MINTA DESCUM pengalihan pemindai Mesin Pengalihan Pemindai Kering ICP Plasma , China MINTA DESCUM pengalihan pemindai Mesin Pengalihan Pemindai Kering ICP Plasma Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

Mesin Pengalihan Photoresist Plasma Kering ICP

Mesin pengalihan photoresist plasma kering ICP digunakan terutamanya untuk membuang polimer, ASHING, DESCUM, pengalihan photoresist selepas pelaksanaan ion, dan pembuangan sisa permukaan. Rongga itu sesuai untuk sampel saiz 4-8 inci, dengan 1-2 keping diproses dalam satu proses.

Membasuh
Pembuangan polimer
Pembuangan kering lapisan hard mask
Pembuangan photoresist selepas pelaksanaan ion
Pembuangan photoresistance dalam proses BAW/SAW
Pembersihan kering lapisan filem grafik penolak pantulan
Pembuangan sisa permukaan
Pembersihan permukaan selepas pengecam
DESCUM

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine details

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine factory

Spesifikasi

Plasma			RF	RF
Kuasa	ICP	1000W	1000W
Kuasa		BIAS	600w(pilihan)	600w(pilihan)
Bidang Kepantasan			4~8寸	4~8寸
Bilangan irisan pemprosesan tunggal			1	2
Dimensi penampilan			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Kawalan sistem			Sistem kawalan perindustrian	Sistem kawalan perindustrian
Tahap Automasi			automatik	automatik

Kilang

Maklumat Produk

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

16 tahun pengalaman dalam eksport peralatan! Kami boleh memberikan kepada anda penyelesaian satu henti untuk Proses dan Peralatan Semikonduktor Front End!