon pintar kepada alat yang lebih besar dan juga peralatan perubatan. Di antara proses ini, etsa ion reaktif memainkan peranan penting kerana ia boleh membuat ciri-ciri kecil dan tepat diperlukan untuk teknologi canggih tersebut.