Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Laman Utama
Mengenai Kami
MH Equipment
Penyelesaian
Pengguna Luar Negara
Video
Hubungi kami
Rumah> MH Equipment> Mesin Pemoles dan Penggiling
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik
  • Pembersihan Pos CMP Automatik

Pembersihan Pos CMP Automatik

Penerangan Produk

Peralatan Pembersihan selepas Pemolesan Mekanikal Kimia Wafer

Pembersihan Selepas CMP

Ciri-ciri Mesin

Kemampuan proses kuat
Pembersian dua bilik, dengan julat aplikasi proses yang luas
Peralatan itu menempati kawasan kecil, dengan dimensi 2200 * 800 * 2200 (mm)

Medan aplikasi

6-8 inci selepas pembersian CMP
Pembersihan selepas penggilingan SIC atau substrat lain

Parameter Teknikal

Pembersihan selepas CMP 4-inci dan 6-inci
Reka bentuk dua bilik, operasi bilik bebas Wet in and dry out atau dry in and dry out
Kering dengan putaran laju SRD

Unit LoadPort, unit pemuatan

LoadPort adalah unit pemuatan bagi peranti ini
Pemberian Wet Cassette
Memiliki fungsi penyemprotan pelembap

Unit guli, Unit pembersihan Wafer

Unit dua bilik, mampu menyokong dua penyelesaian pembersihan yang berbeza
Kedudukan menyapu boleh disesuaikan mengikut resepiPenghantaran Bergetar

Unit SRD, Unit keringan Wafer

Tipe penjepit Wafer untuk pengeringan putaran, dengan kelajuan maksimum 4000RPM
Boleh menjalankan pembersihan AS pada permukaan wafer dan menyemprotkan DIW

Unit UNLOAD, unit pemotongan

Unit UnLoad mempunyai FFU yang bebas untuk memastikan kebersihan output wafer

Penghantar

Kawasan basah adalah Penghantaran Bergetar
Kawasan kering untuk teleportasi Robot

Keterangan unit penyapu

Seperti yang ditunjukkan dalam gambar di sebelah kiri, unit penyapu bagi peranti ini terdiri daripada dua unit menyapu, iaitu BU1 dan BU2.
Tekanan kuas setiap unit boleh disesuaikan secara individu (seperti yang dinyatakan dalam resepi), dan setiap unit mata kuas boleh dibersihkan dengan larutan pembersih kimia yang berbeza secara terpisah.
Kuash mesin menggunakan kuash PVA, yang merupakan jenis yang biasa digunakan di pasaran.
Penyenggaraan antara rongga adalah konveyor belt. Terdapat DIW RINSE di dalam rongga.

Unit SRD

Unit SRD dilengkapi dengan CHUCK penjepit dan AS ARM, yang boleh membersihkan secara fizikal dan memutarkan kering permukaan wafer.
Spesifikasi
Saiz peralatan:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Kaedah memuatkan dan membongkar
kering masuk/basah masuk/kering keluar
Bilangan unit menyapu
2
Bilangan unit SRD
1
Kaedah pengangkutan
Pengangkutan palang kawasan basah, pengangkutan robot kawasan kering
Saiz peralatan dengan bilik penyucian 1 adalah 1850 * 800 * 2200
Pembungkusan & Penghantaran
Profil Syarikat
S&A
1. Mengenai Harga:
Semua harga kami bersaing dan boleh diperundingkan. Harga berbeza-beza bergantung kepada konfigurasi dan kekompleksan penyesuaian peranti anda.

2. Mengenai Sampel:
Kami boleh memberi perkhidmatan pengeluaran sampel untuk anda, tetapi anda mungkin perlu membayar beberapa yuran.

3. Mengenai Pembayaran:
Selepas rancangan disahkan, anda perlu membayar deposit terlebih dahulu, dan kilang akan mula menyediakan barangan. Selepas
peralatan disediakan dan anda membayar baki, kami akan menghantarnya.

4. Mengenai Penghantaran:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan menghantar video pemeriksaan kepada anda, dan anda juga boleh datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyelarasan:
Setelah peralatan tiba di kilang anda, kami boleh menghantar jurutera untuk memasang dan menyelaras peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk bayaran perkhidmatan ini.

6. Mengenai Jaminan:

Peralatan kami mempunyai tempoh jaminan 12 bulan. Selepas tempoh jaminan tamat, jika sebarang bahagian rosak dan perlu diganti, kami hanya akan mengenakan harga kos.

Penyiasatan

Penyiasatan Email Whatsapp Top
×

Hubungi Kami