Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Dapatkan Sebut Harga

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

laman utama
Mengenai Kami
MH Equipment
Penyelesaian
Pengguna Luar Negara
video
Hubungi kami
Rumah> Penggiling Wafer
  • Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan kejituan tinggi
  • Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan kejituan tinggi
  • Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan kejituan tinggi
  • Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan kejituan tinggi
  • Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan kejituan tinggi
  • Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan kejituan tinggi
  • Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan kejituan tinggi
  • Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan kejituan tinggi

Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan kejituan tinggi

Dapatkan Penawaran Percuma
Penerangan Produk

Ketepatan tinggi Peralatan Penyemak Mekanikal Kimia (CMP)

Peranti CMP ketepatan tinggi mencapai pengeluaran cecair bahan berlebihan pada permukaan wafer dan penyemakan skala nano global melalui kesan sinergistik kerosakan kimia dan penyerutan mekanikal.
Mesin penyamakan kimia serba guna, dirancang khas untuk aplikasi penyamakan CMP dan pelapisan yang memerlukan kejituan geometri dan kualiti permukaan yang ketat, boleh mencapai tahap Ra sub nanometer.
Peranti ini boleh menjalankan penyelihan tepat pada paras nanometer untuk cetakan individu, serta menyelih kepingan nipis dengan diameter sehingga 8 inci. Selain itu, ia juga boleh digunakan dalam aplikasi penyelihan bukan tradisional seperti penyelihan substrat keras, persediaan permukaan Epi, dan peningkatan daur semula cip.
Untuk menyesuaikan mesin siri CDP kepada bahan-bahan pelbagai dan keperluan proses, jurutera memaut dan reka bentuk templat penyelihan yang sepadan mengikut keperluan teknikal pengguna untuk memenuhi keperluan proses CMP dengan tepat. Gambar di sebelah kiri menunjukkan julat bagi sebuah wafer tunggal dengan diameter 8 inci.
Untuk memastikan pengukuran dan kawalan tepat terhadap wafer atau peranti yang diselih di atas mesin CDP, kami telah membangunkan satu sistem EPD, di mana program grafik pemeriksaan CDP yang direka bentuk secara tersuai boleh berjalan di atas laptop. Program ini memantau dan melukiskan proses penyelihan secara grafik, dan akan berhenti secara automatik sekiranya titik akhir dicapai.
Mencegah penyelihan berlebihan. Pemindaian CDP juga boleh berfungsi sebagai ciri keselamatan. Jika perubahan dalam parameter proses yang dipantau dikesan, Pemindaian CDP akan memicu alarm audio untuk membantu mencegah penyelihan berlebihan. Contoh dalam hal ini termasuk mengubah kelajuan pembawa dari nilai yang ditetapkan. Sistem EPD akan memperhatikan situasi ini kerana tahap gesekan di antara pad dan bahan yang diselihkan akan berubah akibat sebarang perubahan dalam kelajuan pembawa, yang boleh membahayakan pelanaran wafer yang berjaya. Pada titik ini, sistem EPD akan memicu alarm audio sebelum mengeluarkan peralatan daripada permukaan pad, atau ia boleh ditetapkan kepada matikan automatik.
Sistem ACP boleh digunakan dengan lebih baik dalam julat aplikasi yang luas, dan carta menunjukkan hasil ujian proses CMP untuk oksida silikon, tembaga, nitrida silikon, aluminium tembaga, germanium silikon, dan wolfram.
Carta menunjukkan bahawa selepas proses CMP, WTWNU boleh mencapai 2.82%.
PERMOHONAN
Pelajaran wafer silikon
Pelajaran sebatian II-V
Pemipahan oksida
Pemerosakan substrat bahan inframerah
Pemipahan substrat safir, nitrid galium, dan karbida silikon, pemipahan substrat EPI
Pemtipisan wafer SOS dan SOI kepada kurang dari 20 mikron
Kejuruteraan songsang hierarki atau aplikasi FA
Spesifikasi
Pasukan kuasa
220v 10A
Saiz wafer
4”/100mm
6”/150mm
8”/200mm
12”/300mm
Diameter cakera kerja
520mm、780mm
Kelajuan cakera kerja
0-120rpm
Kelajuan penjepit
0-120rpm
Kekerapan ayunan penjepit
0-30spm
Tekanan belakang wafer
0-150psi
Tekanan pada titik tengah wafer
0-50psi
Masa Dikala
0-10 j
Saluran suapan
≥2
Kelajuan suapan
0-150ml/minit
Pembungkusan & Penghantaran
Profil Syarikat
Minder-Hightech adalah wakil jualan dan perkhidmatan dalam peralatan industri produk semikonduktor dan elektronik. Sejak 2014, syarikat ini berdedikasi untuk menyediakan pelanggan dengan Penyelesaian Satu Henti yang Lebih Baik, Boleh Dipercayai.
S&A
1. Mengenai Harga:
Semua harga kami bersaing dan boleh diperundingkan. Harga berbeza-beza bergantung kepada konfigurasi dan kekompleksan penyesuaian peranti anda.

2. Mengenai Sampel:
Kami boleh memberi perkhidmatan pengeluaran sampel untuk anda, tetapi anda mungkin perlu membayar beberapa yuran.

3. Mengenai Pembayaran：
Selepas rancangan disahkan, anda perlu membayar deposit terlebih dahulu, dan kilang akan mula menyediakan barangan. Selepas
peralatan disediakan dan anda membayar baki, kami akan menghantarnya.

4. Mengenai Penghantaran:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan menghantar video pemeriksaan kepada anda, dan anda juga boleh datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyelarasan:
Setelah peralatan tiba di kilang anda, kami boleh menghantar jurutera untuk memasang dan menyelaras peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk bayaran perkhidmatan ini.

6. Mengenai Jaminan:
Peralatan kami mempunyai tempoh jaminan 12 bulan. Selepas tempoh jaminan tamat, jika sebarang bahagian rosak dan perlu diganti, kami hanya akan mengenakan harga kos.

Produk Lain

Penyiasatan

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Dasar Privasi

Penyiasatan Email whatsapp Top
×

Hubungi Kami