Saiz wafer
|
4”~ 8” wafer
|
Ketebalan wafer
|
100~750 mikron
|
Jenis wafer
|
Si, SiC, GaN, atau bahan lain
|
Jenis filem
|
Filem biru, filem UV
Lebar: 230 ~ 300 mm Panjang: 100 m Ketebalan: 0.05 ~ 0.2 mm |
Gelang pembawa wafer
|
6”, 8” DISCO
|
Kaedah memuatkan dan membongkar
|
Penempatan dan pengalihan manual wafer/gelang pembawa
|
Ketepatan penempatan filem
|
±0,5mm
Piring wafer piawai 6" dan 8" untuk wafer 6" dan 8" |
Pam vakum
|
Minder-Hightech
|
Kawalan antistatik
|
Kipas deionization
|
Unit Kawalan
|
Berdasarkan kawalan PLC, dengan skrin sentuh 10"
|
Perlindungan Keselamatan
|
Disusun dengan pelindung kurtin cahaya dan butang henti kecemasan
|
voltan bekalan kuasa
|
Fasa tunggal AC 220V, 16A
|
Udara Termampat
|
0.45~0.6MPa, kadar aliran 70L/minit
|
Kotak mesin
|
Kotak logam berplastik putih
|
Isipadu
|
850mm (lebar)*1750mm (kedalaman)*1970mm (ketinggian)
|
Berat Bersih
|
480kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved