Automatik CMP Post Clean , China Automatic CMP Post Clean Pengeluar, Pembekal, Kilang

Penerangan Produk

Peralatan Pembersihan selepas Penggilapan Mekanikal Kimia Wafer

CMP Post Chean

Ciri mesin

Keupayaan proses yang kuat
Memberus dwi ruang, dengan pelbagai kebolehgunaan proses
Peralatan menduduki kawasan kecil, dengan dimensi 2200 * 800 * 2200 (mm)

Bidang Permohonan

CMP 6-8 inci selepas memberus
Pembersihan selepas mengisar SIC atau substrat lain

Parameter teknikal

Pembersihan selepas CMP 4 inci dan 6 inci
Reka bentuk dua ruang, operasi ruang bebas Basahkan masuk dan keringkan atau keringkan masuk dan keringkan
SRD kering putaran berkelajuan tinggi

Unit LoadPort, unit pemuatan

LoadPort ialah unit pemuatan peranti ini

Suapan Kaset Basah
Mempunyai fungsi pelembab semburan

Unit berus, Unit pembersihan wafer

Unit dwi ruang, mampu menyokong dua penyelesaian pembersihan yang berbeza
Kedudukan memberus boleh dilaraskan mengikut resepiBelt Conveyor

Unit SRD, Unit pengeringan wafer

Pengeringan putaran jenis pengapit wafer, dengan kelajuan maksimum 4000RPM
Boleh melakukan pembersihan AS pada permukaan wafer dan menyembur DIW

bongkar unit, unit pemotong

Unit Unload mempunyai FFU bebas untuk memastikan kebersihan keluaran wafer

Penghantar

Kawasan basah adalah penghantar tali pinggang

Kawasan kering untuk teleportasi Robot

Penerangan unit berus

Seperti yang ditunjukkan pada rajah kiri, unit berus peranti ini terdiri daripada dua unit memberus, iaitu BU1 BU2.

Tekanan berus setiap unit boleh dilaraskan secara berasingan (seperti yang dinyatakan dalam resipi), dan setiap unit bilah berus boleh dicuci dengan penyelesaian pembersihan kimia yang berbeza secara berasingan.

Berus mesin menggunakan berus PVA, yang merupakan jenis yang biasa digunakan di pasaran.
Penghantaran antara rongga adalah penghantar tali pinggang. Terdapat DIW RINSE di dalam rongga

unit SRD

Unit SRD dilengkapi dengan CHUCK pengapit dan AS ARM, yang boleh membersihkan dan mengeringkan permukaan wafer secara fizikal.

spesifikasi

Saiz peralatan:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Kaedah pemuatan dan pemunggahan	kering masuk/basah masuk/kering
Bilangan unit memberus	2
Bilangan unit SRD	1
Kaedah pengangkutan	Pengangkutan tali pinggang zon basah, pengangkutan robot zon kering
Saiz peralatan dengan ruang memberus 1 ialah 1850 * 800 * 2200

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Soalan Lazim

1. Mengenai Harga:
Semua harga kami kompetitif dan boleh dirunding. Harga berbeza-beza bergantung pada konfigurasi dan kerumitan penyesuaian peranti anda.

2. Mengenai Sampel:
Kami boleh menyediakan perkhidmatan pengeluaran sampel untuk anda, tetapi anda mungkin memberikan beberapa bayaran.

3. Mengenai Pembayaran：
Selepas pelan disahkan, anda perlu membayar deposit kepada kami terlebih dahulu, dan kilang akan mula menyediakan barangan. Selepas
peralatan sudah siap dan anda membayar baki, kami akan menghantarnya.

4. Mengenai Penghantaran:
Selepas pembuatan peralatan selesai, kami akan menghantar video penerimaan kepada anda, dan anda juga boleh datang ke tapak untuk memeriksa peralatan.

5. Pemasangan dan Nyahpepijat:
Selepas peralatan tiba di kilang anda, kami boleh menghantar jurutera untuk memasang dan nyahpepijat peralatan. Kami akan memberikan anda sebut harga yang berasingan untuk yuran perkhidmatan ini.

6. Mengenai Waranti:

Peralatan kami mempunyai tempoh jaminan selama 12 bulan. Selepas tempoh jaminan, jika ada bahagian yang rosak dan perlu diganti, kami hanya akan mengenakan harga kos.